专利名称：自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种派工(dispatch)相关的技术，特别是有关于一种计算机可实现且适用于以载具进行馈入的批次制程设备中的自动派工方法。
背景技术：
在许多制造厂中，如半导体(semiconductor)产品制造厂中，批次制程设备(batch manufacturing tool)是属不可或缺的元件。传统处理流程中，批次制程设备会以载具(carrier)作为基础进行物件(object)的处理。举例而言，假设一批次制程设备可于一时间内可同时载入并处理四个载具，当四个载具已到达此批次制程设备时，无论此四个载具目前的占有率为何，便会同时载入并进行处理。
因此，若载入进行处理的载具是处于空置的或未全填满的情形下，制程设备所进行的处理效率便会很低。对于半导体产品制造厂而言，批次制程设备通常为价格高昂的设备，前述操作处理上的效率高低，即成为相当重要的课题。
为能提升批次制程设备的使用效率，载具中所承载的物件，如晶圆等，往往会以人工的方式进行结合与分配，以解决前述的派工问题。对于一制造厂而言，以人工方式进行载具中物件的结合与分配，必须耗费相当大的人力资源，往往形成资源浪费，成为一急待解决的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的就在于提出自动派工的方法或系统，有效地解决批次制程设备因载具占有率不足所导致的效能问题。
必须说明的是，于下揭露内容中所提出的不同实施例或范例，是用以说明本发明所揭示的不同技术特征，其所描述的特定范例或排列是用以简化本发明，然非用以限定本发明。此外，在不同实施例或范例中可能重复使用相同的参考数字与符号，此等重复使用的参考数字与符号是用以说明本发明所揭示的内容，而非用以表示不同实施例或范例间的关系。
为达成上述目的，本发明提出一种计算机可实现的自动派工方法，其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中。首先，将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较。
当载具的目前占有率小于最佳占有率时，保留载具所载物件的分配信息，并将载具中的物件，如晶圆(wafer)等，进行结合。其中，最佳占有率及分配信息可记录于数据库中。物件的结合可以如分类设备(sorter)等工具加以完成。当载具中所载物件为晶圆时，则批次制程设备则为半导体产品制程设备。
然后，由批次制程设备处理已结合的物件。处理完成后，根据所保留的分配信息分配物件于各载具中。
再者，本发明提出一种集成电路产品，其是利用如前所述的计算机可实现的自动派工方法所制造。
又再者，本发明提出一种自动派工系统，其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中，包括比较模块、结合模块、处理模块以及分配模块。
比较模块用以将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较。结合模块用以当载具的目前占有率小于最佳占有率时，保留载具所载物件的分配信息，并将载具中的物件进行结合。其中，最佳占有率及分配信息可记录于数据库中。载具中物件的结合可以分类设备完成。
处理模块用以由批次制程设备处理已结合的物件。分配模块用以于处理完成后，根据分配信息分配物件于载具中。在前述的系统中，当载具中物件是为晶圆时，则批次制程设备可为半导体产品制程设备。
本发明所述的自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，有效地解决批次制程设备因载具占有率不足所导致的效能问题。
图1是显示本发明所揭示的自动派工方法的一实施例的执行流程图；图2是显示本发明所揭示的储存介质的一实施例的示意图；图3是显示本发明所揭示的自动派工系统的一实施例的功能方块图；图4是显示本发明所揭示的自动派工系统的一应用范例的功能方块图。
具体实施例方式
为使本发明的技术特征易于了解，于下揭露内容中提出了不同实施例及范例，辅以图式及特定文字叙述，以说明本发明，然非用以限定本发明。倘所叙述的实施例或范例中，有任何关于本发明的修正或变更，其为本领域技术人员所能自然推得，则本发明可随之修正或变更，以因应不同的需求。
请参照图1，图1是显示本发明所揭示的自动派工方法的一实施例的执行流程图。如图所示，首先，将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较，如步骤S10所示。有关载具的最佳占有率可事先预存于数据库中，当进行比较时，就可由数据库中得到所需的最佳占有率，而最佳占有率可依据载具本身的容量或其他处理上的考量而决定。
通常载具的最佳占有率就是指满载(full)的情形，当载具的最佳占有率是指满载时，前述的比较就是在比较目前载具是否满载。
