气流检测报警装置的制作方法

文档序号:6696935阅读:219来源:国知局
专利名称:气流检测报警装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种报警装置,且特别涉及一种气流检测报警装置。
背景技术
在工业生产过程中,机台正常运行时间的稳定和提高对整条生产线的运行 有至关重要的意义,对工程师而言就是要尽量减少停机次数和时间,同时还要 尽力减少次品。
工业生产中常见的机器前端有4个机械接口,机器运动空间比较大,机器 前端区域要在4个机械接口和其底端之间大范围的来回传送晶片;机器的电缆 垫与导轨不断的摩擦会导致在机器运动的空间中产生细小的颗粒,因此在机器 的上方安装有超高效空气过滤器(ULPA)来保证前端空间的空气洁净度,超高 效空气过滤器利用风扇吹动空气穿过过滤器,空气经过过滤器过滤后自上而下 流经机器的运动区域,佳_机器的运动空间保持一个洁净的环境。但是风扇在运 行了一定的年限后可能会产生故障而停止工作,因此导致机器前端区域空气不 流动,在此空间内就会慢慢聚集颗粒,影响空间洁净度, 一旦颗粒掉落到晶片 的表面,就会造成次品的晶片。更严重的是由于风扇是在机台前端的内部,且 不在工程师的视线之内,同时机台也没有相应的检测手段来检测风扇是否工作, 因此工程师就不易发觉并改善这种异常状况,导致次品状况变的严重。

实用新型内容
为了克服现有技术中存在的不能及时检测到风扇是否工作从而导致颗粒掉 落晶片表面形成次品的问题,本实用新型提供一种能及时检测风扇是否工作的 报警装置。
为解决上述技术问题,本实用新型提出一种气流测试报警装置,包括第 一导电体和第二导电体,固定于底板上,所述第一导电体的一端和所述第二导电体的一端均通过导线和报警器相连,所述第一导电体的另一端通过弹性装置 和导电片相连,所述导电片固定在挡风板上。
可选的,所述导电片为金属片。
可选的,所述挡风板为硬塑料片。
可选的,所述弹性装置为金属弹簧片。
可选的,所述第一导电体和所述第二导电体平行;改置。
可选的,所述第 一导电体和所述第二导电体之间的距离小于所述导电片的长度。
可选的,所述报警器在外接电路导通时关闭,在外接电路断开时报警。 与现有技术的电路相比,本实用新型通it在风扇的气流口放置气流测试报 警装置,在风扇停止工作时,可以在第一时间检测到并报警,从而停止整个机 器的运行,避免了颗粒掉落晶片的表面,减少了次品的产生。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型的气流测试报警装置作进一步 的详细说明。
图l是本实用新型气流测试报警装置的结构示意图。 图2是本实用新型气流测试报警装置局部放大图。
具体实施方式
首先,请参考

