专利名称：扭矩传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种使用了磁致伸缩部件的扭矩传感器。
背景技术：
现有技术中，公知使用磁致伸缩部件的应力磁效果可以检测出扭矩的变化的扭矩传感器。
例如，如图21示出的现有公知的扭矩传感器1由具有钛合金制的扭矩传动轴2和呈同心圆形缠绕在该扭矩传动轴2的周围的线圈3A、3B，具有通过热处理使内部应力降低的磁致伸缩的镍-铁磁性材料薄带4A、4B，在施加了平面压缩应力的状态下连接于扭矩传动轴2的表面(参见日本专利申请特开平5-5660号公报)。
该扭矩传感器1根据来自扭矩传动轴2的扭转应力，将磁性薄带4A、4B的磁特性的变化作为线圈3A、3B的阻抗变化而检测出，从而检测出扭矩传动轴2的扭矩变化。
因此，由于磁致伸缩薄体4A、4B的磁特性的变化(磁致伸缩值的变化)小，所以该现有公知的扭矩传感器1需要使用电桥电路使检出灵敏度提高，会有成本变高的问题，而且检出灵敏度的提高也有限制。
发明内容
本发明是为了解决这种问题提出的，其目的是提供一种可以实现元件数量减少、低成本化等，同时可以高精度地进行扭矩变化的检出的扭矩传感器。
本发明的发明人进行努力研究的结果，发现了可以实现元件数量减少、低成本化等，同时可以高灵敏度地进行扭矩变化的检出的扭矩传感器。
本发明所述的一种扭矩传感器，其中，具有大致筒状的磁致伸缩部件；轴，其贯通设置于该磁致伸缩部件的内部空间内，可以将扭矩传递给上述磁致伸缩部件；检出装置，其用于检测出上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化，将上述轴的扭矩变化作为基于上述磁致伸缩部件的变形的该磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化而检测出。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述磁致伸缩部件嵌合于上述轴上，且固定在上述轴的外周面上。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述磁致伸缩部件通过粘结剂而粘结固定在上述轴的外周面上。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述磁致伸缩部件通过压入和热装中的任意一种固定在上述轴的外周面上。
本发明所述的扭矩传感器，其中，在上述磁致伸缩部件的内周面和上述轴的外周面之间有弹性薄膜。
本发明所述的扭矩传感器，其中，包括大致筒状的磁致伸缩杆，其具有上述磁致伸缩部件，而且一端固定于固定部；上述轴，其在该磁致伸缩杆的另一端侧具有直径比该磁致伸缩杆的内径大的突出部；弹性部件，其对该轴的上述突出部加载而使其趋向于上述磁致伸缩杆的另一端侧，上述轴的扭矩可以通过作用在该轴的突出部和上述磁致伸缩杆之间的摩擦力而传递到上述磁致伸缩杆。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述弹性部件的加载力可以调整。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述轴的突出部的直径大于上述磁致伸缩杆的另一端侧的外径。
本发明所述的扭矩传感器，其中，在上述轴的突出部和上述磁致伸缩杆之间有弹性片。
本发明所述的扭矩传感器，其中，对上述磁致伸缩部件施加有规定的偏置磁场。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述检出装置包括检出线圈，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述检出线圈的电感值的变化而检测出。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述检出装置包括霍尔元件，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述霍尔元件的电动势变化而检测出。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述检出装置包括磁阻效应元件，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述磁阻效应元件的电动势变化而检测出。