当载具的目前占有率小于最佳占有率时，保留载具所载物件的分配信息，如步骤S12所示。由于在下面的步骤中，载具上的物件可能会被分配或结合至不同的载具中，因此现在目前有关载具中物件的分配信息必须保留，以便物件于处理完成后可以依照所保留的信息恢复为现在的承载状态。
然后，将载具中的物件进行结合，如步骤S14所示。而后，由批次制程设备处理已结合的物件，如步骤S16所示。于处理完成后，根据所保留的分配信息分配物件于各载具中，如步骤S18所示。物件的结合可以如分类设备等工具加以完成。当本发明所提出的方法是应用于半导体产品制造厂中时，载具中所载物件可为晶圆，而批次制程设备则可为半导体产品制程设备。
如前所述的自动派工方法可以计算机程序加以实现，请参照图2，图2是显示本发明所揭示的储存介质的一实施例的示意图。在此实施例中，如图所示，本发明提出一种储存介质20，用以储存一计算机程序22，计算机程序22用以载入至一计算机系统中并且使得上述计算机系统执行如前所述的方法步骤。计算机程序22主要包括将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较的程序逻辑220、保留物件分配信息的程序逻辑222以及于载具中结合物件的程序逻辑224。计算机程序22还可能包括处理已结合物件的程序逻辑226以及根据所保留的分配信息分配物件于载具中的程序逻辑228。
本发明所提的方法可应用于集成电路(integrated circuit)产品生产制造中。在一实施例中，一集成电路产品是由以载具馈入的制程设备进行制程，当此制程设备应用本发明所提出的方法时。首先，用来制造此集成电路产品的材料，如晶圆等，会先承载入载具中。接着，制程设备会依先前描述的方法步骤进行处理，以制造此集成电路产品。当此集成电路产品结束在此制程设备的处理后，可能会送至其他制程设备进行后续处理，因此本发明可作为此集成电路产品整体制程中的一部分。
请参照图3，图3是显示本发明所揭示的自动派工系统的一实施例的功能方块图。本发明所提出的自动派工系统，其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中，包括比较模块30、保留模块32、结合模块34、处理模块36以及分配模块38。
比较模块30用以将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较。保留模块32用以当载具的目前占有率小于最佳占有率时，保留载具所载物件的分配信息。结合模块34用以将载具中的物件进行结合。其中，最佳占有率是及分配信息可记录于数据库中，如制造执行系统(manufacturing execution system，MES)数据库中。载具中物件的结合可以分类设备等加以完成。
处理模块36用以经由批次制程设备处理已结合的物件。处理完成后，分配模块38根据分配信息分配物件于载具中。在此系统中，当载具中物件是为晶圆时，则批次制程设备可为半导体产品制程设备。
图4是显示本发明所揭示的自动派工系统的一应用范例的功能方块图。在一实施例中，本发明所揭示的自动派工系统应用于半导体产品制造厂，其中物件42即为晶圆，而批次制程设备44即为半导体制程设备。比较模块30、保留模块32以及结合模块34均可实现于计算机系统40中，计算机系统40可耦接至制造执行系统数据库，以进行与制程相关的数据存取。
当物件42到达批次制程设备44时，计算机系统40首先将目前载具的占有率与预定最佳占有率进行比较，预定最佳占有率可储存于制造执行系统数据库中。当比较结果显示目前载具的占有率小于预定最佳占有率时，计算机系统40会保留目前载具上物件42的分配信息。
结合模块34可以分类设备46等加以实现，分类设备46将载具中的物件42进行结合。处理模块36利用批次制程设备44处理已结合的物件48。在处理完成后，分配模块38根据所保留的分配信息分配物件。处理模块36及分配模块38可以实现于计算机系统40中或批次制程设备44中。
当本发明应用于实际制程时，批次制程设备及物件均可能不同，本发明所提出的方法及系统当可随之改变以因应制程的实际需求。
本发明所提出的方法及系统，或者其中某些部分，可能以计算机程序(计算机指令)的方式加以实现，此计算机程序(计算机指令)可能建置于实体储存介质中，如软碟(floppy diskettes)、光碟(CD-ROMS)、硬盘(hard drives)或其他任何机器可辨读的储存介质中。当前述的计算机程序(计算机指令)经由如计算机等机器载入并执行时，此载入计算机程序(计算机指令)的机器即转换为一用以实现本发明的装置。再者，本发明所揭示的方法及系统可以计算机程序(计算机指令)的方式经由传输介质进行传输，如电线(electrical wire)、电缆(cable)、光纤(fiber optics)或其他任何可进行传输的传输介质。当前述经由传输介质传输的计算机程序(计算机指令)经由如计算机等机器载入并执行时，此载入计算机程序(计算机指令)的机器即转换为一用以实现本发明的装置。又再者，本发明所揭示的方法及系统可以计算机程序(计算机指令)的型态应用于一通用目的(general-purpose)处理器中，当前述应用于通用目的处理器的计算机程序(计算机指令)与该处理器相结合时，即提供一用以实现本发明的装置，其功能相当于具有特定功能的逻辑电路(logic circuits)。
