专利名称：以旋转抵固方式固定圆片限制件模块的前开式圆片盒的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种前开式圆片盒，特别是有关于前开式圆片盒其圆片限制件模块
的固定方式，此固定方式是将圆片限制件模块旋转一角度后，使其固定于门体内表面上。
背景技术：
半导体圆片由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备，因此会被搬运到不同的工作站。为了方便圆片的搬运且避免受到外界的污染，常会利用一密封容器以供自动化设备输送。请参阅图l所示，为公知技术的圆片盒示意图。此圆片盒是一种前开式圆片盒(Front Opening Unified Pod， F0UP)，具有一盒体10及一门体20，盒体10内部设有复数个插槽11可水平容置复数个圆片，且在该盒体10的一侧面具有一开口 12可供圆片的载出及加载，而门体20具有一个外表面21及一个内表面22，门体20是由内表面22与盒体10的开口 12相结合，用以保护盒体10内部的复数个圆片。此外，在门体20的外表面21上配置至少一个门闩开孔23，用以开启或是关闭前开式圆片盒。在上述前开式圆片盒中，由于半导体圆片是水平地置于盒体10内部，因此，在前开式圆片盒搬运过程中需有一圆片限制件，以避免圆片因震动而产生异位或往盒体10的开口 12方向移动。 请参阅图2所示，是一美国公告专利6， 736， 268所公开的一种前开式圆片盒的门体结构示意图。如图2所示，门体20的内表面22配置有一凹陷区域24，此凹陷区域24是从内表面22的顶端221延伸到底端222且在左右二个门闩装置230 (位于门体内部)之间，而在凹陷区域24中再进一步配置有两个圆片限制件模块IOO，此圆片限制件模块100具有复数个圆片接触头(未显示于图中)，以利用这些圆片接触头顶持其相对的圆片，避免圆片在传送过程中因震动而异位或往盒体的开口方向移动。然而，上述圆片限制件模块100是设置于门体20内表面22的凹陷区域24之中，这使得圆片仅能贴平门体20其内表面22或仅能稍微落入凹陷区域24，无法有效地让圆片落入凹陷区域24以縮短前开式圆片盒前后径的尺寸。 接着，请参阅图3所示，为公知一种圆片限制件于限制圆片时的剖面示意图。圆片限制件110设置于门体20其凹陷区域24旁的内表面22上穿孔(Opening)O中，以利用复数个左右对称的圆片限制件110的弹力臂120个别顶持于各圆片，以避免圆片在传送过程中因震动而异位或往盒体的开口方向移动。然而，上述结构需在门体20内表面22两旁各开设一排穿孔O且又在圆片限制件IIO上增设插拴120P与圆形环以插设的方式将圆片限制件110固定于穿孔0内。如此构造在制造、组装均显复杂且挖设复数个穿孔0易造成气密不良以及成为门体20清洗烘干时的死角。
发明内容
依据公知技术的圆片盒其圆片限制件或圆片限制件模块容易造成圆片盒尺寸无法縮小、微粒粉尘清洗不易及松脱等问题，本发明的目的在于提供一种具有圆片限制件模块的前开式圆片盒。
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为实现上述目的，本发明提供的前开式圆片盒，主要包括一盒体，盒体内部设有复
数个插槽以容置复数个圆片，且在盒体的一侧面形成一开口可供复数个圆片的输入及输
出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，门体是以内表面与盒体的开口相结合，用以保
护盒体内部的复数个圆片，其中前开式圆片盒的特征在于门体的内表面上配置至少一限
制件模块，限制件模块具有一基座，基座上设有复数个间隔排列的限制件及一孔洞，以及在
门体内表面上设有一抵固件，以使抵固件穿过限制件模块其基座的孔洞且经旋转限制件模
块一角度后，抵固件抵固于限制件模块之上，以固定限制件模块于门体内表面上。
此外，上述限制件模块其基座进一步具有复数个辅助孔洞，使辅助孔洞以卡入的
方式固定于门体内表面的固定柱，以达到较佳的固定效果，使限制件模块稳固定地安装或