本发明所述的扭矩传感器，其中，上述磁致伸缩部件由以超磁致伸缩元件为材料的超磁致伸缩部件构成。
根据本发明的扭矩传感器，可以实现元件数量减少、低成本化等，同时可以高灵敏度地进行扭矩变化的检出。再有，可以对装置的损害等防范于未然，可以提高相对于扭矩的强度。
图1本发明实施例1的扭矩传感器的简略立体图；图2是从图1的箭头II方向所见的简略侧视图；图3是表示实施例1扭矩传感器的轴的扭矩和检出线圈的电感值的关系的曲线图；图4是本发明实施例2的扭矩传感器的简略立体图；图5是从图4的箭头V方向所见的简略侧视图；图6是表示实施例2扭矩传感器的轴的扭矩和检出线圈的电感值的关系的曲线图；图7是本发明实施例3的扭矩传感器的简略立体图；图8是从图7的箭头VIII方向所见的简略侧视图；图9是表示实施例3扭矩传感器的轴的扭矩和检出线圈的电感值的关系的曲线图；图10是表示作为扭矩传感器的检出装置适用霍尔元件或磁阻效应元件的例子的简略立体图；图11是从图10的箭头XI方向所见的简略侧视图；图12是本发明实施例4的扭矩传感器的简略侧剖视图；图13沿着图12的XIII-XIII线的简略剖视图；图14是表示本发明实施例4的扭矩传感器的扭矩和电感值的测定装置的侧面剖视图；图15比较例1的扭矩传感器的扭矩和电感值的测定装置的侧面剖视图；图16是表示比较例1的扭矩传感器的扭矩和电感值的关系的曲线图；图17是表示在对本发明实施例4的扭矩传感器施加60kg/cm2的预加载荷的情况下的扭矩和电感值的关系的曲线图；图18是表示对相同的扭矩传感器施加80kg/cm2的预加载荷的情况下的扭矩和电感值的关系的曲线图；图19是本发明实施例5的扭矩传感器的简略侧面剖视图；图20是表示作为本发明实施例4的扭矩传感器的检出装置而适用磁阻效应元件的例子的侧面剖视图；图21是现有的扭矩传感器的简略侧面剖视图。
具体实施例方式
下面，使用附图对本发明实施例1～5的扭矩传感器进行详细说明。
如图1和图2所示，本发明实施例1的扭矩传感器10嵌合在轴12上，而且，具有固定在该轴12的外周面上的大致圆筒状的超磁致伸缩部件14和设置在该超磁致伸缩部件14附近的磁头16。
超磁致伸缩部件14通过粘结剂18而粘结固定在轴12的外周表面上。还有，该超磁致伸缩部件14以超磁致伸缩元件为材料。这里，“超磁致伸缩元件”是由以稀土类元素和/或特定的过渡金属等为主要成分(例如铽、镝、铁等)等粉末烧结合金或单晶合金制成的磁致伸缩元件，具有由于来自外部的应力而变形时产生大的导磁率或剩余磁化量的变化的性质。
磁头16由开口部向着超磁致伸缩部件14侧配置的大致呈コ字形状的磁心20和缠绕在该磁心20周围的检出线圈(检出装置)22构成。
检出线圈22可以将基于超磁致伸缩部件14的变形的超磁致伸缩部件14的导磁率或剩余磁化量的变化作为电感值的变化而检测出。还有，该例子中，检出线圈22的电感值可以由LCR计量器24检测出。
接下来，针对根据本发明实施例1的扭矩传感器10的作用进行说明。
当轴12在轴心周围扭转时，那么规定的转矩就会传递到固定在轴12的外周围表面上的超磁致伸缩部件14。从而超磁致伸缩部件14由于该转矩而变形，超磁致伸缩部件14的导磁率或剩余磁化量发生变化。因此，通过将该超磁致伸缩部件14的导磁率或残留磁化量的变化作为检出线圈22的电感值的变化而检测出，可以检测出轴12的转矩变化。
本发明的发明人针对施加给轴12的转矩和检出线圈22中电感值之间的关系而采集数据。还有，本实验中，由环氧树脂类的粘结剂18将轴径3mm的不锈钢制的轴12和外径6mm、内径3mm、长10mm的圆筒形的超磁致伸缩部件14粘结固定。还有，检出线圈22的线种为0.12mm的UEW、卷数为600匝。其结果如图3所示，采集数据的扭矩在0(cN·m)～80(cN·m)的范围内，发现检出线圈22的电感值对应于施加给轴12的扭矩的变化而变化。
根据实施例1的扭矩传感器10，具有超磁致伸缩部件14，其由嵌合于轴12、而且固定在该轴12的外周面上的大致筒状体构成；检出线圈(检出装置)22，其用于检测出该超磁致伸缩部件14的导磁率或剩余磁化量的变化，为了将轴12的扭矩变化作为基于超磁致伸缩部件14的变形的超磁致伸缩部件14的导磁率或剩余磁化量的变化而检测出，可以增大超磁致伸缩部件14的磁致伸缩值的变化，可以高灵敏度地进行轴的扭矩变化的检出。还有，由于不需要以提高检出灵敏度为目的的电桥电路，所以相比较于现有的扭矩传感器，可以减少元件数量，可以容易地实现低成本化。