以上所述仅为本发明较佳实施例，然其并非用以限定本发明的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本发明的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。
附图中符号的简单说明如下20储存介质22计算机程序220将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较的程序逻辑222保留物件分配信息的程序逻辑224于载具中结合物件的程序逻辑226处理已结合物件的程序逻辑228根据所保留的分配信息分配物件于载具中的程序逻辑30比较模块32保留模块34结合模块36处理模块38分配模块40计算机系统42物件44批次制程设备46分类设备48已结合的物件
权利要求
1.一种计算机可实现的自动派工方法，其适用于以至少一载具进行馈入的一批次制程设备中，其特征在于所述计算机可实现的自动派工方法包括下列步骤将上述载具的目前占有率与一最佳占有率进行比较；以及当上述载具的目前占有率小于上述最佳占有率时，保留上述载具所载物件的分配信息，并将上述载具中的物件进行结合。
2.根据权利要求1所述的计算机可实现的自动派工方法，其特征在于，尚包括下列步骤由上述批次制程设备处理上述已结合的物件；以及于上述处理完成后，根据上述分配信息分配上述物件于上述载具中。
3.根据权利要求1所述的计算机可实现的自动派工方法，其特征在于，上述最佳占有率是记录于一数据库中。
4.根据权利要求1所述的计算机可实现的自动派工方法，其特征在于，上述分配信息是记录于一数据库中。
5.根据权利要求1所述的计算机可实现的自动派工方法，其特征在于，上述物件的结合是以一分类设备完成。
6.根据权利要求1所述的计算机可实现的自动派工方法，其特征在于，上述物件是为晶圆。
7.根据权利要求6所述的计算机可实现的自动派工方法，其特征在于，上述批次制程设备是为一半导体产品制程设备。
8.一种集成电路产品，其是利用权利要求1至7中任一项所述的计算机可实现的自动派工方法所制造。
9.一种自动派工系统，其适用于以至少一载具进行馈入的一批次制程设备中，其特征在于所述自动派工系统包括一比较模块，用以将上述载具的目前占有率与一最佳占有率进行比较；以及一结合模块，其耦接于上述比较模块，用以当上述载具的目前占有率小于上述最佳占有率时，保留上述载具所载物件的分配信息，并将上述载具中的物件进行结合。
10.根据权利要求9所述的自动派工系统，其特征在于，尚包括一处理模块，其耦接于上述结合模块，用以由上述批次制程设备处理上述已结合的物件；以及一分配模块，其耦接于上述处理模块，用以于上述处理完成后，根据上述分配信息分配上述物件于上述载具中。
11.根据权利要求9所述的自动派工系统，其特征在于，上述最佳占有率是记录于一数据库中。
12.根据权利要求9所述的自动派工系统，其特征在于，上述分配信息是记录于一数据库中。
13.根据权利要求9所述的自动派工系统，其特征在于，上述物件的结合是以一分类设备完成。
14.根据权利要求9所述的自动派工系统，其特征在于，上述物件是为晶圆。
15.根据权利要求14所述的自动派工系统，其特征在于，上述批次制程设备是为一半导体产品制程设备。
全文摘要
本发明提供一种自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，具体涉及一种计算机可实现的自动派工方法，其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中。本发明所提的方法及系统首先将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较，当载具的目前占有率小于最佳占有率时，保留载具所载物件的分配信息，并将载具中的物件进行结合。然后，由批次制程设备处理已结合的物件。于处理完成后，根据所保留的分配信息将物件分配于载具中。本发明所述的自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，有效地解决批次制程设备因载具占有率不足所导致的效能问题。
文档编号H01L21/02GK1763666SQ20051010519
公开日2006年4月26日 申请日期2005年9月30日 优先权日2004年9月30日
发明者梁柏雄, 许显荣, 汪明 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司