专利名称:改进的移载机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型为一种改进的移载机构，系通过Z轴机构、固定板及线性马达的组合设计，让线性马达的定子能固定不动，而线性马达的动子能随着Z轴机构沿着固定板进行上下动作时同时进行Y轴方向动作，并使该线性马达的动子能不用再背负着Z轴机构动作，藉此，以能大幅提升Y轴移动速度及收敛性。
【专利说明】改进的移载机构
【技术领域】
[0001]本实用新型系有关于一种改进的移载机构，尤指一种可藉由Z轴机构、固定板及线性马达的组合设计，让线性马达的动子能随着Z轴机构沿着固定板进行上下动作时同时进行Y轴方向动作，进而具有大幅提升Y轴移动速度及收敛性等效果，而适用于精密晶圆作业机台、半导体芯片搬运作业机台或类似的结构。
【背景技术】
[0002]由于科技产品日新月异的发展下，其科技产品也开始进行功能整合，而使得科技产品中所需求的半导体芯片或晶圆也越来越精密化。
[0003]在半导体芯片或晶圆制作过程中，大都仰赖移载机构来将半导体芯片或晶圆进行动作移转。而习知的移载机构，如图1所示，在线性马达A((定子Al及动子A2))的应用上，其线性马达A的动子A2是与Z轴机构B的固定背板BI连接，而Z轴机构B的固定背板BI再与Z轴机构B连接，使线性马达A的动子A2在动作时须背负着Z轴机构B —起动作((如虚线框所示))，因此对习知的线性马达A ((定子Al及动子A2))来说，其线性马达A的动子A2在其负载上就会变得比较吃重，且容易造成动力源C需使用较大颗的马达(图未示)才能带动，并在短程动作时，因瞬间速度要求较极速，而有其收敛性较不优的现象。
[0004]因此，本发明人有鉴于上述缺失，期能提出一种能改善线性马达负载重量的移载机构，令使用者可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本发明人所欲研创的本实用新型的动机。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的即在于提供一种改进的移载机构，藉此，以能大幅提升Y轴移动速度及收敛性。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型的技术方案为:一种改进的移载机构，系包括有Z轴机构、固定板及线性马达，其中该线性马达系由定子及动子所组成，而该线性马达的定子系与固定板结合固定，其特点是，该Z轴机构与固定板之间系活动设置有直立式滑轨组，而该Z轴机构另一侧系与线性马达的动子之间活动设置有横向式滑轨组，当Z轴机构沿着固定板进行上下动作，其线性马达的动子能同时沿着Z轴机构进行Y轴方向的动作。
[0007]该Z轴机构系进一步与Z轴动力马达连接，而该Z轴动力马达系进一步外设于X轴机台上，且该X轴机台系与固定板连接，当Z轴机构沿着固定板来进行上下动作，其Z轴动力马达不须跟着Z轴机构来上下动作。
[0008]该X轴机台上系进一步设有X轴动力马达，而该X轴机台下方系进一步活动设置有滑轨组，且该X轴动力马达系与X轴机台连接，使X轴动力马达能输出动力供X轴机台沿着滑轨组来进行前后位移动作。
[0009]该线性马达的定子内系进一步设有槽道，而该线性马达的动子系动作于线性马达的定子内的槽道中，且槽道内的深度系大于或等于Z轴机构与固定板之间活动设置的直立式滑轨组的长度。
[0010]该线性马达的动子上端内部系进一步设有线圈，而线性马达的定子系为磁性体，以能产生磁性传动。
[0011]该直立式滑轨组与横向滑轨组内系进一步各设有轨道及槽轨，而该槽轨系嵌合于轨道上，以能进行来回移动。
[0012]该滑轨组内系进一步设有轨道及槽轨，而该槽轨系嵌合于轨道上，以能进行来回移动。
[0013]本实用新型具有以下有益技术效果:
[0014]1、藉由通过Z轴机构、固定板及线性马达的组合设计，让线性马达的定子能固定不动，且该线性马达的动子能不用再背负着Z轴机构动作，而让线性马达的动子能随着Z轴机构沿着固定板进行上下动作时同时进行Y轴方向动作，藉此，以能具有大幅提升Y轴移动速度及收敛性等效果，进而增加整体的实用性及便利性。