特别是，由于使用将超磁致伸缩元件作为材料的超磁致伸缩部件14，所以可以进一步提高扭矩变化的检出灵敏度。
还有，由于超磁致伸缩部件14利用粘结剂18粘结固定在轴12的外周面上，可以牢固地固定轴12和超磁致伸缩部件14，而且通过粘结剂18吸收来自轴12的径向方向的压力，可以仅将轴12的扭矩成分效率良好地传递到超磁致伸缩部件14，在这一点上也可以实现扭矩变化的检出灵敏度的提高。
接下来，使用图4～图6针对本发明实施例2的扭矩传感器进行说明。
如图4和图5所示的本发明实施例2的扭矩传感器30通过压入超磁致伸缩部件14固定在轴12的外周面上。还有，在超磁致伸缩部件14的内周面和轴12的外周面之间插入有作为弹性薄膜的PE(聚乙烯)薄膜32。还有，由于其它的结构与上述实施例1的扭矩传感器10相同，所以针对同样的部分在图中使用相同的附图标记，省略其说明。
本发明的发明人使用与实施例1的扭矩传感器10相同的轴12、超磁致伸缩部件14和检出线圈22，针对施加给扭矩传感器30的轴12的扭矩和检出线圈22的电感值的关系采集数据。其结果如图6所示，发现在采集了数据的扭矩0(cN·m)～50(cN·m)的范围内，检出线圈22的电感值对应于轴12的扭矩变化而变化。
即根据本实施例2的扭矩传感器30也可以将轴12的扭矩变化作为基于超磁致伸缩部件14的变形的超磁致伸缩部件14的导磁率或剩余磁化量的变化而检测出。
根据本实施例2的扭矩传感器30，由于超磁致伸缩部件14通过压入而固定在轴12的外周面上，通过压入而对超磁致伸缩部件14可以施加规定的预加载荷，可以得到与实施例1的扭矩传感器10不同的特性。具体地说，通过对超磁致伸缩部件14施加规定的预加载荷，检出线圈22的电感值的变化的上升沿可以比扭矩传感器10早。因此，如果准备实施例1和实施例2的扭矩传感器10、30，用户可以对应于使用用途选择扭矩传感器的特性。
还有，由于在超磁致伸缩部件14的内周面和轴12的外周面之间插入有PE薄膜(弹性薄膜)32，由弹性薄膜32吸收来自轴12的径向方向的压力，同时可以仅将轴12的扭矩成分效率良好地传递到超磁致伸缩部件14，可以进一步提高扭矩变化的检出灵敏度。
还有，在本实施例2中，虽然通过压入而将超磁致伸缩部件14固定在轴12的外周面上，但是本发明并不局限于此，也可以通过热装配合将超磁致伸缩部件14固定在轴12的外周面上。
还有，虽然在超磁致伸缩部件14的内周面和轴12的外周面之间插入作为弹性薄膜的PE薄膜32，但是本发明并不局限于此，例如也可以插入PS(聚苯乙烯)薄膜、橡胶等的弹性薄膜。
接下来，使用图7～图9针对本发明实施例3的扭矩传感器进行说明。
如图7和图8所示的本发明实施例3的扭矩传感器40通过直流电源42将固定电流输入到检出线圈22，将规定的偏置磁场施加到超磁致伸缩部件14。还有，由于其它的结构与实施例2的扭矩传感器30相同，因此对于相同的部分在图中使用相同的附图标记，省略其说明。
本发明的发明人使用与实施例1的扭矩传感器10相同的轴12、超磁致伸缩部件14和检出线圈22，针对施加给扭矩传感器40的轴12的扭矩和检出线圈22的电感值的关系而采集数据。其结果如图9所示，发现以扭矩0(cN·m)为基准，在扭矩0(cN·m)～25(cN·m)的范围内检出线圈22的电感值增加，而在扭矩0(cN·m)～-25(cN·m)的范围内检出线圈22的电感值减少。即，向一个方向扭转轴12的情况下，检出线圈22的电感值增加，向另一方向扭转轴12的情况下，检出线圈22的电感值减小。
根据本实施例3的扭矩传感器40，由于对超磁致伸缩部件14施加规定的偏置磁场，所以不仅可以检测出轴12的扭矩变化，还可以检测出轴12的旋转方向。
还有，在本实施例3中，虽然通过利用直流电源42将固定电流输入检出线圈22，从而将规定的偏置磁场施加给插磁致伸缩部件14，但是本发明并不局限于此，例如也可以设置偏置磁铁，由此对超磁致伸缩部件14施加偏置磁场。
本实施例的扭矩传感器并不局限于上述实施例1～3的扭矩传感器10、30、40的形状和结构等，例如，超磁致伸缩部件14并不局限于圆筒形状的部件，也可以是方筒形状等的部件。