固定于门体内表面上。 本发明的效果是 1)将圆片限制件模块配置于门体内表面的凹陷区域两旁的凸出平台上，使凹陷区域能有效的容置圆片，可縮短前开式圆片盒前后径的尺寸。 2)圆片限制件模块可以容易且稳固地安装或固定于凹陷区域两旁的凸出平台上，可避免在门体内表面设置两排穿孔，造成制造上及组装上的困难。 3)将圆片限制件模块配置于门体内表面的凹陷区域两旁的凸出平台上，因此，圆片限制件与圆片摩擦所产生的微粒粉尘可以聚集于凹陷区域角落，且要清洁圆片盒时，可轻易地将微粒粉尘给予清除，不需将圆片限制件模块移除。
图1是公知的一种圆片盒的示意图；图2是公知的一种前开式圆片盒的门体结构示意图；图3是公知的一种圆片限制件于限制圆片时的剖面示意图；图4是本发明的一种前开式圆片盒的示意图；图5是本发明的一种前开式圆片盒其圆片限制件模块与圆片接触的示意图；图6A及图6B是本发明的前开式圆片盒其圆片限制件模块尚未固定于及已固定于
门体内表面的示意图7是本发明的圆片限制件模块其复数个间隔排列限制件的一种形式；图8A至图8C是本发明的圆片限制件模块其基座的孔洞的另一种设计；图9是本发明的圆片限制件模块其复数个间隔排列限制件的另一种形式；图10是本发明的另一种形式的限制件与圆片接触的示意图；图11是本发明的另一种前开式圆片盒的示意图；图12A是本发明的另一种前开式圆片盒其圆片限制件模块与圆片刚接触的示意
图；及图12B是本发明的另一种前开式圆片盒其圆片限制件模块与圆片完全接触的示意图。附图中主要组件符号说明10盒体、11插槽、12开口、2Q门体、21外表面、22内表面、24凹陷区域、25凸出平
台、26抵固件、261突出部、262抵固部、27固定柱、30限制件模块、31基座、31L长边、31S短边、32孔洞、33辅助孔洞、34矩形安装孔、35弹性片、300限制件、301悬臂、302凸出部、302G中央导槽、400限制件、401支撑臂、402顶持部、500限制件、501基部、502曲臂、503第一接触端、504第二接触端。
具体实施例方式
为使本发明所运用的技术内容、发明目的及其达成的功效有更完整且清楚的了解，结合附图作详细说明。 首先，请参阅图4所示，是本发明的一种前开式圆片盒的示意图。此前开式圆片盒包括一盒体10及一门体20，在盒体10的内部设有复数个插槽11以容置复数个圆片，且在盒体10的其中一个侧面有一开口 12可提供圆片的输入以及输出。门体20则是具有一外表面21及一内表面22，在门体20的内表面22约中间处配置有一凹陷区域24，此凹陷区域24可进一步将门体20的内表面22分割成两凸出平台25，而在两凸出平台25上各设有一圆片限制件模块30。 而如图5所示，当门体20关闭盒体10时，由于凹陷区域24内并未配置其它组件，故其可用来收纳盒体10内部的复数个圆片，以减少整个圆片盒的前后径尺寸。而凸出平台25上的圆片限制件模块30亦能将盒体10中的每一个圆片推至固定位置并加以限制晃动。而由于圆片限制件模块30未置于凹陷区域24内，因此，要清洁圆片盒时，可轻易地将微粒粉尘给予清除，不需将圆片限制件模块30移除。此外，在本发明的两凸出平台25中，均配置有一门闩装置(未显示于图中)，且每一门闩装置在相应的外表面21上形成门闩开孔，以利门体20的关闭或开启。 请参阅图6A及图6B，是图4前开式圆片盒其圆片限制件模块尚未固定于及已固定于门体内表面的示意图。本发明的圆片限制件模块30位于凹陷区域24两旁的两凸出平台25上，圆片限制件模块30包括一基座31，基座31具有二长边31L及二短边31S，在二长边31L其中的一长边31L附近设有复数个间隔排列的限制件300。此外，基座31还具有一孔洞32，此孔洞32的形状可以是矩形、菱形或椭圆形；而在门体20的内表面22上设有一抵固件26，此抵固件26包含有突出部261及抵固部262，突出部261其一端固定于门体20的内表面22上，而其另一端或称自由端连接着抵固部262，抵固部262的形状或大小与基座31的孔洞32相同，可以是矩形、菱形或椭圆形。因此，抵固件26可以穿过圆片限制件模块30其基座31的孔洞32且经旋转圆片限制件模块30 —个角度(如图6A及图6B是顺时针旋转90度)后，抵固件26会抵固圆片限制件模块30的基座31，使圆片限制件模块30固定于门体20的内表面22上。 