专利名称：工件夹头结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种工件夹头，特别涉及一种用于夹持待加工工件以进行溅 镀工艺的工件夹头结构。
背景技术：
随着半导体工艺技术的进步，以及电子产业的快速发展，各式各样的电 子产品已被大量的应用于一般生活当中。随着休闲风气的盛行，使消费大众 对于与视听影音相关的电子产品需求与日俱增。其中，液晶显示器因为具有 薄型化体积、相对不占空间等优点，而受到消费者的喜爱，还具有逐渐取代 传统彩色映像管显示器的发展趋势。一般在液晶显示器的制造流程中，包含有于一玻璃基板上形成导电层的处理步骤，此步骤大多通过物理气相沉积(Physical Vapor Deposition, PVD) 的技术所制作而成，例如使用溅镀(sputtering)技术于玻璃基板上形成一具铟 锡氧化物(IndiumTinOxide， ITO)的导电层。此溅镀技术于一溅镀机台中进行，溅镀机台包括一反应室(chamber)、 一 溅镀机台、 一遮罩以及一溅镀靶(target)。溅镀机台位于反应室内，以承载玻 璃基板。遮罩用在定义溅镀区域，并可避免在溅镀载台内，玻璃基板以外的 其他区域形成金属沉积物。溅镀靶设置于反应室的开口处，且溅镀靶配置有 靶材，以供溅镀使用。其原理为于反应室中产生等离子体，再利用磁场或电 场等加速方式，使等离子体中的离子对溅镀靶进行离子轰击(ion bombardment),以造成溅镀靶表面的靶材原子溅出而飞向玻璃基板，并在玻 璃基板表面形成一层金属薄膜。其中，溅镀机台具有一承放座和一底座。底座的外围具有多个槽孔，承 放座上具有多个与槽孔相对应的开孔，底座的槽孔内还分别配置有可活动地 工件夹头，如图1所示为工件夹头10的结构示意图，其具有一装设段110、 一延伸段120及一承托段130，装设段具有两个结合孔111，用于锁合于底座的槽孔内，且承托段130上具有一承载面131，可通过开孔露出于承放座上。底座下方还具有一支撑销(supporting pin),支撑销于玻璃基板进入底座 上方时用以支撑玻璃基板，并使玻璃基板平稳地落于承放座上，接着工件夹 头10便以承托段130的承载面131扣合于玻璃基板的边缘，以将玻璃基板 固持于承放座上以进行后续溅镀的程序。值得注意的是，于进行溅镀程序时，工件夹头也直接暴露于反应室内， 因此溅镀完成后，工件夹头的承载面上未被玻璃基板边缘遮敝的区域，同时 将沉积部分的溅镀物质。如此一来，在执行多次的溅镀动作之后，附着于承 载面上的溅镀物质将因厚度增加，而使溅镀物质与承载面之间的附着力下 降，因此容易于离子轰击的过程中，或是于支撑销与工件夹头支撑及夹持玻 璃基板的过程中，因附着力的降低而使累积于承载面的溅镀物质等剥离 (peeling)并掉落于玻璃基板表面上，进而影响玻璃基板的溅镀工艺的合格率， 也严重影响液晶显示面板的产能及造成生产成本的上升。发明内容鉴于以上的问题，本发明提供一种工件夹头结构，用以改良液晶显示器 的玻璃基板在溅镀程序中，因工件夹头的承载面与累积于承载面上的溅镀物 质之间的附着力不佳，而容易剥离并掉落于玻璃基板，所导致玻璃基板的溅 镀工艺合格率不佳的问题。本发明所揭露的一种工件夹头结构，此工件夹头结构包括有一装设段、 一延伸段及一承托段。装设段与延伸段相衔接，且延伸段自装设段延伸并呈 一弯曲形态，承托段衔接于延伸段呈弯曲形态的一端，承托段具有一承载面， 此承载面还具有多个沟槽。本发明所揭露的一种工件夹头结构，装设于溅镀机台上，用于夹持一待 加工工件以进行镀膜工艺，以令待加工工件表面形成镀膜，本发明的工件夹 头结构包括有一装设段、 一延伸段及一承托段。装设段固定于溅镀机台上。 延伸段衔接于装设段并相对溅镀机台的另一侧弯曲延伸。承托段衔接于延伸 段呈弯曲延伸的一端，承托段具有一承载面，用以承载待加工工件，且承载 面具有多个沟槽，以于镀膜工艺中用于将镀膜固着于沟槽上。本发明所揭露的工件夹头结构于承载面上设置有多个沟槽，用以增加承载面与溅镀物质之间的附着力，使沉积于承载面上的溅镀物质，在进行待加 工工件的溅镀工艺中，不易于承载面上剥离并掉落于待加工工件上，而使待 加工工件的工艺合格率获得有效的提升。以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解 释本发明的原理，并且提供本发明的保护范围更进一步的解释。