虽然在上述实施例1中，通过粘结剂18将超磁致伸缩部件14粘结固定在轴12的外周面上，还有在实施例2和3中，在超磁致伸缩部件14的内周面和轴12的外周面之间插入PE薄膜32，通过压入而将超磁致伸缩部件14固定在轴12上，但是本发明并不局限于此，也可以将超磁致伸缩部件14和轴12直接固定。
特别是，本发明中的检出装置并不局限于检出线圈，例如，如图10和图11所示的扭矩传感器50那样，也可以使用霍尔元件52(或MR、GMR等磁阻效应元件)作为检出装置，检出超磁致伸缩部件14的导磁率或剩余磁化量的变化作为霍尔元件52(或磁阻效应元件)的电动势变化。
此外，在扭矩传感器的检出灵敏度不需要非常高的程度的情况下，代替超磁致伸缩部件14，也可以使用由磁致伸缩元件构成的磁致伸缩部件。
接下来，使用图12到图18，说明本发明实施例4的扭矩传感器。
如图12和图13所示，本实施例4的扭矩传感器110包括大致圆筒状的超磁致伸缩杆114，其将下端114A固定在基部(固定部)112上；轴118，其贯通设置在该超磁致伸缩杆114的内部空间内，在超磁致伸缩杆的上端114B侧具有上侧板(突出部)116；弹簧(弹性部件)120，其用于使该轴118的上侧板116趋向于超磁致伸缩杆114的上端114B侧；检出线圈(检出装置)112，其可以检测出基于超磁致伸缩杆114的变形的超磁致伸缩杆114的导磁率或剩余磁化量的变化。
超磁致伸缩杆114是将超磁致伸缩元件作为材料。
设置在轴118的上方的上侧板116，在该实施例中是由大致圆板形状的部件构成，其外径比超磁致伸缩杆114的上端114B侧的外径大。还有，在轴118的上侧板116和超磁致伸缩杆114的上端114B之间插入有弹性片124。
另一方面，在轴118的下方设置与上侧板116大致相同形状的下侧板126，该下侧板126可以通过螺母128而沿着轴118上下移动。还有，在该下侧板126和基部112之间压缩设置有弹簧120，弹簧120的加载力可以通过使下侧板126上下移动而调整。
检出线圈122以围绕着超磁致伸缩杆114的外周的形式设置，可以检测出超磁致伸缩杆114的导磁率或剩余磁化量的变化。
接下来，针对本实施例4的扭矩传感器110的作用进行说明。
当对轴118施加扭矩时，固定在轴118上的上侧板116伴随着轴118的扭转而旋转。由于该上侧板116通过弹簧120而趋向于超磁致伸缩杆114的上端114B侧，所以轴118的扭矩通过作用在上侧板116与超磁致伸缩杆114之间的摩擦力而传递到超磁致伸缩杆114。其结果，在超磁致伸缩部件114产生扭转(变形)，基于该变形，超磁致伸缩部件114的导磁率或剩余磁化量发生变化。因此，只要将该超磁致伸缩部件114的导磁率或剩余磁化量的变化作为检出线圈122的电感值的变化而检测出，就可以检测出轴118的转矩变化。
本发明的发明人使用如图14所示的扭矩测定器130和LCR计量器132，针对施加给扭矩传感器110的轴118的扭矩和检出线圈122的电感值的关系而采集数据。还有，本实验中，使用了外径8mm、内径5mm、长度20mm的圆筒形状的超磁致伸缩杆114和线径0.2mm、线种UEW、卷数200匝、线圈长0.13cm的检出线圈。还有，在超磁致伸缩杆114和上侧板116之间插入特氟纶(注册商标)片作为弹性片124。
还有，为了与本实施例4的扭矩传感器110进行比较，针对图15所示的比较例1的扭矩传感器140而采取同样的数据。还有，该比较例1的扭矩传感器140是将固定在轴142上的大致圆板形状的板144粘结固定在超磁致伸缩杆114的上端114B。
其结果，比较例1的扭矩传感器140如图16所示，扭矩从0(cN·m)缓慢增加，而在扭矩超过80(cN·m)处超磁致伸缩部件114发生破损。
另一方面，本实施例4的扭矩传感器110如图17和图18所示，即使在施加超过80(cN·m)的扭矩的情况下，扭矩的最大值也被抑制在50(cN·m)左右，超磁致伸缩杆114不会达到破损。这是因为虽然施加给轴118超过80(cN·m)的扭矩，但是由于与在上侧板116和超磁致伸缩杆114之间作用的摩擦力相比，超磁致伸缩杆114回复到原始形状的力大，其结果是，在上侧板116和超磁致伸缩杆114之间发生滑动，意味着超过50(cN·m)的扭矩并没有传递到超磁致伸缩杆114。还有，图17和图18分别表示对超磁致伸缩杆114施加60kg/cm2的预加载荷的情况、和施加80kg/cm2的预加载荷的情况的数据。
