专利名称：带有压电微驱动机构的磁头弹簧片组件的制作方法
技术领域：
概括地说，本发明涉及压电器件领域，具体而不是作为限制地说，本发明涉及适合在磁盘驱动器悬臂件的基板或负载杆上安装的压电驱动机构，还涉及采用这种压电驱动机构的磁头弹簧片组件(HGA)。
背景技术：
硬磁盘驱动器技术以惊人的速度持续发展。通过采用先进的磁头和介质技术，位密度已经显著提高，而轨迹密度却仍然处于较低水平。为了达到较高的轨迹密度，需要极其精确的轨迹跟踪。这可以通过减少机械扰动和增加伺服控制带宽实现。借助伺服系统达到扰动衰减量与环闭带宽的平方成正比。磁头堆组件(HAS)的机械动力学一般将用音圈电机作为驱动机构的当前的单级定位系统的闭环带宽限制在大约1KHz。其补偿定位误差的能力大约限制在1微米TMR。预期需要几KHz的闭环带宽，以达到设计的轨迹密度，即25KTP1，0.1微米TMR。已经提出了双级驱动机构系统作为实现这种宽伺服带宽的合理解决方案。双级驱动机构系统包括传统的音圈电机，作为寻找轨迹的初级驱动机构，与调整和跟踪轨迹的次级微驱动机构相耦合。
次级驱动机构的结构。性能和安装位置是影响双级伺服系统的总特性的关键因素。为了达到这个目的，已经开发了包括压电、电磁和静电驱动机构在内的各种微驱动机构。这些器件设计成安装在E块悬臂件上以及悬臂件和磁头滑块之间的各个位置上。考虑到整个驱动机构的惯性，次级驱动机构的安装位置应尽可能靠近磁头。另一方面，驱动机构的激励电/磁场不应该影响磁头的读/写性能。从这个观点看，次级驱动机构的最佳位置在悬臂件上。
1999年1月11日由Todd.A.Krinke等人提交的，转让给Hutchinson Tochnology Incorporated的名称为“安装了基板的悬臂件的微执行机构”美国专利申请No.228341(美国专利US No.6046888)公开了一种这样的悬臂件。
然而，由于当前的技术与工业领域规范之间的差异，诸如较高激励电压、较低机构谐振频率、不足够的行程等，继续需要改良带有微驱动机构的悬臂件。实际上，为了满足工业领域的需求，次级驱动机构必须具有至少±1.3μm的驱动行程，整个二级驱动机构系统的机构谐振频率必须超过13KHz。为了同时达到上述规范，在本发明中，提出了一种压电微驱动机构，连同相应的悬臂件和磁头弹簧片组件。
发明内容
本发明总的目的是提供具有压电微驱动机构的磁头弹簧片组件(HGA)的新结构，这种磁头弹簧片组件能迅速而精确地定位高密度硬盘驱动器的双级磁头定位驱动机构系统的读/写磁头。
本发明的一个具体的目的是提供平面型压电器件，在一个最佳实施例中，这种平面型压电器件可以具有较小的高度或厚度以及较大的宽度和长度，且可以是悬臂件的一部分，以驱动移过数据轨迹的悬臂件的远端，即磁头滑块，从而获得一种具有高伺服宽度的二级磁头定位伺服系统。
本发明的另一个具体目的，是提供一种具有近静止端和远可动端的磁头悬臂件，在一个最佳实施例中，本发明的压电驱动机构能简易地安装在这种悬臂件上，连接近静止端和远可动端，且驱动悬臂件的远可动端、即磁头滑块移过数据轨迹，从而获得有高伺服带宽的二级头磁头定位伺服系统。
本发明的再一个具体目的是提供一种激励电压的电连接方案，这种方案能避免压电驱动机构的去极化，从而通过增大驱动电压获得大行程。
根据本发明的一个方面，展现了一种包括一个压电材料整体的压电器件，压电材料长度和宽度大于其厚度。压电器件的特征在于它还包括与这个整体接触的各对电极，每对电极是沿厚度方向对置的，各对电极是沿横切厚度方向的方向隔开的，通过分离这些电极使这个整体分成两个以上对称的部分。当电压加到这些电极对时，压电器件的整体沿横向偏转。此外，驱动电压包括两个分别驱动两个对称部分的信道控制信号。两个信道控制信号是两个加到同一直流正偏压上的反相交流控制信号，直流正偏压的方向与所述对称部分的极化向量相同。两个信道控制信号有公共接地接地端子，这个接地端子连接到用导电粘接剂固定在悬臂件上的电极，而激励电压的其它两个端子连接到两个对称部分的上电极。激励电压利用d31作用使这些部分的一半膨胀，而使另一半即它们的对称部分收缩。这就导致驱动机构沿其宽度方向的弯曲运动。
