专利名称：用于安装衬底操作系统的基准板的制作方法
技术领域：
本发明通常涉及安装系统，并且更具体地说是一种安装或对齐衬底操作和/或加工系统的各个组成部分的设备或方法。
背景技术：
传统的半导体安装系统在诸如密封的容器或槽等密封的衬底载体中输送多个衬底，从而维持衬底在清洁/受控的环境中。因此，传统的处理系统包括一个或更多的自动开门器工作站，在工作站中密封槽被打开，衬底在此被提取(extract)并且被装入处理系统。通常地，每个自动开门器工作站由适于接收装有多个衬底的密封槽的入站平台、以及适于接合并开启槽的门部位(以下称槽门)的槽门接收器组成。
操作中，入站平台接收到槽并将槽水平移向槽门接收器。此后，槽门接收器接合并开启槽门，从入站平台将槽门水平移走，然后向下垂直移动槽门，以为槽中的衬底提供畅通的访问(access)。
尽管自动开门器通常提供可靠的开门，它们一般需要较长的安装和设置程序。因此需要一种促进自动开门器的安装和操作的方法和设备。
发明内容
第一方面，提供用于安装衬底操作系统的基准板。该基准板有一组被用于将基准板结合到容器(chamber)的预定固定位置；一组被用于将一个或更多自动开门器平台结合到基准板上的预定固定位置；和一组被用于将一个或更多包含在容器中的衬底处理器结合到基准板上的预定固定位置。固定位置被定位以便当基准板被结合到容器，并且自动开门器平台和衬底处理器被结合到基准板上时，衬底处理器和自动开门器平台被对齐用以使衬底在其间传送。其他的设备如衬底存储位置、自动模块、用于存放衬底载体的衬底载体处理器和/或托架也可以通过成组的预定固定位置被结合到基准板上。也提供一种使用基准板的衬底操作系统，和一种用于安装衬底操作系统的方法。一方面所发明的基准板可以被结合到支撑框架而不是容器。提供多个其他方面。
本发明的进一步的特征和优点将从随后的实施例的详细说明、所附权利要求书和附图中得到更全面的理解。
图1表示处理系统相关部分的系统俯视图，该处理系统具有用于在多个自动开门器工作站和加工工具之间传送衬底的工业界面(factory interface)衬底处理器；图2A表示从工业界面侧取下的基准板41的轴测(isometric)分解图；图2B表示从与工业界面衬底处理器相结合的自动开门器侧取下的基准板的轴测图；图2C表示从自动开门器侧取下的基准板的轴测分解图；图2D表示与基准板相结合的工业界面容器的轴测图；图2E为基准板的侧视示意图，表示结合到处理系统的多个部件；图2F为基准板的侧视示意图，表示结合到处理系统的多个部件，以及结合到一个或更多定位到自动开门器上面的存放托架；图3A-B表示发明的在槽交换位置以及各入站位置的自动开门器的侧面剖视图；图3C表示发明的开门器的俯视图；图4A-C表示一个传统的槽开门器的钥匙以及发明的两个可供选择的实施例的钥匙的各自的侧视示意图；图5表示槽门接收器的正视图；图6A-C为自动开门器的侧视图，顺序表示槽门接收器的水平和垂直动作；和图7A-C表示控制槽门接收器突出的装置的侧视图。
具体实施例方式
单基准板系统安装图1表示处理系统11的相关部分的俯视图，该处理系统具有用于在多个自动开门器工作站15a-d和加工工具17之间传送衬底的一对工业界面衬底处理器13。在图1中表示的该示范性(exemplary)处理系统11包括一个界面容器(interface chamber)19和处理工具17，在本例中，处理工具17包含一对加锁容器23、一个结合到加锁容器23上的传送容器25和多个结合到传送容器25上的处理容器27。
分界壁(interface wall)29定位于自动开门器工作站15a-d和处理系统11之间用于从一个较不清洁的“灰色区域”净室33中分隔出一个“白色区域”净室31。自动开门器工作站15a-d位于“白色区域”净室31中并且处理系统11位于较不清洁的“灰色区域”净室33中。自动开门器工作站15a-d定位于邻近的分界壁29上的槽进入口35处。自动开门器工作站15a-d包括用于接收密封槽(未显示)的入站平台P和用于从其余的槽中接合并开启槽门的槽门接收器37。入站平台P位于槽进入口35的白色区域侧并且槽门接收器37被安装在槽进入口35的灰色区域侧。