根据本实施例4的扭矩传感器110，包括大致筒状的超磁致伸缩杆114，其具有超磁致伸缩部件，一端114A固定于基部(固定部)112；轴118，其贯通设置在该超磁致伸缩杆114的内部空间内，而且在超磁致伸缩杆的另一端114B侧具有比该超磁致伸缩杆114的内径大的直径的上侧板(突出部)116；弹簧(弹性部件)120，其用于使该轴118的上侧板116趋向于超磁致伸缩杆114的另一端114B；检出线圈(检出装置)122，其可以检测出基于超磁致伸缩杆114B的变形的超磁致伸缩杆114的导磁率或剩余磁化量的变化，由于轴118的扭矩可以通过轴118的上侧板116和超磁致伸缩杆114之间作用的摩擦力传递到超磁致伸缩杆114，所以在从轴118传递规定以上的扭矩给超磁致伸缩杆114的情况下，可以阻断来自轴118的扭矩传递。因此可以防止从轴118施加过大的扭矩给超磁致伸缩杆114，可以将超磁致伸缩杆114的破损防范于未然，可以提高强度。还有，与现有的扭矩传感器相比，加工容易且可以实现低成本化，由于使用大致筒状的超磁致伸缩杆114，所以可以提高扭矩变化的检出灵敏度。
特别是，由于使用将超磁致伸缩元件作为材料的超磁致伸缩杆114，所以可以更进一步提高扭矩变化的检出灵敏度。
还有，由于可以调整弹簧(弹性部件)120的加载力，所以可以使上侧板116和超磁致伸缩杆114之间作用的摩擦力发生变化，可以容易地调整可从轴118传递到超磁致伸缩杆114的扭矩的大小。
特别是，由于轴118的上侧板(突出部)116的直径比超磁致伸缩杆114的另一端114B的外径大，所以可以使上侧板116和超磁致伸缩杆114的接触面积大。因此，可以将轴118的扭矩更可靠地传递到超磁致伸缩杆114，可以进一步提高扭矩变化的检出灵敏度。
还有，由于在超磁致伸缩杆114和上侧板116之间插入弹性片124，所以由弹性片124吸收轴118的轴向压力，同时可以高效地仅将轴118的扭矩传递到超磁致伸缩杆114。
接下来，使用图19详细地说明本发明实施例5的扭矩传感器150。
如图所示，本实施例5的扭矩传感器150分别在上述实施例4的扭矩传感器110的超磁致伸缩杆114的轴向的两侧设置磁铁152，将规定的偏置磁场施加于超磁致伸缩杆114。还有，与实施例4的扭矩传感器10相同的部分在图中使用相同的附图标记，并省略其说明。
根据本实施例5的扭矩传感器150，由于对超磁致伸缩部件114施加规定的偏置磁场，所以不仅检测出轴118的扭矩变化，还可以检测出轴118的旋转方向。
还有，本发明的扭矩传感器并不局限于上述实施例4和5的扭矩传感器110、150的形状和结构等，例如超磁致伸缩杆114并不局限于圆筒状的部件，也可以是方筒形状等的部件。
还有，虽然由大致圆板形状的上侧板116构成轴118的突出部，但是本发明并不局限于此，例如也可以使突出部与轴118一体地形成，还有，也可以是多边形形状。特别是，本发明的弹性部件并不局限于弹簧120。
更进一步，虽然可以调整弹簧120的加载力，但是本发明并不局限于此，弹簧120的加载力也可以是一定的，可以基于超磁致伸缩杆114能够承受的扭矩的值最适当地设定。
还有，本发明的检出装置并不局限于检出线圈，例如如图20所示的扭矩传感器160那样，可以使用霍尔元件162(或MR、GMR等的磁阻效应元件)作为检出装置，也可以将超磁致伸缩杆114的导磁率或剩余磁化量的变化作为霍尔元件162(或磁阻效应元件)的电动势变化而检测出。
还有，在充分得到扭矩传感器的检出灵敏度的情况下，代替超磁致伸缩部件，也可以使用由磁致伸缩元件构成的磁致伸缩部件。
权利要求
1.一种扭矩传感器，其特征在于，具有大致筒状的磁致伸缩部件；轴，其贯通设置于该磁致伸缩部件的内部空间内，可以将扭矩传递给上述磁致伸缩部件；检出装置，其用于检测出上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化，将上述轴的扭矩变化作为基于上述磁致伸缩部件的变形的该磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化而检测出。
2.根据权利要求1所述的扭矩传感器，其特征在于，上述磁致伸缩部件嵌合于上述轴上，且固定在上述轴的外周面上。
3.根据权利要求2所述的扭矩传感器，其特征在于，上述磁致伸缩部件通过粘结剂而粘结固定在上述轴的外周面上。