最佳的驱动机构实际上是分裂电极平面内弯曲的压电执行机构。类似于术语“双变形体”，可以将它定义为“分裂变形体”。
根据本发明的另一个方面，提供了一种磁盘驱动器悬臂件，磁盘驱动器悬臂件具有负载杆，负载杆包括位于近端的安装区，位于远端的挠性件和磁头滑块、邻近远端的刚性区、以及位于安装区和刚性区之间的弹簧区。其中悬臂件包括在负载杆上的缝隙和槽，缝隙和槽把负载杆分成近静止段和远可动段，其中负载杆的每一侧具有至少两条缝隙，缝隙之间形成了槽。槽从负载杆的不同侧延伸，以在负载杆的中心线汇合，以及在那里形成远可动段能绕其枢轴转动的铰链。负载杆两侧上的各至少两条缝隙和缝隙之间的槽形成至少两个C形弹性耳件，这些弹性耳件使远可动段与近静止段相耦接，而且也能使远可动段简易地绕铰链枢轴转动。
在一个最佳实施例中，磁头弹簧片组件包括安装在本发明的悬臂件上的本发明的压电驱动机构，连接远可动段和近静止段。此外，驱动机构的两个纵向隔开端中的一端用导电粘结剂或其它公知方法固定到静止段，另一端则固定到可动段。响应跟踪控制电压信号，微驱动机构使可动段沿跟踪轴相对于铰链偏转。
本发明的驱动机构的优点和新颖方面是其简单的板状整体结构和分裂电极的构思，这就能使驱动机构具有小高度或厚度，以及大的宽度，具有利用各对电极进行电气划分的两个以上部分，以及在电极平面内产生横向位移。有了这些优点和特性，驱动机构就能装在悬臂件的负载杆上，定位读/写磁头，快速和精确地跟踪径向跳跃。
通过考虑参照附图所显现的最佳实施例的下列详细描述，就能理解为达到这些目的本发明的其它优点、以及结构和特征。
图1是本发明一个实施例的分裂变形体压电器件的基本结构的上透视图。
图2是宽度沿其长度方向变化的分裂变形体的上透视图。
图3是分裂变形体的上透视图，其中只有上电极借助裂缝分裂成两个对称部分，而下电极则为一个公共端子，一般作为激励电压的地。
图4是两层堆叠的分裂变形体的上透视图。
图5是一种包括两个反平行的分裂变形体的两层堆叠的分裂变形体在y-z平面内的剖视图及其驱动电压图。
图6是一种由反平行的分裂变形体组砀多层堆叠的分裂变形体在y-z平面内的剖视图及其驱动电压图。
图7a和7b是一种包括两个平行的分裂变形体的两层堆叠的分裂变形体在y-z平面内的剖视图及其驱动电压图。
图8是由反平行的分裂变形体组成的多层分裂变形体在y-z平面内的剖视图及其激励电压图。
图9-12是容纳根据本发明的压电微驱动机构的磁头悬臂件的顶视图。
图13-16是装有根据本发明的实施例的压电微驱动机构的磁头弹簧片组件的顶视图。
图17是根据美国专利No.6046888的磁盘驱动器悬臂件之一的顶视图。
图18是根据本发明实施例的图17中所示的磁盘驱动器悬臂件上装有分裂变形体的磁头弹簧片组件的顶视图。
最佳实施例的详细描述下面参照附图描述本发明的最佳实施例的基本结构。图1至图8示出了本发明的驱动机构的基本结构和相应的工作情况。
现在更具体地参考附图，图1例示根据本发明的一个实施例的分裂变形体的基本结构。它包括单片长度l、宽度w和厚度t的压电矩形板，且沿其厚度方向极化。
压电板1有上、下电极，这些电极被居中间隙或裂缝4分成两个电气上独立的部分a和b。压电板1的居中槽和隙缝上没有加电极。2a、2b和3a、3b分别是上电极2和下电极3的若干对对称部分，形成相对的电极对2a，3a；2b，3b。压电板1的一端用粘结剂或其它公知方法刚性固定在基板5上。这两部分a和b沿相同或相反的方向极化，形成平行的变形体或反平行的变形体。激励电压通过d31作用使这两部分的其中之一膨胀，而使另一部分，即它们的对称部分收缩。这会导致驱动机构沿其宽度方向产生弯曲运动。
如图1所示，将分裂变形体的长度方向指定为x轴，其宽度方向指定为y轴，其高度方向指定为z轴。随着分裂变形体在相应的激励电压电路的作用下运动时，分裂变形体的顶部则沿y轴偏转。通过改变其长度l、宽度w和厚度t尺寸可以控制驱动机构的位移/电压灵敏度和谐振频率。
