多通道石英晶体微天平阵列的制作方法

文档序号:6710568阅读:194来源:国知局
多通道石英晶体微天平阵列的制作方法
【专利摘要】一种多通道石英晶体微天平阵列,它包括QCM气敏传感器阵列,阵列中的每一个气敏传感器连接各自的QCM振荡电路;所述阵列中的气敏传感器为彼此之间对不同气体敏感的气敏传感器。本实用新型通过石英晶体微天平阵列测量室内有害气体的种类和浓度,解决了单一气敏传感器不具备自动识别气体种类和数量的问题。同时,通过以太网远程传输测量数据到上位机,并将数据在上位机处理、存储、显示、控制,解决了需要人现场长时间测量的问题,保证了人身安全。本实用新型只用到了一块FPGA芯片和一个百兆以太网芯片,和其他嵌入式系统相比,降低了成本,提高了传输速度,有助于实时处理。
【专利说明】多通道石英晶体微天平阵列
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种有害气体测量装置,具体地说是涉及一种多通道石英晶体微天平阵列。
【背景技术】
[0002]近年来,随着科学技术的发展和人民生活水平的提高,大量新型建筑和装饰材料、日用化学品进入住宅和公共建筑物,加之现代建筑物的密闭化,造成室内空气污染问题日益突出,引起眼及鼻腔粘膜刺激、过敏性皮炎、哮喘、癌症、白血病等疾病,危害人体健康,日益受到社会各界关注。因此,研究检测室内空气质量的测量系统,为人们提供一个健康、安全的生活环境,有重要意义。
[0003]然而,单个的气敏传感器功能十分有限,目前还没有发现只对某种气体单一敏感的传感器材料。单个传感器对不同气体敏感响应可能会有变化,但它不具备自动识别气体种类和数量的能力,所以可以通过采用多个传感器构成阵列来解决上述问题,同时输入更多的信号进行判断识别。
[0004]目前,气敏传感器按照工作原理可以将其分为:金属氧化物半导体传感器,导电性气敏传感器,压电类气敏传感器和光纤类气敏传感器。基于质量效应的石英晶体微天平(QCM)气体传感器,以其自身灵敏度高和选择性好等等优点在许多微量气体检测中得到了广泛应用。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的是提供一种多通道石英晶体微天平阵列,解决了单一气敏传感器不具备自动识别气体种类和数量的问题。
[0006]为实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
[0007]一种多通道石英晶体微天平阵列,它包括QCM气敏传感器阵列,阵列中的每一个气敏传感器连接各自的QCM振荡电路;所述阵列中的气敏传感器为彼此之间对不同气体敏感的气敏传感器。
[0008]所述的QCM气敏传感器为32阵列。
[0009]所述的QCM振荡电路包括由两个反相器串联构成的放大电路;放大电路的输出端通过谐振电路连接放大电路的输入端,由此构成反馈振荡电路。
[0010]所述的谐振电路由晶体以及分别与晶体并联设置的两个电容构成,且两个电容接地。
[0011]采用上述技术方案的本实用新型,通过石英晶体微天平阵列测量室内有害气体的种类和浓度,解决了单一气敏传感器不具备自动识别气体种类和数量的问题。同时,通过以太网远程传输测量数据到上位机,并将数据在上位机处理、存储、显示、控制,解决了需要人现场长时间测量的问题,保证了人身安全。本实用新型只用到了一块FPGA芯片和一个百兆以太网芯片,和其他嵌入式系统相比,降低了成本,提高了传输速度,有助于实时处理。【专利附图】

【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的原理框图。
[0013]图2是本实用新型QCM气敏传感器阵列中的QCM振荡电路原理图。
[0014]图3是本实用新型的硬件系统图。
【具体实施方式】
[0015]如图1所示,一种多通道石英晶体微天平阵列,它包括QCM气敏传感器阵列,阵列中的每一个气敏传感器连接各自的QCM振荡电路。
[0016]QCM气敏传感器采用32阵列,阵列中的气敏传感器为彼此之间对不同气体敏感的气敏传感器,其中对不同气体敏感的气敏传感器为现有技术。32个石英晶体微天平QCM阵列,将采集到的气体浓度信息转化为频率信息,其中利用了德国科学家Sauerbrey推导出的石英晶体的谐振频率和晶体电极表面质量负载变化之间的关系式:
【权利要求】
1.一种多通道石英晶体微天平阵列,其特征在于:它包括QCM气敏传感器阵列,阵列中的每一个气敏传感器连接各自的QCM振荡电路;所述阵列中的气敏传感器为彼此之间对不同气体敏感的气敏传感器。
2.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平阵列,其特征在于:所述的QCM气敏传感器为32阵列。
3.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平阵列,其特征在于:所述的QCM振荡电路包括由两个反相器串联构成的放大电路;放大电路的输出端通过谐振电路连接放大电路的输入端,由此构成反馈振荡电路。
4.根据权利要求3所述的多通道石英晶体微天平阵列,其特征在于:所述的谐振电路由晶体以及分别与晶体并联设置的两个电容构成,且两个电容接地。
【文档编号】G08C17/02GK203455249SQ201320559390
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年9月10日 优先权日:2013年9月10日
【发明者】李磊, 徐甲强, 柴小卫, 孙鹏, 王晓华, 蔡玉宝, 陈云鹏, 张飞飞, 解莹莹, 孙兰轩, 郭彩萍 申请人:河南圣玛斯光电科技有限公司
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