[0015]2、藉由线性马达的定子内系设有槽道，而该线性马达的动子系动作于线性马达的定子内的槽道中，且槽道内的深度系大于或等于Z轴机构与固定板之间活动设置的直立式滑轨组的长度，使线性马达的动子上端内部的线圈在随着Z轴机构上下动作时皆能维持位于线性马达的定子内的槽道中，让线性马达的动子能具有提升负载的效能，而增加整体的实用性及便利性。
【附图说明】
[0016]图1系为本实用新型习知技术的线性马达作动示意图。
[0017]图2系为本实用新型实施例的线性马达动作示意图。
[0018]图3系为本实用新型实施例的立体外观示意图。
[0019]图4系为本实用新型实施例的侧面外观示意图。
[0020]图5系为本实用新型实施例的Z轴机构与线性马达组合连接示意图。
[0021]符号说明
[0022]A、线性马达
[0023]Al、定子
[0024]A2、动子
[0025]B、Z轴机构
[0026]B1、固定背板
[0027]C、动力源
[0028]10、Z 轴机构
[0029]11、动力源
[0030]111、Z轴动力马达
[0031]20、固定板
[0032]30、线性马达
[0033]31、定子
[0034]311、槽道
[0035]32、动子
[0036]40、直立式滑轨组
[0037]50、X 轴机台
[0038]51、置放平台
[0039]52、X轴动力马达
[0040]60、滑轨组
[0041]70、横向式滑轨组
【具体实施方式】
[0042]为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型。
[0043]请参阅图2?图5，系为本实用新型实施例的示意图，而本实用新型的改进的移载机构的最佳实施方式系运用于精密晶圆作业机台或半导体芯片搬运作业机台上。且本实用新型是一种改进的移载机构，系包括有Z轴机构10、固定板20及线性马达30(如图2所示)，其中该线性马达30系由定子31及动子32所组成，而线性马达30的定子31系为磁性体，且线性马达30的定子31内系设有槽道311，另线性马达30的动子32上端内部则设有线圈(图未示)，且线性马达30的动子32系动作于线性马达30的定子31内的槽道311中，通过磁性传动原理让线性马达30的动子32能于线性马达30的定子31内的槽道311中动作。
[0044]而本实用新型的固定板20系呈倒L型体，且该线性马达30的定子31 —侧系与固定板20的上端处锁合，使线性马达30的定子31能稳固结合于固定板20上，而固定板20的倒L型体的中空处系能容置Z轴机构10于内，使Z轴机构10能位于固定板20与线性马达30之间(如图2所示)。而该Z轴机构10与固定板20之间系活动设置有直立式滑轨组40 (如图5所示)(本实用新型系设有三组，亦可为多组的设计，且不受图示的限制)，其中该直立式滑轨组40系设有轨道及槽轨，而当固定板20上系结合锁附轨道，则Z轴机构10上系结合锁附槽轨，或者是当固定板20上系结合锁附槽轨，则Z轴机构10上系结合锁附轨道，使槽轨能嵌合于轨道上，且通过槽轨能于轨道上进行来回的移动，使Z轴机构10能沿着固定板20来进行Z轴方向的上下动作。
[0045]另本实用新型的Z轴机构10系通过动力源11来推动，而该动立源11系为Z轴动力马达111，通过Z轴动力马达111与Z轴机构10连接，使Z轴动力马达111能输出动力来让Z轴机构10能进行Z轴方向的上下动作(如图4所示)，而上述的Z轴动力马达111系外设于X轴机台50上，该X轴机台50系与固定板20连接，且X轴机台50上系延伸有置放平台51，以供固置Z轴动力马达111于置放平台51上，而当Z轴机构10沿着固定板20来进行Z轴方向的上下动作时，其Z轴动力马达111则不须跟着Z轴机构10来进行Z轴方向的上下动作。