图2例示图1中所示基本结构的改型。唯一的差别是压电板的宽度沿其长度即x轴变化。图2中的标号与图1中的相同。这个驱动机构的工作情况与图1中所示的驱动机构相同。通常，刚性固定端的宽度应大于顶部自由端的宽度，宽度边缘的形状可以根据其用途的要求任意改变，倘若它是关于电极裂缝4的对称平面对称的。例如，当从上方观看时，器件悬臂梁可以具有梯形或其它对称形状，例如两侧可以汇合形成一个角。
为了简化制造过程和安装过程，图1和图2中所示的基本结构可以进一步改型为如图3所示。图1和图2中所示的下电极3a和3b的一对对称部分连接在一起形成一个电极3，而上电极2裂缝4仍然保留。电极3于是成为二信道反相激励电压的公共接地端子。在下文所述的实施例中，电极3可以用导电粘结剂直接固定到悬臂件上。用P表示的压电元件的极化向量是沿着从电极2至电极3的方向的。
获得高谐振频率是大多数驱动机构设计的基本要求，尤其是对于双级驱动机构系统的次级驱动机构。通常元件的挠性刚度越高，其第一谐振频率就越高。分裂变形体沿y方向的谐振频率比它沿z方向的频率高得多，这是由于宽度比厚度大得多。虽然由所加电压激励的分裂变形体的主要运动是沿着宽度方向的，但是很容易激励沿着高压方向的振荡，这是由于其挠性刚度比宽度方向的低得多。最好增加沿高度方向的刚度，同时保持驱动机构的较高位移/电压灵敏度，即在较低激励电压下有较大的位移输出。为了实现这个目的，下面参照附图提出和描述堆叠和多层分裂变形体。
图4示出了本发明的两层堆叠的分裂变形体。两个如图1至图3所描绘的薄分裂变形体6和7粘结在一起，以增大沿z方向的强度以及弹性刚度。由于制造方法的差异，这种双层分裂变形体有若干种不同的结构。下面参照附图5-图8描述一般的变化及其驱动电压方案。在这些附图中的箭头表示极化方向。
在图5中，标号6和7表示两个反平行分裂变形体，其中标号8、9和10则分别表示上、中、下电极。相邻部分6和7的极化向量都呈反向。中间电极9连接到输入电压的一个端子，上下电极8和10则连接到另一个端子。当施加电压时，部分6主7能产生同步的弯曲运动。因此，双层分裂变形体具有与单板变形体相似的位移/电压灵敏度，图6中提出了与图5中所示的双层分裂变形体相关的反平行多层分裂变形体。它们的工作机理是相同的。
图7示出了双层分裂变形体的另一种结构。在图7中，两个图3中所示的平行分裂变形体6和7粘结在一起，其极化向量彼此相反。图7中的功能与图3中所示的元件相似的元件，标以相同的标号乘以10。元件20a和20b是同一层电极的两个对称部分。元件40是电极裂缝。元件20a和20b分别连接到输入电压的二信道反相激励信号。电极30连接到输入电压的公共地。此外，正直流偏压同时加在公共地和20a、20b之间。这种结构还能产生同步弯曲，且具有与示于图5的结构相同的灵敏度。此外，图8中提出与图7中所示的双层分裂变形体相关的平行多层分裂变形体，它们的工作机理相同。
由于压电层的厚度比压电板薄得多，多层分裂变形体与单板分裂变形体相比具有较高的位移/电压灵敏度。当然，多层分裂变形体可以用浇铸(type casting)，网板印刷或其它公知的薄膜技术制造，而压电层的数量可以与附图中所示的不同。
本发明的另一方面涉及磁头悬臂件。
众所周知广泛采用的悬臂件是由三个元件组成的负载杆、基板和挠性件，也称为弹簧片。负载杆的近端有一个安装区，远端有一个相对刚性区，安装区和刚性区之间则是弹簧区。挠性件和电连接的轨迹安装在负载杆的刚性区。包括读/写头的空气轴承磁头滑块安装在挠性舌上。安装区一般附属于用以将负载杆安装到驱动机构臂的基板。一个音圈电机用作初级驱动机构，转动驱动机构臂，以将读/写头定位在磁盘上所需要的数据轨迹上。在本发明中，对这类悬臂件作了改型，可以在悬臂件上安装次级驱动机构，形成双级磁头定位驱动机构系统。
图9例示本发明的悬臂件的第一实施例。如图所示，悬臂件8包括负载杆12，负载件的近端上有一个延伸的安装区14，远端上有一个相对刚性区16，以及在安装区14和刚性区16之间的半径或弹性区18。挠性件17连同安装在挠性件17的舌上的磁头滑块(未示出)和包括磁头滑块的电连接的轨迹(未示出)都安装在刚性区16的远端。负载杆12用焊接或其它公知的方法通过安装区14安装在基板9上。负载杆12可以用传统的方法用不锈钢片制作和成形。