图1,图l是本实用新型气流测试报警装置的结构示意图,一 种气流测试报警装置,包括第一导电体31和第二导电体32,材料一般都选取导 电性能良好的金属,第一导电体31和第二导电体31平行放置,固定于底板33 上,底板33为绝缘体, 一般选用硬质塑料,第一导电体31和第二导电体32为 长条状,且垂直于底板33,第一导电体31和第二导电体32的一端皆通过导线 34和报警器35相连,此报警器35在电路导通的时候关闭,而在电路断开的时 候报警,第一导电体31的另一端通过弹性装置23和导电片22相连,导电片22 为金属片,导电片22固定在挡风板21上,挡风板21为质量较轻的硬塑料片, 其作用是增加气流吹的面积,从而增加气流作用于挡风板上的力,保证作用于挡风板21上的力所产生的力矩大于所述弹性装置23的阻力所产生的力矩,所 述第一导电体31和所述第二导电体32之间的距离小于所述导电片22的长度, 这是为了确保导电片22能够同时连接第一导电体31和第二导电体32,该弹性 装置23为金属弹簧片,它的作用是当无外力作用于挡风板上时,金属弹簧片23 维持固定于挡风板21上的导电片22和第二导电体32分开,至此,由报警器35、 第一导电体31、第二导电体32、金属弹簧片23、导电片22以及导线34所连成 了一个电路。
图2是本实用新型气流测试报警装置局部放大图,从图2中可以看到导电 片22固定在挡风板21上,而导电片22的一端和弹性装置23相连。
实际操作时,将该气流测试报警装置放置于待测试处, 一般为机器中的风 扇的金属阿上,硬塑料片为一个边长为4cm的正方形片(这个塑料片的面积相 对于整个扇面来说很小,不会对风扇的气流造成明显的影响),硬塑料片21的 正面与气流的流向垂直,当气流存在时,气流向硬塑料片21施加压力,克服弹 性装置23中的弹力,将硬塑料片21往底板33的方向压,使得固定在硬塑料片 n上的导电片"能够和第二导电体32的一端相连,从而使得由报警器35、第 一导电体31、第二导电体32、金属弹簧片23、导电片22以及导线34所连成的 电路导通,报警器35因此处于关闭状态。当气流消失,气流测试报警装置的硬 塑料片21上的压力没有时,在弹性装置23的弹力作用下,使得硬塑料片21往 远离底板33的方向移动,从而固定于硬塑料片21上的导电片22也从第二导电 体32的一端断开,直至弹性装置23回复平衡状态,此时由报警器35、第一导 电体31、第二导电体32、金属弹簧片23、导电片22以及导线34所连成的电路 断开,报警器35报警。
当整个装置用于工业生产中的机器中时,报警器35可和机器的控制中心相 连, 一旦报警,控制中心自动控制整个机器停止运作,从而有效的避免了次品 的产生。本实用新型在进风口装上一个常开开关,在风力的作用下,此开关就 会闭合,表明工作正常;只要风扇停止工作,开关就会恢复常开状态,表明风 扇工作异常,此时就通过报警器给机台发送警报信息,机台停止运行,使产品 减少被污染的风险,从而减少了次品的产生。
虽然本实用新型已以4交佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本实用新型的精神和范 围内,当可作各种的更动与润饰。因此,本实用新型的保护范围当视权利要求 书所界定者为准。
权利要求1.一种气流测试报警装置,其特征在于包括第一导电体和第二导电体,固定于底板上,所述第一导电体的一端和所述第二导电体的一端均通过导线和报警器相连,所述第一导电体的另一端通过弹性装置和导电片相连,所述导电片固定在挡风板上。
2. 根据权利要求1所述一种气流测试报警装置,其特征在于所述导电片为 金属片。
3. 根据权利要求1所述一种气流测试报警装置,其特征在于所述挡风板为 硬塑料片。
4. 根据权利要求1所述一种气流测试报警装置,其特征在于所述弹性装置 为金属弹簧片。
5.根据权利要求1所述一种气流测试报警装置,其特征在于所述第一导电 体和所述第二导电体平行放置。
6. 根据权利要求5所述一种气流测试报警装置,其特征在于所述第一导电 体和所述第二导电体之间的距离小于所述导电片的长度。
7. 根据权利要求1所述一种气流测试报警装置,其特征在于所述报警器在 外接电路导通时关闭,在外接电路断开时报警。
专利摘要本实用新型提供一种气流测试报警装置,包括第一导电体和第二导电体,固定于底板上,所述第一导电体的一端和所述第二导电体的一端均通过导线和报警器相连,所述第一导电体的另一端通过弹性装置和导电片相连,所述导电片固定在挡风板上,本实用新型在风扇停止工作时,可以在第一时间检测到并报警,从而停止整个机器的运行,避免了颗粒掉落晶片的表面,减少了次品的产生。
文档编号G08B21/00GK201322974SQ200820156369
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月1日 优先权日2008年12月1日
发明者吴军海, 吴志君, 吴新江 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1