[0046]而该X轴机台50上系设有X轴动力马达52，且该X轴动力马达52亦固置于X轴机台50所延伸的置放平台51上，而X轴机台50所延伸的置放平台51下方系活动设置有滑轨组60 (如图3及图4所示)(本实用新型系设有三组，亦可为多组的设计，且不受图示的限制)，其中该滑轨组60系设有轨道及槽轨，而当置放平台51下方系结合锁附轨道，则Fix平台(图未示)上系结合锁附槽轨，或者是当Fix平台(图未示)上系结合锁附轨道，则置放平台51下方系结合锁附槽轨，使槽轨能嵌合于轨道上，且透过槽轨能于轨道上进行来回的移动，使X轴动力马达52能输出动力供X轴机台50所延伸的置放平台51能沿着滑轨组52来进行X轴方向的前后位移动作。
[0047]再者，本实用新型的Z轴机构10另一侧系与线性马达30的动子32间活动设置有横向式滑轨组70(如图5所示)(本实用新型系设有二组，亦可为多组的设计，且不受图示的限制)，其中该横向式滑轨组70系设有轨道及槽轨，而当Z轴机构10上系结合锁附轨道，则线性马达30的动子32上系结合锁附槽轨，或者是当Z轴机构10上系结合锁附槽轨，则线性马达30的动子32上系结合锁附轨道，使槽轨能嵌合于轨道上，且通过槽轨能于轨道上进行来回的移动，使线型马达30的动子32能沿着Z轴机构10来进行Y轴方向的左右动作。
[0048]而该线性马达30的动子32系动作于线性马达30的定子31内的槽道311中，且该槽道311内的深度系大于或等于Z轴机构10与固定板20之间活动设置的直立式滑轨组40的长度，使线性马达30的动子32上端内部的线圈(图未示)在随着Z轴机构10上下动作时皆能维持位于线性马达30的定子31内的槽道311中，让线性马达30的动子32能具有提升负载的效能。并再通过线性马达30的定子31固定不动，而让线性马达30的动子32能随着Z轴机构10沿着固定板20进行上下动作时同时进行Y轴方向的左右动作(如图2所示)，藉此，该线性马达30的动子32能不用再背负着Z轴机构10动作，并同时具有大幅提升线性马达30在Y轴移动的速度及收敛性等效果，以达到客户的需求。
[0049]由以上详细说明，可使熟知本项技艺者明了本实用新型的确可达成前述目的。
[0050]然而以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围；故，凡依本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
【权利要求】
1.一种改进的移载机构，系包括有Z轴机构、固定板及线性马达，其中该线性马达系由定子及动子所组成，而该线性马达的定子系与固定板结合固定，其特征在于，该Z轴机构与固定板之间系活动设置有直立式滑轨组，而该Z轴机构另一侧系与线性马达的动子之间活动设置有横向式滑轨组，Z轴机构沿着固定板进行上下动作，其线性马达的动子同时沿着Z轴机构进行Y轴方向的动作。2.如权利要求1所述的改进的移载机构，其特征在于，该Z轴机构系进一步与Z轴动力马达连接，而该Z轴动力马达系进一步外设于X轴机台上，且该X轴机台系与固定板连接。3.如权利要求2所述的改进的移载机构，其特征在于，该X轴机台上系进一步设有X轴动力马达，而该X轴机台下方系进一步活动设置有滑轨组，且该X轴动力马达系与X轴机台连接。4.如权利要求1所述的改进的移载机构，其特征在于，该线性马达的定子内系进一步设有槽道，而该线性马达的动子系动作于线性马达的定子内的槽道中，且槽道内的深度系大于或等于Z轴机构与固定板之间活动设置的直立式滑轨组的长度。5.如权利要求4所述的改进的移载机构，其特征在于，该线性马达的动子上端内部系进一步设有线圈，而线性马达的定子系为磁性体。6.如权利要求1所述的改进的移载机构，其特征在于，该直立式滑轨组与横向滑轨组内系进一步各设有轨道及槽轨，而该槽轨系嵌合于轨道上。7.如权利要求3所述的改进的移载机构，其特征在于，该滑轨组内系进一步设有轨道及槽轨，而该槽轨系嵌合于轨道上。
【文档编号】H01L21-677GK204303781SQ201420594535
【发明者】郑怡轩, 陈光诚, 苏皓昌, 钟全铭 [申请人]威控自动化机械股份有限公司