如前所述，界面容器19包含一个或更多用于从定位在入站平台P的开口槽中提取(extract)衬底并将这些衬底传送至加锁容器23中的界面衬底处理器13。处理工具17上的传送容器25包括一个传送衬底处理器39用于在加锁容器23和处理容器27之间传送衬底W。注意位于多个自动开门器工作站15a-d和界面容器19之间的分界壁29的一部分上面有开口(未显示)以允许自动开门器工作站15a-d的入站平台P能被结合到基准板41上。换句话说，工业界面容器19本身可以作为分界壁29，并且分界壁29可以省略。
如图2A-E所示，自动开门器15a-d的入站平台P和槽门接收器37，以及界面容器19(支撑基准板41)全部被结合到基准板41上。因此基准板41为各部件提供单一坐标系统，允许它们仅以基准板41为参考进行安装并作为一个单元对准以及调整。该基准板41可能包括预加工基准、对齐针、导向或固定位置(如预钻孔开口)以允许自动开门器15a-d、界面衬底处理器13以及界面容器19被结合到预定位置(使这些部件能够在X、Y、Z轴上均被固定)。因此所发明的系统可以快速并容易地安装，并且具有相互间精确定位的部件，这样使得衬底的传递操作可以更可靠。
参考图2A-E可以充分理解基准板41的功能。图2A为表示从工业界面19侧取下的基准板41的轴测图。如图2A所示，衬底处理器安装块43a-b适于将工业界面衬底处理器13结合到基准板41上而且钻有与基准板41上的预钻孔相对应的通孔以允许安装块43a-b在预定位置和方向被结合到基准板41上，从而允许工业界面衬底处理器13在预定位置和方向被结合到基准板41上，如图2B的轴测图所示，该图取自基准板41的自动开门器侧。
图2C表示取自自动开门器侧的基准板41的轴测分解图，如图2C所示，工业界面安装块45适于将基准板41结合到工业界面容器19的框架上而且钻有与基准板41上的预钻孔相对应的通孔以允许安装块45在预定位置和方向结合到基准板41上。因此，如图2D从自动开门器侧取下的基准板的轴测图所示，基准板41可由螺栓46(或类似的定位装置，该装置穿过工业界面安装块45、基准板41延伸至工业界面容器19的框架上(例如，通过工业界面容器的框架上的预钻安装孔))结合到工业界面容器19的框架上。显然，螺栓46既可从工业界面侧又可从自动开门器侧插入。
如图2B和2D所示，自动开门器杆47从基准板41的自动开门器侧延伸足够的距离以便它们穿过分界壁29(图1)结合到自动开门器15的框架正面的预定位置(如，预钻孔，未显示)并因此支撑自动开门器15，如图2E的侧视示意图所示。如图2A-C所示，基准板41可能有集成的水平探测器48，如传统的液态水平探测器。
图2E示意地表示可以结合到基准板41上的多个部件，包括可选的衬底存储位置49和可选的自动模块51。该可选的自动模块51可由衬底导向器(orienter)、中心探测器、ID读出器、或计量/检测台组成。
为安装和对齐图2A-E所示的部件，首先提供工业界面容器19。基准板41经安装支架45(图2A-C)结合(如螺栓连接)到工业界面容器19上，并且参照集成水平探测器47(图2A-C)通过调整工业界面容器的安装底脚53调整水平。此后，其余的部件可按任意顺序安装。因为每个部件经预定的安装定位/对齐杆等结合到基准板41上，每个部件经由基准板41的支撑被自然地水平。而且，除了被调整为水平之外，每个部件通过结合到基准板41的预定的安装位置而相对于每个其他的部件占据特定的位置。
同样，结合有一个或更多槽存放搁架S的支撑框架F可被结合到基准板41上，如图2F所示。一个衬底载体处理器H也可能结合到框架F上，而且可被用于在多个槽存放搁架S之间以及一个或更多入站平台P之间移动衬底载体。该衬底载体处理器H可能包括一个灵活结合到框F上的垂直和水平的线性导轨(未显示)、和一个结合到垂直或水平的线性导轨上的末端执行器E。一种用于在自动开门器上部提供存放搁架的设备在美国1998年12月1日申请的序号为09/201,737的专利申请中公开，它的全部内容被包含在本文中，作为参考。737号中设备的搁架，和/或衬底载体处理器可以被直接结合到基准板41上，或经由框架F结合以便该加工设备中的存储设备和多个部件可被快速和精确地对齐。