图1为现有技术的结构示意图；图2为本发明所揭露的工件夹头结构的结构示意图； 图3为本发明所揭露的沟槽的剖面示意图； 图4为本发明实施例的结构示意图； 图5为本发明实施例的装置示意图； 图6为本发明实施例的操作示意图； 图7为本发明实施例的剖面示意图； 图8为本发明实施例于镀膜后的剖面示意图；以及 图9为本发明实施例的沟槽于镀膜后的剖面示意图。 其中，附图标记说明如下10工件夹头110装设段in结合孔120延伸段130承托段131承载面132沟槽133挡片134斜面20溅镀机台210承放座211开孔220底座221容置槽222固定孔30待加工工件40固定件50镀膜具体实施方式
本发明所揭露的工件夹头结构于溅镀工艺中，用以夹持一待加工工件并固定于承放座上，此待加工工件为手机、笔记本电脑和液晶显示器(LiquidCrystal Display, LCD)等电子产品于生产时，所欲形成图案化导电层的电子 基底，如半成品的显示面板。以下本发明所揭露的实施例以待加工工件为液 晶显示器中的玻璃基板作为说明。如图2所示为本发明所揭露的工件夹头结构的结构示意图。本发明所揭 露的工件夹头10包括有一装设段110、 一延伸段120及一承托段130。装设 段IIO具有两个结合孔111，装设段IIO与延伸段120相衔接。延伸段120 延伸自装设段110并呈一弯曲形态。承托段130衔接于延伸段120相对于装 设段110的另一端，承托段130具有一承载面131及一挡片133，挡片133 设置于承载面131上方，且承载面131上具有多个沟槽132，用以使承载面 Bl的表面积增加。如图3所示，各沟槽132的宽度范围Wl为1.0毫米(mm) 至2.0毫米之间，深度范围D1为0.7毫米至1.7毫米之间，并且各沟槽132 彼此之间的距离W2范围为0.3毫米至1.3毫米之间。请再次参阅图2，承载面131上的各沟槽132设置为椭圆状结构、矩形 状结构、或是V字形结构等。以下将以各沟槽132为椭圆状结构，并于承托 段130具有一倾斜角度的设置方式，用作本发明实施例的说明。其中，此倾 斜角度自挡片133朝向装设段110的方向倾斜。如图4和图5所示，本发明所揭露的工件夹头应用于溅镀工艺时，其工 件夹头10装设于溅镀机台20上，溅镀机台20具有一承放座210及一底座 220，承放座210设置于底座220上方，承放座210的两个相对侧边上开设 有多个开孔211，且底座220具有多个对应于开孔211的容置槽221，并于 容置槽221内设置有两个固定孔222，两个固定孔222对应于工件夹头结构 的结合孔lll，用以固定工件夹头IO。在组装上，利用两个固定件40(如螺 栓度过结合孔111并固设于固定孔222内，同时固定件40抵靠于装设段110， 令工件夹头10被固定于底座220上，工件夹头10的承托段130穿过开孔211 且露出于承放座210上方，并令两个侧边的工件夹头10的承载面131相互 对应。请参阅图6和图7，将一待加工工件30置放于溅镀机台20时，分别以 设置于两个侧边上的工件夹头10的承载面131夹持此待加工工件30的两个 侧边缘(即待加工工件30的两个短边)，令待加工工件30被固持于承放座210 上。且待加工工件30邻近于挡片133的一表面与挡片133之间具有一间隙，使沟槽132部分露出于承载面131。如图8所示，当进行溅镀程序时，将此一承放有待加工工件30的溅镀 机台20直立放置于反应室内(未图示)，并将溅镀物质沉积于待加工工件30 上，以形成一镀膜50。由于用以夹持待加工工件30的工件夹头10也暴露于 反应室内，因此镀膜也形成于工件夹头10的承载面131上及沟槽132内(如 图9所示)。同时，镀膜50受到沟槽呈椭圆状结构的影响，而形成一U字形 的镀膜50结构(未图示)，此U字形结构的镀膜50因结构间的应力互相抵制， 使镀膜50不会从承载面131上剥离，而掉落于待加工工件30上。同时，如图9所示，沟槽132内还具有一倾斜角度的斜面134，此斜面 134具有增加镀膜50结构应力的功能，使形成于沟槽132内的镀膜50不会 从承载面131上剥离，还具有导引溅镀过程中所产生的杂质微粒的功能，令 杂质微粒经由此斜面134的导引而不会掉落于待加工工件30的表面，或当 沉积于沟槽132内的镀膜50累积量过多，而使形成于沟槽内的镀膜50的重 力大于与承载面131的附着力而剥离时，斜面134导引此剥离的镀膜50由 待加工工件30的两个侧边缘排出(未图示)，令待加工工件30受到污染的风 险降低。