火警报警测试系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提出一种火警报警测试系统，包括：火警报警系统、测试系统、电压供应单元以及设备机台；其中所述电压供应单元与所述设备机台连接，所述火警报警系统与测试系统并联接入所述电压供应单元与设备机台之间；添加了测试系统，在进行火警报警系统测试时，只需将测试系统打开，即能够对所述设备机台进行供电，避免了对火警报警系统进行测试时设备机台出现断电，无法正常工作的问题，提高了生产效率。
【专利说明】火警报警测试系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其一种涉及火警报警测试系统。
【背景技术】
[0002]半导体晶圆制造过程中，晶圆厂往往需要注意避免各种意外和灾害可能带来的损失和人员的伤亡。例如，酸槽清洗设备机台，除了带有废液处理系统还带有火警报警系统。所述火警报警系统能够在所述酸液清洗机台着火时自动将所述酸液清洗机台断电，并喷出二氧化碳进行灭火。所述火警报警系统需要很多感应器装在酸液清洗机台不同的位置以感应酸液清洗机台是否有火灾出现。然而随着时间的推移，感应器往往会出现接触不良、老化致使感应器无法正常工作，此时就需要对感应器进行更换。为了避免发生火灾时，感应器无法正常工作，即所述火警报警系统无法在第一时间喷出二氧化碳并将酸液清洗机台断电，通常情况会在所述火警报警系统添加一个火警报警测试系统，用于测试所述火警报警系统是否能够正常工作，一般是测试传感器是否能够正常工作。
[0003]请参考图1，所述火警报警测试系统包括:电压供应单元、设备机台、若干传感器(图未示)、若干电源继电器21、若干火警继电器22以及紧急操盘按钮10 ;其中电压供应单元来自厂务，用于对设备机台等进行供电；在所述电压供应单元与所述设备机台之间连接有电源继电器21，所述火警继电器22与传感器连接，传感器的信号能够控制所述火警继电器22开和关；所述火警继电器22的开和关能够控制所述电源继电器21的开和关；所述紧急操盘按钮10能够手动控制所述电压供应单元为所述设备机台供电与否。
[0004]在进行火警报警测试时，技术人员会逐个给所述传感器信号，若传感器能够正常工作，则会断开所述火警继电器22，进而断开所述电源继电器21，造成所述设备机台断电；若传感器无法正常工作，则无法给所述火警继电器22信号，也就无法使所述设备机台断电。因此需要对无法正常工作的传感器进行更换。然而，每次进行火警报警测试时都需要使设备机台停止工作，这严重影响了生产力。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种火警报警测试系统能够测试火警报警是否能够正常工作的同时还能避免设备机台停止工作。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型提出一种火警报警测试系统，包括:火警报警系统、测试系统、电压供应单元以及设备机台；其中，所述电压供应单元与所述设备机台电连接，所述火警报警系统与测试系统并联后，接入所述电压供应单元与设备机台之间。
[0007]进一步的，所述测试系统包括若干第一电压继电器、测试变压器、测试开关、扬声器以及测试继电器；所述第一电压继电器接入所述电压供应单元与设备机台之间；所述测试变压器与电压供应单元连接；所述测试开关、扬声器以及测试继电器串联，并与所述测试变压器相连。
[0008]进一步的，所述第一电压继电器为3个。[0009]进一步的，所述第一电压继电器为常开继电器。
[0010]进一步的，所述测试继电器为常开继电器。
[0011]进一步的，所述测试开关为常开开关。
[0012]进一步的，火警报警系统包括若干第二电压继电器、火警稳压器、若干传感器、紧急操作按钮以及若干火警继电器；其中，所述第二电压继电器接入所述电压供应单元与设备机台之间并与所述第一电压继电器并联；所述火警稳压器与电压供应单元连接；所述紧急操作按钮以及火警继电器与所述火警稳压器串联；所述传感器设置于所述设备机台中。
[0013]进一步的，所述第二电压继电器个数为3个。
[0014]进一步的，所述第二电压继电器为常闭继电器。
[0015]进一步的，所述紧急操作按钮为常闭开关。
[0016]进一步的，所述火警继电器为常闭继电器。
[0017]与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在:添加测试系统，在进行火警报警系统测试时，只需将测试系统打开，即能够对所述设备机台进行供电，避免了对火警报警系统进行测试时设备机台出现断电，无法正常工作的问题，提高了生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为现有技术中火警报警系统的结构示意图；
[0019]图2为本实用新型一实施例中火警测试系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的火警报警测试系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0021]请参考图2，在本实施例中，提出了一种火警报警测试系统，所述火警报警测试系统包括:火警报警系统、测试系统、电压供应单元以及设备机台；其中所述电压供应单元与所述设备机台连接，用于对所述设备机台进行供电，使设备机台能够正常生产；所述火警报警系统与测试系统并联接入所述电压供应单元与设备机台之间。