一方面，被托架S占据的突出的占地面积可能与自动开门器15的位于白色区域净室31中的部分相等。就是说，自动开门器15的位于白色区域净室31中的部分和槽存放托架S可能占据相等的区域。
支撑框架F可由水平底脚53(如同支撑界面容器19的底脚)支撑并且结合到基准板41上(如由结合机构C)以与之对齐。显然，结合机构C可以是一个支柱、螺栓或任何类似的用于确保在X、Y、Z平面的定位的机构。
如在此所用的术语“板”不限于任何特定形状或构造，但是，被广泛解释为覆盖任何结构，该结构提供预定安装位置并且用作基准点或面、允许在预定位置彼此结合规定的部件。
同样，预定的安装或固定位置可以是做钻孔标记的区域，或者可以是预钻孔和/或具有结合在上面的附加安装机构(支架、螺栓、螺杆、支柱等)的区域。
该基准板可被结合到任何支撑结构(容器、框架等)或可以是自立式，在自立式的情况下，基准板可能有可调水平底脚。
注意在此描述的自动开门器仅仅是示范性的。本发明的基准板和安装方法可以使用任何自动开门器，与所采用的开门装置无关。具体说来，当自动开门器平台(如，任何保持毗邻开口装置的密封或密闭晶片载体的装置)被结合到发明的基准板上，而且用于从开口的衬底载体中提取衬底的衬底处理器被结合到发明的基准板上时，衬底处理器将被严格的对齐以使衬底向/从开口的衬底载体传送。因此，利用任何自动开门器本发明的设备和方法都可以被方便地使用。
通过使用发明的基准板和安装方法，因为基准板的固定/安装位置被定位以便当各种部件被结合到基准板上时各种部件被对齐用以衬底或衬底载体在其间传送，使得衬底和/或衬底载体在结合到基准板上的各种部件间的传送很容易。
可设计入站平台速度和相对于分界壁的定位图3A-B表示发明的自动开门器工作站15的侧面剖视图。发明的自动开门器工作站15包括一个入站平台P和一个槽门接收器37。所示的槽107定位在连接到入站平台P的对齐销109上。槽钳111结合到入站平台P上保证对齐槽107在入站平台P的适当位置。入站平台P可平移地安装(由水平调节器119)在支撑入站平台P的底座115上。围墙117包围住水平调节器119。在图3所示的示范实施例中，水平调节器119包括一个导螺杆119a，导螺杆119a有可移地安装在上面的配件119b。槽平台P固定地安装到配件119b上并且随着导螺杆119a一起水平移动。
伺服电动机121(有一个编码器121a)结合到导螺杆119a上使得同样旋转，引起水平调节器119b随之移动。具体来说，该编码器121a结合到伺服电动机121上并结合到控制器C上。如在技术中所了解的，控制器C提供给编码器121a想要的距离(例如，许多步长)和伺服电动机121将移动的方向。然后编码器121a将距离/方向信号转换成适当的电流/电压信号并由此驱动伺服电动机。控制器C也可能接收到来自伺服电动机121的关于由导螺杆119a显示的旋转阻力(例如，一个电流信号代表应用到导螺杆119a扭矩大小)的反馈信息(直接或经由编码器121a)。照这样，当入站平台P(或定位到其上面的槽107)接触槽门接收器37，或任何不合需要的障碍物时，导螺杆119a对旋转的阻力将会增大并且控制器C可能使用这种信息来控制入站平台连续的向前或向后运动。
依照本发明，计算机程序代码(如，一个或更多计算机程序产品)被提供以允许控制器C控制伺服电动机121以便(1)入站平台P在它移动的某部分过程中，例如当定位在入站平台P上的槽接触包围槽进入口23的表面时，以较慢的速度移动，和/或(2)当入站平台P到达它的最终位置(如，以便图3B所示的间隙24存在其间)时，入站平台P(和/或配置在上面的槽)从包围槽入口23的表面分离。
例如，通过使入站平台P接触槽进入口23的周围的表面(如，正像通过导螺杆119b的旋转阻力的增大所检测到的)以及通过利用预定距离来控制伺服电动机121“逐步后退”以便可重复的/预定的间隙24保留在入站平台P(和/或配置在上面的槽)和包围槽进入口23的表面之间，选项(2)可以被完成。在槽门已被移走后该逐步后退可能发生。