本发明的工件夹头结构于承托段的承载面上设置一沟槽，当此工件夹头 应用于溅镀工艺时，用以夹持一待加工工件于溅镀机台上，以进行待加工工 件的溅镀程序，在此溅镀程序中，待加工工件的表面形成一镀膜，并于工件 夹头的承载面上与沟槽内形成镀膜结构，此镀膜结构受到沟槽所具有的结构 形状影响，而得以增加与承载面之间的附着力，使得镀膜不会从承载面上剥 离并掉落于待加工工件上，令待加工工件在溅镀程序中受污染的风险降低， 并增加溅镀工艺中待加工工件的合格率。虽然本发明的实施例揭露如上所述，然而其并非用以限定本发明，任何 本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，可对根据本发明保护范围 所述的形状、构造、特征及精神做些许的变更，因此本发明的保护范围须视 本说明书所附的权利要求书所限定的范围为准。
权利要求
1.一种工件夹头结构，包括有一装设段；一延伸段，衔接于该装设段并且弯曲延伸；以及一承托段，衔接于该延伸段，该承托段具有一承载面，且该承载面具有多个沟槽。
2. 如权利要求1所述的工件夹头结构，其中该承托段还具有一挡片，该 挡片相邻于所述多个沟槽。
3. 如权利要求1所述的工件夹头结构，其中该装设段具有至少一结合孔。
4. 如权利要求1所述的工件夹头结构，其中各所述沟槽间的距离为0.3 毫米至1.3毫米之间。
5. 如权利要求1所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽的宽度范围为 1.0毫米至2.0毫米之间。
6. 如权利要求1所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽的深度范围为 0.7毫米至1.7毫米之间。
7. 如权利要求1所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽为椭圆状结构、 矩形状结构、或V形结构。
8. 如权利要求1所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽倾斜一角度设 置于该承托段上。
9. 一种工件夹头结构，装设于一溅镀机台上，用以夹持一待加工工件进 行一镀膜工艺，以于该待加工工件表面形成一镀膜，该工件夹头结构包括有一装设段，固定于该溅镀机台；一延伸段，衔接于该装设段并且弯曲延伸；以及一承托段，衔接于该延伸段，该承托段具有一承载面，用以承载该待加 工工件，且该承载面具有多个沟槽，以于该镀膜工艺中一并供该镀膜固着于 该沟槽上。
10. 如权利要求9所述的工件夹头结构，其中该承托段还具有一挡片，该 挡片相邻于所述多个沟槽。
11. 如权利要求9所述的工件夹头结构，其中该装设段具有至少一结合孔，该溅镀机台具有对应该结合孔的至少一固定孔，通过至少一固定件穿过 该结合孔并固设于该固定孔，以使该装设段固定于该溅镀机台。
12. 如权利要求9所述的工件夹头结构，其中各所述沟槽间的距离为0.3 毫米至1.3毫米之间。
13. 如权利要求9所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽的宽度范围为 1.0毫米至2.0毫米之间。
14. 如权利要求9所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽的深度范围为 0.7毫米至1.7毫米之间。
15. 如权利要求9所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽为椭圆状结 构、矩形状结构、或V形结构。
16. 如权利要求9所述的工件夹头结构，其中所述多个沟槽倾斜一角度设 置于该承托段上。
全文摘要
本发明涉及一种工件夹头结构，具有一装设段；一延伸段，衔接于该装设段并且弯曲延伸；以及一承托段，衔接于该延伸段，该承托段具有一承载面，且该承载面具有多个沟槽。利用此工件夹头夹持一待加工工件进行溅镀工艺，于待加工工件表面与工件夹头的承载面分别形成一镀膜时，通过此沟槽的设置，使得形成于承载面上的镀膜不会剥落而掉落于待加工工件表面，以提升溅镀工艺的合格率。
文档编号H01L21/687GK101403095SQ20081017780
公开日2009年4月8日 申请日期2008年12月1日 优先权日2008年12月1日
发明者赖育章 申请人:友达光电股份有限公司