[0022]在本实施例中，所述测试系统包括若干第一电压继电器310、测试变压器(图未示)、测试开关420、扬声器410以及测试继电器300 ;所述第一电压继电器310接入所述电压供应单元与设备机台之间，所述第一电压继电器310为3个，分别接入所述电压供应单元与设备机台三相线之间，所述第一电压继电器310为常开继电器；所述测试变压器与电压供应单元连接，所述测试变压器用于将所述电压供应单元的交流电压转变成24V直流电压，供测试开关420、扬声器410以及测试继电器300使用；所述供测试开关420、扬声器410以及测试继电器300三者串联；其中，所述测试继电器300也为常开继电器，其得电与失电能够控制所述第一电压继电器310的开与关；其中，所述测试开关420为常开开关，能够由人工手动闭合和打开，方便进行火警报警测试。
[0023]在本实施例中，火警报警系统包括若干第二电压继电器210、火警稳压器(图未示)、若干传感器(图未示)、紧急操作按钮100以及若干火警继电器200 ;其中，所述第二电压继电器210个数为3个，均为常闭继电器，所述第二电压继电器210分别接入所述电压供应单元与设备机台之间的三相线中，所述第二电压继电器210与所述第一电压继电器310并联；所述火警稳压器与电压供应单元连接，所述火警稳压器用于将所述电压供应单元的交流电压转变成24V直流电压，供紧急操作按钮100以及火警继电器200使用；所述紧急操作按钮100以及火警继电器200与所述火警稳压器串联，所述紧急操作按钮100为常闭开关，出现紧急状况时可以人工按下所述紧急操作按钮100即能够使所述设备机台断电，避免发生进一步的危害；所述火警继电器200为常闭继电器，其得电与失电能够控制所述第二电压继电器210的闭合和断开；所述传感器设置于所述设备机台中。
[0024]在进行火警报警测试时，人工闭合所述测试开关420，使所述测试继电器300得电，从而能够使第一电压继电器310闭合，为所述设备机台提供正常工作电压，同时，由于所述扬声器410也得电，其能够发出报警声音，进行报警。此时，再给传感器信号，使所述火警继电器200断开，进一步导致所述第二电压继电器210断开时也不会使设备机台断电，从而能够在保证设备机台正常工作的同时可以对火警报警系统进行相应的测试。
[0025]综上，在本实用新型实施例提供的火警报警测试系统中，添加测试系统，在进行火警报警系统测试时，只需将测试系统打开，即能够对所述设备机台进行供电，避免了对火警报警系统进行测试时设备机台出现断电，无法正常工作的问题，提高了生产效率。
[0026]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种火警报警测试系统，其特征在于，包括:火警报警系统、测试系统、电压供应单元以及设备机台；其中，所述电压供应单元与所述设备机台电连接，所述火警报警系统与测试系统并联后，接入所述电压供应单元与设备机台之间。
2.如权利要求1所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述测试系统包括若干第一电压继电器、测试变压器、测试开关、扬声器以及测试继电器；所述第一电压继电器接入所述电压供应单元与设备机台之间；所述测试变压器与电压供应单元连接；所述测试开关、扬声器以及测试继电器串联，并与所述测试变压器相连。
3.如权利要求2所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述第一电压继电器为3个。
4.如权利要求3所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述第一电压继电器为常开继电器。
5.如权利要求2所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述测试继电器为常开继电器。
6.如权利要求2所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述测试开关为常开开关。
7.如权利要求2所述的火警报警测试系统，其特征在于，火警报警系统包括若干第二电压继电器、火警稳压器、若干传感器、紧急操作按钮以及若干火警继电器；其中，所述第二电压继电器接入所述电压供应单元与设备机台之间并与所述第一电压继电器并联；所述火警稳压器与电压供应单元连接；所述紧急操作按钮以及火警继电器与所述火警稳压器串联；所述传感器设置于所述设备机台中。
8.如权利要求7所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述第二电压继电器个数为3个。
9.如权利要求8所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述第二电压继电器为常闭继电器。
10.如权利要求7所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述紧急操作按钮为常闭开关。
11.如权利要求7所述的火警报警测试系统，其特征在于，所述火警继电器为常闭继电器。
【文档编号】G08B29/00GK203480671SQ201320557969
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年9月9日 优先权日:2013年9月9日
【发明者】潘建伟, 肖方, 倪尧, 张伟 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司