槽ID读出器被安装以与入站平台一同移动安装在入站平台P上的是一个ID读出器141，安装在对应于对齐销109的位置以便允许ID读取器141辨认出定位在入站平台P的槽107的识别标记物143。由于ID读出器141被安装在入站平台P上，当入站平台P在槽交换位置(看图3A)和入站位置、邻近的槽进入口35(看图3B)之间移动时，ID读出器141与入站平台P一起移动。因此当槽107在载体交换位置(图3A)、入站位置(图3B)或两者间的任意位置时，本发明的自动开门器15可读出槽ID码143。适当地定位在入站平台P上的槽107(如，经由对齐销109)可以在任何时间被ID读取器141辨认出。
可旋转/可伸缩的槽钳同样结合到入站平台P上以便一同移动的是夹钳111，以保障对齐槽107在入站平台P上的位置。如俯视图3C所示，夹钳111包括一个有伸长的头部147的支杆145。夹钳111的尺寸和相对于对齐销109的位置如下设置，当在初始、未开动的位置时，夹钳111会进入定位在对齐销109上的标准槽107底部的相应的开口149。夹钳111被进一步结合到调节器151上用以旋转和收缩夹钳111。夹钳111的旋转防止槽107在X轴方向上的移动(看图3A)。夹钳111的收缩(看图3B)可以更加坚固地保持槽107所在的位置并且可以防止槽107在任何方向上的摇摆、倾斜或运动。
槽导向传感器在本发明的自动开门器15的入站平台P侧发现的另一个特征是槽存在传感器(图3A-B所示)，它包括一个如LED的发光体151，和一个如光电检波器的光检波器153。该发光体151可能结合到槽开门器框架的上部，可能被定位以使发光体的光束被控制穿过入站平台P附近而到达可以被结合到入站平台P上的光检波器153。发光体151和光检波器153被安装以使发光体151发出的光束可被光检波器153检测到，除非入站平台P附近有槽107或其他障碍物出现。因此当光检波器153没有检测到发出的光束时，光检波器153向结合到那里的控制器C发出载波存在信号。注意，在示范性实施例中所示，控制器C可能控制所有的自动开门器上的传感器和运动机件的运行。
可收缩的槽门接收器钥匙现在说明与本发明的自动开门器15的槽门接收器37有关的具体的特征。如图所示，槽门接收器37确定一个凹槽173以接收槽门175。该凹槽173可能被一个平板177和墙壁179限定。该凹槽173的平板177可能包括一个由钥匙183和结合到钥匙183上的气动驱动器185组成的槽门钥匙驱动机构，该致动器185用于转动钥匙183使得从槽107的其余部分打开槽门175并进一步用于收缩旋转的钥匙183以便支撑槽门175。在平板177上同时提供对齐销187，以用于利用槽门接收器37来对齐槽门175使得槽门接收器钥匙183进入标准槽107的槽门175上相应的钥匙孔189。
槽门接收器钥匙设计与夹钳111类似，该槽门接收器钥匙183包括底座部分195和结合到上面的伸长的头部197(如图4A-C所示)。本发明人认为传统的槽开门器183故障的一个根源是当钥匙旋转时，钥匙头197接触并摩擦槽门175的内面。因此本发明人认为传统的钥匙产生颗粒并且颗粒可能导致随后的钥匙的损坏或可能污染用传统的自动开门器，传送的衬底。
因此，本发明的自动开门器的槽门钥匙183的设计使得它的头部197不会接触槽门175的内面。这可以通过减小钥匙头部197的厚度，或通过延长钥匙的底座部分195达到。例如，当打开标准槽107，如果钥匙183的全长等于当前的SEMI(国际半导体设备和材料)规格，因此钥匙头部197的厚度(箭头标记t表示)应小于当前的SEMI规格，如图4B所示。换句话说，当打开一个标准槽107，如果槽门接收器钥匙183的头部197的厚度与当前SEMI规格中的限定值相等，钥匙183的全长应该比SEMI规格长，如图4C所示。
金属部件的表面磨光本发明人进一步认为传统的槽门故障和/或衬底污染可能由转动件的使用产生，因为旋转导致粗糙的表面磨光。因此，本发明的自动开门器15的任何金属部件可用机械或化学方法抛光以便有一个光滑的加工表面。具体说来，槽门接收器钥匙183和对齐销182可被抛光，如同入站平台对齐销109和夹钳111等。