现在参照图9详细描述这个实施例的主要特征。在安装区14的一个边缘上，有分别用41、42和43表示的至少两条缝隙和一条槽。它们一起形成至少一个C形弹性耳件44。而在安装区14的另一个边缘上，分别用51、52和53表示的至少两条缝隙和一条槽形成至少另一个C形弹性耳件54。槽43和53从每个相应边缘延伸，在负载杆的对称线上相遇，形成铰链60。槽43和53还把负载杆12分成近静止段70和远可动段80。在图9所示的实施例中，远可动段80包括挠性件和磁头17、刚性区16、弹性区18和安装区14的运动部分45。两个C形弹性耳把可动段80与静止段70耦接，它们也允许可动段80容易相对于铰链60转动，由于其较低挠性刚度。
图10示出了本发明的悬臂件的第二实施例。图10中功能与图9中的相似的元件用相同的标号加100表示。容纳微驱动机构的悬臂件用标号108表示。悬臂件108包括负载杆112，负载杆112近端上有安装区114，远端上有相对刚性区116，安装区114和刚性区116之间为半径或弹性区118。挠性件117连同安装在挠性件117的舌上的磁头滑块(未示出)和包括磁头滑块的电连接的轨迹(未示出)安装在刚性区116的远端。负载杆112用焊接或任何其它公知的方法通过安装区114安装基板109上。负载杆112可以用传统的方式用不锈钢片制作和成形。
图9和图10中所示的两个实施例之间的唯一差别是图9中形成于安装区14上的C形耳件在图10中形成在刚性区116上。在刚性区116的一个边缘上，有分别用141、142和143表示的至少两条缝隙和一条槽。它们一起形成至少一个C形弹性耳件144。而在刚性区116的另一个边缘上，分别用151，152和153表示的至少两条缝隙和一条槽形成至少另一个C形弹性耳件154。槽143和153从刚性区的每个边缘延伸，在负载杆的对称线上相遇，形成铰链160。槽143和153还把负载杆112分成近静止段170和远可动段180。在图10所示的实施例中，远可动段180包括挠性件和磁头117、以及刚性区116的运动部分145。静止段170包括安装区114，弹性区118和刚性区116的静止部分146。两个C形弹性耳件把可动段180与静止段170耦接，它们也允许可动段180容易相对于铰链160枢轴转动。
图11示出了本发明的悬臂件的第三实施例。图11中功能与图9中的相似的元件用相同的标号加200表示。容纳微驱动机构的悬臂件用标号208表示。悬臂件208包括负载杆212，负载杆212的近端上有安装区214，远端上有相对刚性区216，安装区214和刚性区116之间为半径或弹性区218。挠性件217连同安装在挠性件217的舌上的磁头滑块(未示出)和包括磁头滑块的电连接的轨迹(未示出)安装在刚性区216的远端。负载杆212用焊接或任何其它公知的方法通过安装区214安装基板209上。负载杆212可以用传统的方式用不锈钢片制作和成形。
如图11所示，负载杆212还包括近静止段270和远可动段280。可动段280包括挠性件和磁头217、刚性区216、弹性区218和安装区214的运动部分245。可动段280经过铰链260以及分别用247和257表示的两个边缘肋与静止段270相连接。在每一个边缘肋上各有一个分别用244和254表示的C形弹性耳件。边缘肋连同耳件作为一对片簧，这对片簧沿跟踪方向290的刚性低，沿另一方向的刚性高。这些边缘的优点是不难明白的，这是由于可动段280相对于铰链260的平面内的枢轴转动是不由限制的，而平面外的运动则大为抑制。
图12例示本发明的悬臂件的第三实施例的改型。图12中功能与图11中的相似的元件用相同的标号加100表示。图11和图12中所示的两个实施例之间的唯一差别是图11中形成于安装区214上的带耳件边缘肋在图12中形成在刚性区316上。因此，可动段380包括挠性件和磁头317以及刚性区316的运动部分345。静止段370则包括安装区314、弹性区318和刚性区316的静止部分346。