而如图6A所示，圆片限制件模块30其基座31可进一步包含有复数个辅助孔洞33，且在门体20内表面22上相对于复数个辅助孔洞33处亦具有复数个固定柱27，固定柱27其自由端的直径比辅助孔洞33的直径稍微大一些；因此，当抵固件26抵固着基座31时，亦可进一步将辅助孔洞33卡入(sn即on)于固定柱27自由端的下缘，以加强圆片限制件模块30及其基座31固定于门体20的内表面22上。 当上述门体20内表面22上的抵固件26及固定柱27抵固着基座31上的孔洞32及辅助孔洞33时，如图6B所示，凹陷区域24两旁的圆片限制件模块30其复数个间隔排列的限制件300彼此是互相对齐的，以便每一相对应的限制件300能够与一圆片接触，以限制盒体内部的圆片在运输过程中往开口方向移动。 请参阅图7所示，是本发明的圆片限制件模块其复数个间隔排列限制件的形式。 如图5及图7所示，圆片限制件模块30其复数个间隔排列的限制件300是由基座31的二 长边31L其靠近凹陷区域24的长边31L所延伸形成的复数个悬臂301，每一个悬臂301与 其自由端之间形成近似半圆形的凸出部302，凸出部302上则配有一中央导槽302G，以由这 些中央导槽302G与盒体内部的圆片接触。上述相邻的限制件300之间具有间隙，使限制件 300可以对应盒体10内的圆片。而中央导槽302G与圆片接触的地方可以表面包覆一种耐 磨耗材，例如聚醚醚酮(polyetheretherketone， PEEK)，以减少摩擦及微粒粉尘的产生。 此外，中央导槽302G的宽度可以跟圆片的厚度相同，可让圆片陷入此中央导槽302G中，以 避免圆片的上下移动。很明显的，上述基座31跟悬臂301形成一角度，此角度可以是10 60度。 其次，请参阅图8A至图8C，是本发明的圆片限制件模块其基座的孔洞的另一种设 计。圆片限制件模块30其基座31具有一矩形安装孔34，此矩形安装孔34中配置有复数 个弹性片35，以使弹性片35之间形成一孔洞32 ;而如图6A所示，在门体20内表面22上设 有一抵固件26，抵固件26的结构具有突出部261及抵固部262。上述抵固部262与弹性片 35之间的孔洞32其形状或大小是相同的，都是一矩形形状，因此，抵固件26可以穿过圆片 限制件模块30其基座31上的孔洞32且经旋转圆片限制件模块30 —角度后，例如顺时针 旋转90度或逆时针旋转90度，抵固件26抵压着弹性片35，以使圆片限制件模块30固定于 门体20的内表面22上。 其次，请参阅图9及图IO，是本发明的圆片限制件模块其复数个间隔排列限制件 的另一种形式。复数个间隔排列的限制件400是由基座31的一长边31L向凹陷区域24 所弯折形成的复数个支撑臂401，每一个支撑臂401的自由端上，形成有一向下弯曲的顶 持部402，以由这些顶持部402与盒体内部的圆片接触。在本发明的一较佳的实施例中， 基座31与支撑臂401间弯折所形成的角度均为鋭角，其角度可依据圆片限制件模块30 配置在凸出平台25上的位置而定，例如角度约为10 60度。另外，在本发明的另一较 佳的实施例中，顶持部402上会进一步形成一近似"V"型的导槽(未显示于图中)，以便 圆片与限制件400的顶持部402接触时，能够很平顺地被导入至导槽中，以避免圆片的上 下移动。此外，为了使圆片能够很平顺地被导入至导槽中，此近似"V"型的内侧面形成一 平滑或是弧形的表面，而在导槽其接触圆片的表面可包覆一种耐磨耗材，例如聚醚醚酮 (polyetheretherketone， PEEK)，以降低对圆片的摩擦。 其次，请参阅图ll，是本发明的另一种前开式圆片盒的示意图；以及图12A及图 12B，是图11的前开式圆片盒其圆片限制件模块与圆片刚接触及完全接触的示意图。此前 开式圆片盒包括一盒体10及一门体20，此前开式圆片盒与图4的前开式圆片盒其差异在 于门体20的内表面22不具有一凹陷区域，因此，圆片限制件模块30是位于内表面20中 央处的两旁，其中，圆片限制件模块30亦具有一基座31且基座31上设有一孔洞32及复数 个辅助孔洞33，以利用门体20内表面22上的抵固件26及复数个固定柱27将圆片限制件 模块30固定于门体20内表面22上(如图6A所示)。而圆片限制件模块30上的复数个限 制件500其每一个限制件500皆具有一基部501，基部501的一端固定于基座31上，而其另 一端与一曲臂502连接，其中曲臂502具有一第一接触端503及一第二接触端504。