可编程的槽门接收器内缩速度本发明的自动开门器15的槽门接收器侧的另一个特征为控制器C提供可编程的槽门接收器内缩速度的能力。具体说来，通过参考图5所示的槽门接收器37的正视图，伺服电动机186结合到槽门接收器37上，并且槽门接收器37和伺服电动机186被调整以便伺服电动机186能在高位和低位之间升降槽门接收器37，其中在高位下槽门接收器37封闭在分界壁23上的槽入口35，在低位下槽门接收器37不封闭在分界壁23上的槽入口35(图1)。槽门接收器37可被一个或多个导轨201导向。
如图5所示的正视图，槽门接收器37可能有安装到托架199上的延伸的部分37a。该托架199被可滑动地结合到一对导轨201之间，并且被固定地结合到安装在导螺杆205上的螺母203上。该伺服电动机186被用于旋转导螺杆205使螺母203根据导螺杆205的旋转方向上下移动。结合到槽门接收器37上的伺服电动机186被进一步结合到可编程控制器C上(图3A)，并且可编程控制器C被编程以便允许用户限定槽门接收器37升降速度。一方面程序允许用户在槽门接收器运动的某一部分过程中选择较低的速度，在槽门接收器运动的其他部分过程中选择较高的速度。
单驱动双轴运动槽门接收器参照顺序表示槽门接收器的操作的图6A-C的侧视图，说明控制衬底载体门接收器37的收缩的自动开门器15的部件。
槽门接收器37的垂直运动可被转化为水平运动(例如，槽门接收器朝向和远离分界壁29上的槽入口35的运动)，如2000年7月7日发布的第60/217,147(AMAT 5183)号美国专利申请书中所述，该专利的全部公开内容被结合入本文的参考文献中。具体说来，垂直运动挡块211可用于停止槽门接收器37的垂直运动，并且运动转化连杆213如四杆连杆可能结合到垂直运动挡块上进而结合到槽门接收器37上，以便于在槽门接收器的垂直运动已被垂直运动挡块停止后向前移动槽门接收器37。
如图6A-C，自动开门器15包括水平固定构件215(如，借助于允许水平固定构件215的垂直运动而阻止水平运动的轨道217而被限制水平运动的部件)和结合在衬底载体门接收器37和水平固定构件215之间的连杆213，使得如下所述，允许衬底载体门接收器37的垂直运动被转化为水平运动。
连杆213可能包括都用于在回缩位置(图6B)和伸长位置(图6A)之间在枢轴上转动的上部连杆213a和下部连杆213b。上部连杆213a包括第一接合点219和第二接合点221。第一接合点219被结合到水平固定构件215上而且第二接合点221被结合到衬底载体门接收器37上。同样的，下部连杆213b包括第一接合点219和第二接合点221，也被分别结合到水平固定构件215和衬底载体门接收器37上。因而，该衬底载体门接收器37、水平固定构件215、上部连杆213a和下部连杆213b可被装配组成通常所知的四杆连杆。
该自动开门器15的垂直运动挡块211可包括结合到衬底载体门接收器37上的凸轮从动件223(如水平延伸)，以便凸轮从动件223与衬底载体门接收器37一起垂直和水平运动。凸轮从动件223被应用使得在衬底载体门接收器37垂直向上运动过程中接触垂直固定机构(如凸轮225)，从而停止凸轮从动件223和衬底载体门接收器37的更进一步的垂直运动。
该凸轮225如此定位使得当凸轮从动件223接触到凸轮225时，衬底载体门接收器37能在适当的位置(如，在相同的高度as)接合槽入口35和位于入站平台P的槽的门175。该凸轮225和入站平台P可以用作基准点使得衬底载体门接收器37相对于槽门175处于适当位置。
也可以使用平衡结构如弹簧(未示出)用于向上倾斜衬底载体门接收器37。
现在参考图6A-C的顺序图说明门接收器37的运动转化器的操作。如图6A所示上部连杆111和下部连杆113最初位于延伸的位置。如图6A所示，因为水平固定构件215位于自动开门器15的入站平台P侧的位置，延伸的位置推动衬底载体门接收器37水平远离槽入口35。
在操作中，驱动器186垂直向上移动槽门接收器37以便将槽门接收器37位于接合槽门175的位置。在槽门接收器37垂直向上移动的过程中，该水平延伸的凸轮从动件223接触到凸轮225以便阻止凸轮从动件223和槽门接收器37进一步垂直向上移动。