下面参照附图13-16描述作为本发明另一方面的带压电驱动机构的磁头弹簧片组件(HGA)的最佳实施例。在这些实施例中，作为次级细驱动机构的本发明的压电驱动机构安装到本发明的磁头悬臂件上。
如上所述，对于双级驱动机构系统来说，次级驱动机构的其中一个理想安装位置应该在悬臂件上，次级驱动机构的驱动方向最好应该沿着跟踪方向。分裂变形体具有这种特性，使得它适合安装在负载杆上，精细地控制悬臂件的可动段的运动。
图13例示根据本发明的HGA的第一实施例。
图13中所示的用标号10表示的本发明压电驱动机构安装在图9中所示的磁头悬臂件上，作为次级细跟踪驱动机构。图13中所示的与图9中所示的相同的元件用相同的标号表示。驱动机构10的两个纵向隔开的端部的其中之一，即沿图1中所示的X轴的两端之一用导电粘结剂或其它公知的方法经过驱动机构10的下电极3固定到静止部分10，另一端则固定到安装区14的可动部分45。驱动机构10的两个上电极2a和2b分别连接到装入轨迹的两条电引线(未示出)。在轨迹的端子上有电接触焊区(未示出)，用以将驱动机构10的电极连接到伺服控制系统(未示出)。响应跟踪控制电压信号，微驱动机构10使可动段80相对于铰链60偏转。因此挠性件和磁头滑块17以及装在磁头滑块上的读/写头沿跟踪轴90高速移动，进行调整和轨迹跟踪。用伺服系统控制跟踪控制信号的值，用以控制读/写头的极尖的行程。
虽然上述实施例是用图3中所示的分裂变形体和图9中所示的磁头悬臂件举例说明的，但是图1-图8中所示的任何一个与本发明有关的具体的压电驱动机构都能安装在图9-图12中所示的磁头悬臂件上，作为次级细跟踪驱动机构，形成本发明的磁头弹簧片组件的另一些实施例。图14-图16描绘了其它的最佳实施例。这些实施例的关键是采用分裂变形体，连接悬臂件的远可动部分和近静止部分。当被施加控制电压信号时，分裂变形体使可动部分沿跟踪轴相对于铰链偏转。在这些图中，与先前的图中所示的相同的标号表示相同的元件。
实际上，除了本发明的实施例所例示的磁头悬臂件之外，本发明的分裂变形体也能安装在任何类型的现有的Watrous型悬臂件的改型上，倘若它包括了近静止段和远可动段连同挠性件和磁头滑块。图17和18例示这样一种实施例，其中分裂变形体10安装在根据ToddA.Krinke等人的美国专利US No.6046888的磁头悬臂件上。其中可动段由两件制成普通的平行四边形的形状的压电驱动机构驱动。
功能与图13中所示的相似的图17中元件用相同标号加400表示。如图17所示，磁头悬臂件408包括负载杆412和安装在其远端的挠性件417。磁头悬臂件408具有静止段470和可动段480。可动段480包括挠性件417、刚性区416、弹性区418、以及安装区414的运动部分445。静止段470包括安装区414的静止部分446、第一纵向延伸臂447和第二纵向延伸臂448。安装区414的运动部分445利用支撑杆450a、450b和450c悬置在臂447和448之间。还以传统方式将负载杆412安装在现有的基板409上。在采用US No.6046888的磁头悬臂件的实施例中，两个压电元件分别将第一纵向延伸臂447和第二纵向延伸臂448连接到运动部分445；以使挠性件417偏移。因而使磁头滑块沿跟踪轴490偏移。
在图18所示的本发明的实施例中，只有一件图3中所示的分裂变形体安装在负载杆412上，以使可动段480偏移。因而使磁头滑块偏移，进行调整和轨迹跟踪。分裂变形体10的两个纵向隔开端之一利用导电粘结剂或其它公知的方法经过驱动机构10的下电极3固定到安装区414的静止部分446上，另一端则固定到安装区414的运动部分445上。驱动机构10的工作情况与图13中所描绘的实施例相同。
此外，与图1-图8所示的本发明有关的任何一种特定的分裂变形体可以装在US No.604888中所公开的磁头悬臂件上，以获得比其中所要求保护的磁头弹簧片组件更好的谐振频率和行程的性能。
所提出的HGA的优点是很容易明白的。除了给次级细驱动机构提供大行程和更高的谐振频率，因而达到更高的轨迹密度之外，只有一件电压驱动机构极大地有助于减低HGA的成本，简化了组装过程以及最重要是使HGA的谐振频率保持在固定的范围，以在磁头定位伺服控制系统中能采用陷波滤波器。