上述每一个限制件500其基部501可以是一弹性结构(例如热塑性弹性结构)， 当门体20与盒体10未结合或刚要结合时，限制件500的第一接触端503及第二接触端504 的联机(503-504)跟门体20的内表面22互相平行。此时，圆片先跟第一接触端503接触， 当圆片接触第一接触端503时，会使基部501产生形变且杠杆带动曲臂502，使曲臂502上 的另一接触端即第二接触端504依序地接触圆片。此时，如图12B所示，门体20与盒体10 密合且限制件500的第一接触端503及第二接触端504的联机(503-504)跟门体20的内 表面22形成一夹角。很清楚的，每一个限制件500是以两个接触端与圆片产生接触，除了 能限制圆片往开口方向正中央移动外，也能提供圆片往开口较两旁的方向移动。因此，当圆 片限制件模块30与圆片接触时，可以产生一个仅往圆片中心点方向推的合力，不会造成圆 片左右的晃动。此外，第一接触端503及第二接触端504亦可各具有一凹陷，使圆片能陷入 凹陷中，避免圆片上下移动。 当然，此具有复数个限制件500的圆片限制件模块30除了使用于不具凹陷区域24
的门体20夕卜，亦可以用在具有凹陷区域24的门体20中。而前述具有复数个限制件300、
400的圆片限制件模块30亦可以使用于不具有凹陷区域24的门体20中。另外，在发明中
的所有圆片限制件模块30可以是一体成形的结构，以降低生产所需的成本。 虽然本发明以前述的较佳实施例描述如上，然其并非用以限定本发明，本领域技
术人员在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范
围应以申请的权利要求范围所界定的内容为准。
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权利要求
一种前开式圆片盒，主要包括一盒体，该盒体内部设有复数个插槽以容置复数个圆片，且在该盒体的一侧面形成一开口可供该复数个圆片的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体是以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该复数个圆片，其中该前开式圆片盒的特征在于该门体的该内表面配置至少一限制件模块，该限制件模块具有一基座且在该基座上设有复数个间隔排列的限制件，其中该限制件模块的该基座具有一孔洞，以及于该门体的该内表面上设有一抵固件，以使该抵固件穿过该限制件模块其基座的该孔洞且经旋转该限制件模块一角度后，该抵固件抵固该限制件模块上。
2. 如权利要求1所述的前开式圆片盒，其中，该限制件模块的该基座具有复数个辅助 孔洞，且该门体的该内表面上相对于该复数个辅助孔洞处具有复数个固定柱，以使该限制 件模块的该基座以卡入的方式固定于该门体的该内表面。
3. 如权利要求1所述的前开式圆片盒，其中，该复数个间隔排列的限制件是由该基座 的一长边所延伸形成的复数个悬臂，每一个悬臂与其自由端之间形成近似半圆形的凸出 部，该凸出部上配有一中央导槽，以由该些凸出部的中央导槽与该盒体内部的该些圆片接 触。
4. 一种前开式圆片盒，主要包括一盒体，该盒体内部设有复数个插槽以容置复数个圆 片，且在该盒体的一侧面形成一开口可供该复数个圆片的输入及输出，以及一门体，具有一 外表面及一内表面，该门体是以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该复数个圆片，其中该前开式圆片盒的特征在于该门体的该内表面配置一凹陷区域且该凹陷区域位于两凸出平台之间，并于该两凸出 平台靠近该凹陷区域的边缘上各配置一限制件模块，每一该限制件模块具有一基座且在该 基座上设有复数个间隔排列的限制件，其中该限制件模块的该基座具有一孔洞，以及于该 门体的该内表面上设有一抵固件，以使该抵固件穿过该限制件模块其基座的该孔洞且经旋 转该限制件模块一角度后，该抵固件抵固该限制件模块上。