相对于由凸轮225保持垂直停止的凸轮从动件223和槽门接收器37，该水平固定构件215继续垂直向上移动。在该水平固定构件215继续垂直向上移动的过程中，上部连杆213a和下部连杆213b的第一接合点219一同向上移动。如图6B所示，由于水平固定构件215被水平约束，其垂直运动定位上部连杆213a和下部连杆213b于收缩位置，从而将槽门接收器37水平朝向槽入口35缩进。由于水平固定构件215定位在槽入口35的入站平台侧，因此收缩位置朝向槽入口35推动槽门接收器37。
如图6B所示，在上部连杆213a和下部连杆213b向收缩位置移动的过程中，在那结合的凸轮从动件223和衬底载体门接收器37在一条直线上向槽入口35水平移动(例如，当与凸轮225接合时，由于凸轮从动件223的水平直线构型和垂直固定)，以便槽门接收器可以接收到槽门175。此后该次序倒退进行并且槽门接收器37携带槽门175一起下降。
如上述说明所示，本发明槽开门器15可以使用单驱动器186实现槽门接收器37的垂直和水平运动。
此外，凸轮225提供允许衬底载体门接收器37相对于槽入口35的位置被精确控制的合适的基准点。另外，槽门接收器37的优选的直线运动(如，跟随凸轮225的凸轮从动件223的平面可产生)可能减少当槽门接收器37接触到槽门175时出现的颗粒产生。
可编程FIMS间隙本发明的自动开门器15的槽门接收器侧发现的另一个特征为从朝向入站平台P的分界壁29的表面调整槽门接收器37的伸出的能力。
具体说来，控制结合到槽门接收器上的伺服电动机186的控制器C可被编程以便在相对于用作垂直运动挡块的凸轮211的预定位置，停止水平固定构件215的垂直运动。在接触到凸轮211后，水平固定构件215在垂直运动挡块(如凸轮211)上方移动得越远，槽门接收器37朝向入站平台P移动的水平距离越大。
图7A-C表示槽门接收器15的示意侧视图。图7A表示与垂直运动挡块(凸轮211)处于相同的高度的、引起四杆连杆213延伸、向后推动槽门接收器37、远离槽入口35的水平固定构件215。图7B表示水平固定构件215，它已经在垂直移动挡块(凸轮211)上方移动了一小段距离Y1，引起四杆连杆213向内拉动槽门接收器37一段相应的结果为X1的伸出的小的距离。图7C表示水平固定构件215，它已经在垂直移动挡块上方移动了一个较大的距离Y2，引起四杆连杆213向内拉动槽门接收器37一段相应的结果为X2伸出的较大的距离。
一方面可编程控制器C允许用户选择所需的在槽入口35的入站平台侧的表面与靠近入站平台P的槽门接收器37的表面(如，工业界面表面或FIMS间隙)之间的正或负的间隙。该FIMS间隙控制程序可能包括一个用于将用户所需的FIMS间隙转化为相应的电动机电流的查阅表，或者可能包括一种用于将用户所需的FIMS间隙转化为相应的电动机电流的算法。
自动开门器操作如上所述，在本发明的自动开门器15和工业界面容器19已被结合到基准板41上之后的操作中，如图3A所示，结合到入站平台P上的水平调节器119被调节以引起入站平台P远离基准板41向槽接收位置移动。
由槽存在(present)传感器的发光体151发出的光束被光检波器153接收到，并且槽存在传感器发送信号到控制器C指示出入站平台P是空的并且槽107可被放到上面。此后槽107通过自动或手动的方法被放到槽平台P上。
对齐销109与标准槽107底部的零件连接并kinimatically对齐入站平台P上的槽107。与此同时，夹钳111进入相应的标准槽107底部的开口149，并且槽存在传感器读出一个槽存在于入站平台P上。控制器C接收到槽存在信号，并相应的旋转并收缩夹钳111至安全地将槽107固定在入站平台P上。此外，如前所述，ID读出器141可以在任何时间读取结合到入站平台P上的槽107上的识别标记物。