4.根据权利要求2所述的扭矩传感器，其特征在于，上述磁致伸缩部件通过压入和热装中的任意一种固定在上述轴的外周面上。
5.根据权利要求4所述的扭矩传感器，其特征在于，在上述磁致伸缩部件的内周面和上述轴的外周面之间有弹性薄膜。
6.根据权利要求1所述的扭矩传感器，其特征在于，包括大致筒状的磁致伸缩杆，其具有上述磁致伸缩部件，而且一端固定于固定部；上述轴，其在该磁致伸缩杆的另一端侧具有直径比该磁致伸缩杆的内径大的突出部；弹性部件，其对该轴的上述突出部加载而使其趋向于上述磁致伸缩杆的另一端侧，上述轴的扭矩可以通过作用在该轴的突出部和上述磁致伸缩杆之间的摩擦力而传递到上述磁致伸缩杆。
7.根据权利要求6所述的扭矩传感器，其特征在于，上述弹性部件的加载力可以调整。
8.根据权利要求6所述的扭矩传感器，其特征在于，上述轴的突出部的直径大于上述磁致伸缩杆的另一端侧的外径。
9.根据权利要求6所述的扭矩传感器，其特征在于，在上述轴的突出部和上述磁致伸缩杆之间有弹性片。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，对上述磁致伸缩部件施加有规定的偏置磁场。
11.根据权利要求1至9中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，上述检出装置包括检出线圈，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述检出线圈的电感值的变化而检测出。
12.根据权利要求10所述的扭矩传感器，其特征在于，上述检出装置包括检出线圈，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述检出线圈的电感值的变化而检测出。
13.根据权利要求1至9中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，上述检出装置包括霍尔元件，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述霍尔元件的电动势变化而检测出。
14.根据权利要求10所述的扭矩传感器，其特征在于，上述检出装置包括霍尔元件，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述霍尔元件的电动势变化而检测出。
15.根据权利要求1至9中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，上述检出装置包括磁阻效应元件，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述磁阻效应元件的电动势变化而检测出。
16.根据权利要求10所述的扭矩传感器，其特征在于，上述检出装置包括磁阻效应元件，将上述磁致伸缩部件的导磁率或剩余磁化量的变化作为上述磁阻效应元件的电动势变化而检测出。
17.根据权利要求1至9中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，上述磁致伸缩部件由以超磁致伸缩元件为材料的超磁致伸缩部件构成。
18.根据权利要求10所述的扭矩传感器，其特征在于，上述磁致伸缩部件由以超磁致伸缩元件为材料的超磁致伸缩部件构成。
19.根据权利要求11所述的扭矩传感器，其特征在于，上述磁致伸缩部件由以超磁致伸缩元件为材料的超磁致伸缩部件构成。
全文摘要
本发明提供一种扭矩传感器(10)，具有大致筒状的超磁致伸缩部件(14)；轴(12)，其贯通设置在该超磁致伸缩部件(14)的内侧空间内，可以将扭矩传递到超磁致伸缩部件(14)；检出线圈(22)，其用于检测出超磁致伸缩部件(14)的导磁率或剩余磁化量的变化。而且，将轴(12)的扭矩变化作为基于超磁致伸缩部件(14)的变形的超磁致伸缩部件(14)的导磁率或剩余磁化量的变化而检测出，可以实现部件数量的减少、低成本化等，同时可以高灵敏度地进行扭矩变化的检出。
文档编号H01L41/00GK1673700SQ200510055959
公开日2005年9月28日 申请日期2005年3月22日 优先权日2004年3月22日
发明者森辉夫, 铃木利博, 富泽史郎, 高藤今朝春 申请人:Tdk股份有限公司