5. 如权利要求4所述的前开式圆片盒，其中，该基座的该孔洞的形状是由下列群组中选出矩形、菱形及椭圆形。
6. 如权利要求4所述的前开式圆片盒，其中，该抵固件是由一突出部及一位于该突出部的自由端的抵固部所组成。
7. 如权利要求6所述的前开式圆片盒，其中，该抵固件其抵固部的形状是由下列群组中选出矩形、菱形及椭圆形。
8. 如权利要求4所述的前开式圆片盒，其中，该限制件模块的该基座具有复数个辅助孔洞，且该门体的该内表面上相对于该复数个辅助孔洞处具有复数个固定柱，以使该限制 件模块的该基座以卡入的方式固定于该门体的该内表面。
9. 如权利要求4所述的前开式圆片盒，其中，该复数个间隔排列的限制件是由该基座 的一长边所延伸形成的复数个悬臂，每一个悬臂与其自由端之间形成近似半圆形的凸出 部，该凸出部上配有一中央导槽，以由该些凸出部的中央导槽与该盒体内部的该些圆片接 触。
10. —种前开式圆片盒，主要包括一盒体，该盒体内部设有复数个插槽以容置复数个圆 片，且在该盒体的一侧面形成一开口可供该复数个圆片的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体是以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内 部的该复数个圆片，其中该前开式圆片盒的特征在于该门体的该内表面配置一凹陷区域且该凹陷区域位于两凸出平台之间，并于该两凸出 平台靠近该凹陷区域的边缘上各配置一限制件模块，每一该限制件模块具有一基座且在该 基座上设有复数个间隔排列的限制件，该限制件模块的该基座具有一矩形安装孔，该矩形 安装孔中配置有复数个弹性片，以使该些弹性片之间形成一孔洞，而于该门体的该内表面 上设有一抵固件，以使该抵固件穿过该限制件模块其基座的该孔洞且经旋转该限制件模块 一角度后，抵压该些弹性片，使该限制件模块固定于该门体的该内表面上。
11. 如权利要求io所述的前开式圆片盒，其中，该抵固件由一突出部及一位于该突出部的自由端的抵固部所组成。
12. 如权利要求11所述的前开式圆片盒，其中，该抵固部为一矩形形状。
13. 如权利要求IO所述的前开式圆片盒，其中，该限制件模块的该基座具有复数个辅 助孔洞，且该门体的该内表面上相对于该复数个辅助孔洞处具有复数个固定柱，以使该限 制件模块的该基座以卡入的方式固定于该门体的该内表面。
14. 如权利要求IO所述的前开式圆片盒，其中，该复数个间隔排列的限制件是由该基 座的一长边所延伸形成的复数个悬臂，每一个悬臂与其自由端之间形成近似半圆形的凸出 部，该凸出部上配有一中央导槽，以由该些凸出部的中央导槽与该盒体内部的该些圆片接 触。
15. 如权利要求IO所述的前开式圆片盒，其中，该复数个间隔排列的限制件是由该基 座的一长边向该凹陷区域所弯折形成的复数个支撑臂，每一个支撑臂的自由端上，形成有 一向下弯曲的顶持部，以由该些顶持部与该盒体内部的该些圆片接触。
全文摘要
一种前开式圆片盒，主要包括一盒体，其内部设有复数个插槽以容置复数个圆片，且在盒体的一侧面形成一开口可供复数个圆片的输入及输出，以及一门体，其具有一外表面及一内表面，门体是以内表面与盒体的开口相结合，并用以保护盒体内部的复数个圆片，其中前开式圆片盒的特征在于门体的内表面上配置至少一限制件模块，限制件模块具有一基座，基座上设有复数个间隔排列的限制件及一孔洞，以及于门体的内表面上设有一抵固件，以使抵固件穿过限制件模块其基座的孔洞且经旋转限制件模块一角度后，抵固件抵固限制件模块上。
文档编号H01L21/673GK101740435SQ200810173499
公开日2010年6月16日 申请日期2008年11月14日 优先权日2008年11月14日
发明者吕保义, 林志铭, 潘冠纶 申请人:家登精密工业股份有限公司