入站平台P可能包括三个或更多个用于连接标准槽底部的零件的对齐销。传感器可能被定位成与每个对齐销相邻以便标准槽驱动所有的三个传感器，而结合到上面的控制器会认为少于三个传感器的驱动表示槽没有被正确地定位在入站平台P上。可以采用的替换物包括有集成的传感器的销，如被槽压下的柱塞，并激活结合到柱塞上的传感器。这样的集成传感器销在2001年6月27日发布的第09/894，383(AMAT NO.5770/ATD/BG)号美国专利申请书中进行描述，该专利的全部公开内容被结合入本文的参考文献中。
水平调节器119被信号通知开始向分界壁29上的槽入口35移动入站平台P。如前所述，入站平台P移动的速率通过可被编程以改变速度的控制器C来控制，使得入站平台P在邻近入口35的区域慢下来，以便逐渐地接触可能与槽入口35的表面平齐、可能与槽入口35的表面凸出或凹进的槽门接触器37。当槽门进入槽门接收器37的凹槽时，槽门175被包含到凹槽上的对齐销187对齐，并且钥匙133进入密封槽107的门125上的相应的开口139。当槽门175轻轻地接触到槽门接收器37上，并且在接收器的凹槽内被对齐之后，钥匙183由驱动器旋转以便从槽的其余的部分打开槽门175。如上所述，由于钥匙183有较薄的头部197，或较长的底座195，在钥匙183的旋转过程中，钥匙183不会与槽门的内部摩擦。
此后包含在界面容器19中的自动机13可从槽入口35中提取出衬底并且传送到处理工具17中。在整个过程中槽107被牢固地保持在适当的位置并且通过缩进的槽夹钳111防止摇摆或倾斜。由于基准板41和槽夹钳111每个组件的位置，包括槽107和包含在其中的衬底，是精确和可重复的。由于允许控制入站平台P的接近速度的控制的已编程控制器、槽门接收器37被升高时的速度和槽门接收器的凸出(或FIMS间隙)，本发明的自动开门器15提供比现有技术系统更大的灵活性。该已编程控制器也允许运动部件之间的轻微接触，而在移动部件未接触期间提供更快运动。
用于执行这些功能的计算机程序代码可被(1)在技术上具备普通技能的人开发出；(2)以任何计算机编程语言写出；和/或(3)存储在控制器C的存储位置或其他的存储位置(未显示)。
磁安装的罩壳本发明的自动开门器15的最后一个特征是使得装配方便，并为装配和修理情况提供对运动部件的容易访问。具体来说，通常传统的自动开门器的运动部件装入金属薄钢板中，该金属薄钢板被用于包住部件(particle)也被用于改善自动开门器的外观的美感。按照惯例这些金属薄钢板用螺钉或螺栓固定住。然而本发明的自动开门器15，可被装入由多个磁铁形成的安全的金属薄钢板中(如优先选用抛光铝板)。这些磁铁被固定地安装到自动开门器框架上。因此金属薄钢板可以被毫不费力地运用或从本发明的自动开门器上移走。
上述说明仅公开了本发明的一个优选实施例；上述属于本发明范围内的公开的设备的变型很容易近似于那些工艺上很普通的技术。例如，很明显上述自动开门器具有许多本发明的特征，每个特征可独立于其他特征使用。所描述的导螺杆型运动系统仅仅是示范性的，并且可以采用许多运动系统、钥匙、检测器等。同样地基准板相对于结合到上面的各种部件的特定位置可以改变而不影响基准板的功能。该板的特定形状不受限制，并且该术语“板”不限定基准板的任何特定形状和尺寸。任何提供基准板的上述功能的物体可被认为是基准板。
因此，尽管已经参照其实施例公开了本发明，应该理解为其他实施方式也可能属于如以下权利要求书所限定的本发明的精神和领域。
权利要求
1.一种基准板，包括一组用于将基准板结合到容器上的预定的固定位置；一组用于将一个或更多自动开门器平台结合到基准板上的预定的固定位置；一组用于将一个或更多包含在容器内的衬底处理器结合到基准板上的预定的固定位置；其中固定位置被定位以便当基准板结合到容器上，和自动开门器平台上，并且衬底处理器被结合到基准板上时，该衬底处理器和自动开门器平台被对齐以使衬底在衬底处理器和自动开门器平台之间传送。
2.如权利要求1的基准板，其中固定位置包括预钻孔。
3.如权利要求1的基准板，该基准板还包括一组用于将自动模块结合到基准板上的预定的固定位置。
4.如权利要求3的设备，其中自动模块包括一种衬底导向器。
5.如权利要求3的设备，其中自动模块包括一种衬底中心探测器。
6.如权利要求3的设备，其中自动模块包括一种ID读出器。