虽然通过硬盘驱动器的实施例举例说明了本发明的HGA，显然，它也适用于为获得高紧凑特性的光盘和其它非磁性盘。
虽然参考最佳实施例对本发明作了描述，但是对本领域的技术人员来说是可以作各种改型的，只要不脱离本发明的精神。因此本发明不局限于本申请中详细所述的如附图中所示的那些实施例。
权利要求
1.一种磁盘驱动器悬臂件，包括一个负载杆，该负载杆形成为一件单一构件，由单片弹性金属所组成，该负载杆包括位于该负载杆近端的安装区，位于该负载杆远端的刚性区，位于该安装区和刚性区之间的弹性区，一个挠性件连同安装在所述负载杆的所述刚性区的远端的轨迹，结构上制成用以支承和电连接读/写头；一个用以安装所述负载杆的基板；其中，所述负载杆分为近静止段和带有所述挠性件和读/写头的远可动段；所述可动段能相对于位于该负载杆的纵向对称线的铰链枢轴转动；所述铰链是所述近静止段和所述远可动段之间的汇合处。
2.根据权利要求1的磁头驱动器悬臂件，其特征在于所述负载杆包括使远可动段与近静止段分离的缝隙和槽。
3.根据权利要求2的磁头驱动器悬臂件，其特征在于，所述槽具有分别从负载杆的相应边缘延伸的第一槽和第二槽，以在负载杆的纵向对称线相遇，形成所述铰链。
4.根据权利要求3的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，所述缝隙包括夹有第一槽的第一对缝隙和夹有第二槽的第二对缝隙。
5.根据权利要求4的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，第一对缝隙和在其间形成的第一槽形成第一C形弹性耳件，该第一C形弹性耳件使所述远可动段与位于一个边缘的所述近静止段相耦接，第二对缝隙和在其间形成的第二槽形成第二C形弹性耳件，该第二C形弹性耳件使所述远可动部分与位于另一边缘的所述近静止段相耦接，其中所述C形耳能使所述远可动段相对于所述铰链枢轴转动。
6.根据权利要求2的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，所述缝隙和槽位于所述负载杆的近端的所述安装区。
7.根据权利要求2的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，所述缝隙和槽位于所述负载杆的远端的所述刚性区。
8.根据权利要求1的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，所述负载杆包括将远可动段与近静止段相耦接的边缘肋。
9.根据权利要求8的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，所述边缘肋具有带C形弹性耳件的第一缘边肋，该C形弹性耳件使一个边缘上的所述远可动段与所述近静止段相耦接；所述边缘肋还具有带C形弹性耳件的第二边缘肋；该C形弹性耳件使另一个边缘上的所述远可动段与所述近静止段相耦接；其中所述带耳件的边缘肋沿跟踪方向的刚性低，沿能使所述远可动段相对于铰链枢轴转动的其它方向刚性高，而充分抑制远可动段在平面外的运动。
10.根据权利要求8的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，所述带C形身件的边缘肋位于负载杆的近端的所述安装区。
11.根据权利要求8的磁盘驱动器悬臂件，其特征在于，所述带C形身件的边缘肋位于负载杆的远端的所述刚性区。
全文摘要
一种压电器件包括压电材料的整体，其长度和宽度大于其高度；其中该压电器件还包括与该整体接触的各对电极，其中每对电极是沿厚度方向对置的。当电压加到电极对上时，该整体沿横切方向偏转。本发明还提供磁盘驱动器悬臂件和磁头弹簧片组件。
文档编号G11B5/58GK1937037SQ20061014163
公开日2007年3月28日 申请日期2000年11月28日 优先权日2000年11月28日
发明者白石一雅, 笠岛多闻, 吴凯, 王志宏, 朱伟光, 姚熹 申请人:新科实业有限公司