专利名称：等金属长度的多指电感的制作方法
技术领域：
本发明涉及微电子领域，具体是一种多指电感。
背景技术：
目前，在集成电路中包含了大量的无源器件，片上电感就是其中十分重要的一种， 片上电感是射频CMOS/BiCMOS集成电路的重要元件之一。在通常的无线产品中，电感元件 对总的射频性能有很重要的影响。因此对这些电感元件的设计和分析也得到了广泛的研 究。电感作为射频电路的核心部件，它通常可以影响到整个电路的整体性能。目前，高品质 因数的片上电感广泛应用在压控振荡器，低噪声放大器等射频电路模块中。传统的射频片上单端电感，在高频下由于高频趋肤效应的存在，在高频下电流集 中于金属导线的表面附近，而导线内部的电流却越来越小，降低了电流流过的有效的金属 截面积，导致金属的等效电阻在高频下增加，从而降低了高频下电感的品质因数。如图1所 示，目前已有的多指电感结构，内外圈的金属长度不一致，内圈金属长度比外圈金属长度要 小，从而内圈等效的金属电阻也比外圈的电阻要小，从而在高频下由于临近效应的影响，内 外圈电流分布不均勻，影响了电感的品质因数。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种等金属长度的多指电感，其可以减小内外 圈金属长度差异，降低高频下趋肤效应和临近效应的影响，提高高频下电感的品质因数。为解决以上技术问题，本发明提供了一种等金属长度的多指电感，包括，螺旋并联 盘绕的多圈金属路径；所述每一金属路径的展开长度相等。本发明的有益效果在于本发明由于减小了并联的多条路径的金属长度差异，使 并联的每条路径的电阻值相当，即流过每条路径的电流均一性增强；每指的金属长度差异 减小，降低了高频下的相邻两指之间的临近效应的影响，在不牺牲电感值的条件下显著的 提高了高频下电感的品质因数。对内径比较小的电感，这种结构对品质因数的提高尤为明
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下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细说明。图1是现有多指电感结构示意图；图2是本发明实施例所述多指电感的示意图。
具体实施例方式如图2所示，本发明提出的减小内外圈金属长度差异的多指电感结构的平面结构 (以单层金属、四指八角形电感为例)，从图中可以看出，从信号电感的一端出发后分为四 条并联的路径，每一条路径的金属宽度一致，长度的差异比传统的单层多指结构逐渐变小，以保证每一条路径的等效电阻相当。本发明所述的减小内外圈金属长度差异的单层多指结 构的电感，在高频下增加了金属的有效截面积，降低了高频下趋肤效应的影响；每指的金属 长度差异减小，降低了高频下的相邻两指之间的临近效应的影响，在不牺牲电感值的条件 下显著的提高了高频下电感的品质因数。本发明对内径比较小的电感，品质因数的提高尤 为明显。本发明所述的新结构的电感，在电感的内圈和外圈分别采用如图2所示的长度补 偿方法，减小内外圈金属长度的差异，降低相邻金属之间临近效应的影响，从而提高电感的 品质因数。本发明所述的多指电感，增加了高频下的金属有效截面积，降低了高频下趋肤效 应的影响的方法。利用减小每指的金属长度的差异，使得所述每一金属路径的展开长度可 以近似相等，有效降低了高频下的相邻两指之间的临近效应的影响，在不牺牲电感值的条 件下显著提高了高频下电感的品质因数。对于内径比较小的电感，利用减小内外圈金属长 度差异的多指电感结构对高频下的品质因数的提高尤为明显，减小射频集成电路的面积的 方法。减小每指金属长度差异的单层多指电感结构。本发明所述的每一金属路径的展开长度可以在一定范围内近似相等，可以允许很 小的误差存在。所有为实现本发明目的的减少路径长度差异的技术方案都应认为属于本发 明范围之内。本发明并不限于上文讨论的实施方式。以上对具体实施方式
的描述旨在于为了描 述和说明本发明涉及的技术方案。基于本发明启示的显而易见的变换或替代也应当被认为 落入本发明的保护范围。以上的具体实施方式
用来揭示本发明的最佳实施结构，以使得本 领域的普通技术人员能够应用本发明的多种实施方式以及多种替代方式来达到本发明的 目的。
权利要求
1.一种等金属长度的多指电感，包括，螺旋并联盘绕的多圈金属路径；其特征在于，所 述每一金属路径的展开长度相等。
2.如权利要求1所述的等金属长度的多指电感，其特征在于，所述多指电感为单层多 指电感。
3.如权利要求1所述的等金属长度的多指电感，其特征在于，所述金属路径为四条。
4.如权利要求1所述的等金属长度的多指电感，其特征在于，所述多条金属路径的宽度相等。
5.如权利要求1所述的等金属长度的多指电感，其特征在于，所述电感平面形状为八 角形或多边形或圆形。
全文摘要
本发明公开了一种等金属长度的多指电感，包括，螺旋并联盘绕的多圈金属路径；所述每一金属路径的展开长度相等。本发明由于减小了并联的多条路径的金属长度差异，使并联的每条路径的电阻值相当，即流过每条路径的电流均一性增强。每指的金属长度差异减小，降低了高频下的相邻两指之间的临近效应的影响，在不牺牲电感值的条件下显著的提高了高频下电感的品质因数。对内径比较小的电感，这种结构对品质因数的提高尤为明显。
文档编号H01F37/00GK102122565SQ20101002724
公开日2011年7月13日 申请日期2010年1月11日 优先权日2010年1月11日
发明者徐向明, 蔡描, 邱慈云 申请人:上海华虹Nec电子有限公司