7.如权利要求3的设备，其中自动模块包括一种计量/检测台。
8.如权利要求3的设备，该设备还包括一组用于将衬底存储位置结合到基准板上的预定固定位置。
9.如权利要求8的设备，其中衬底存储位置用于存储在容器中。
10.如权利要求1的设备，该设备还包括一组用于将衬底存储位置结合到基准板上的预定固定位置。
11.如权利要求10的设备，其中固定位置被定位以便当基准板被结合到容器上，并且衬底处理器和存储位置被结合到基准板上时，衬底处理器和存储位置被对齐以便衬底在衬底处理器和存储位置之间传送。
12.如权利要求1的设备，该设备还包括一组用于将具有一个或更多衬底载体存储托架的支撑框架结合到邻近的平台上的预定固定位置。
13.如权利要求1的设备，该设备还包括一组预定固定位置用于将具有一个或更多衬底载体存储托架和结合到托架上的衬底载体处理架的支撑框架结合到邻近的平台上；其中固定位置被定位以便当基准板被结合到容器上，并且平台和支撑框架被结合到基准板上时，衬底载体处理器、平台和存储托架被对齐以使衬底载体在它们之间传送。
14.一种衬底操作系统，包括支撑框架；基准板，该基准板具有一组用于固定基准板和结合到基准板上的设备的相对X、Y和Z位置的固定装置，该基准板通过该组固定装置被结合到支撑框架；通过该组固定装置结合到基准板上的衬底处理器；通过该组固定装置结合到基准板上的至少一个自动开门器平台。
15.如权利要求14的系统，其中支撑框架是容器。
16.如权利要求14的系统，该系统还包括通过该组固定装置结合到基准板上的附加的支撑框架；并且其中附加的支撑框架包括衬底载体处理器，该衬底载体处理器用于在结合到基准板上的多个自动开门器平台衬底载体处理器之间传送衬底载体。
17.如权利要求16的系统，该系统还包括至少一个结合到附加的支撑框架上的衬底载体存储托架。
18.如权利要求14的系统，其中支撑框架还包括可调整的水平底脚。
19.如权利要求18的系统，其中基准板还包括固定在上面的水平探测器。
20.如权利要求14的系统，该系统还包括至少一个通过该组固定装置结合到基准板上的衬底存储位置。
21.如权利要求14的系统，该系统还包括一个通过该组固定装置结合到基准板上的自动模块。
22.一种安装衬底处理装置的方法，该方法包括提供支撑框架；结合基准板至支撑框架；结合衬底处理器至基准板的预定的安装位置；和结合至少一个自动开门器平台至基准板的预定的安装位置。
23.如权利要求22的方法，该方法还包括通过调整结合到支撑框架上的水平底脚来调整基准板的水平。
24.如权利要求22的方法，该方法还包括结合附加的支撑框架至基准板上的预定的固定位置，该附加支撑框架具有结合到上面并用于在多个自动开门器平台之间传送衬底载体的衬底载体处理器。
25.如权利要求24的方法，该方法还包括结合至少一个衬底载体支撑托架至该附加框架。
26.如权利要求22的方法，该方法还包括结合至少一个衬底存储位置至基准板的预定的安装位置。
27.如权利要求22的方法，该方法还包括结合自动模块至基准板的预定的安装位置。
28.如权利要求16的系统，其中附加支撑框架还包括可调整的水平底脚。
全文摘要
一种基准板被提供以用在衬底操作系统的安装中。该基准板有一组预定固定位置用于结合基准板至容器上、一组预定固定位置用于结合一个或更多自动开门器平台至基准板上，和一组预定固定位置用于结合一个或更多包含在容器内的衬底处理器至基准板上。该固定位置被定位以便当基准板结合到容器上，并且自动开门器平台和衬底处理器被结合到基准板上时，衬底处理器和自动开门器平台被对齐以使衬底在其间传送。其他设备如衬底存储位置、自动模块、用于存储衬底载体的衬底载体处理器和/或托架通过成组的预定固定位置也可被结合到基准板上。采用基准板的衬底操作系统，和安装衬底操作系统的方法也被提供。一方面本发明的基准板可被结合到支撑框架上而不是容器上。提供多个其他方面。
文档编号H01L21/677GK1533589SQ02814646
公开日2004年9月29日 申请日期2002年6月29日 优先权日2001年6月30日
发明者威廉·T·韦弗, 威廉 T 韦弗 申请人:应用材料有限公司