分割掩模框架组件及其制造方法

专利名称：分割掩模框架组件及其制造方法
技术领域：
本发明涉及用来制造大尺寸AMOLED (Active Matrix/Organic Light Emitting Diode :有源矩阵有机发光二极体面板)多面取电视面板及移动设备(Mobile)操作面板的棒状掩模(stick mask)分割的掩模框架组件及其制造方法。具体涉及以下的掩模框架组件及其制造方法，在利用多个分割掩模来制造大尺寸的多面取掩模框架组件时，在框架的中央部形成肋条而使框架的下垂程度能够最小，从而把掩模焊接在框架时提高图案与位于下部的母玻璃的对齐程度，从而进行更加精密的掩模焊接，而且，因中央部的肋条而使框架的下垂最小，从而防止在蒸镀有机物时产生的阴影(shadow)现象，最终显著提高大尺寸 AMOLED面板的品质。
背景技术：
有机发光二极管(OLED =Organic Light Emitting Diode)的反应速度明显比薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)快。而且因为是自发光所以不需要背光，可以将其厚度和重量减少1/3，是一个具有广视角和低耗电结构的下一代显示器。上述的有机发光二极管分为AM方式(能动)和PM方式(被动)。与AMOLED相比PMOLED的制造单价低，消耗电力、寿命和分辨率具有一定的限制。AMOLED每个像素都具有TFT和电容器，在电力消耗、寿命、分辨率等方面都具有优秀的性能，所以可以克服因制造TFT而提高其制造费用的短处，现在在各领域中都尝试着积极开发和大量生产。AMOLED的最大优点是画质的竞争力。与其最大竞争对象IXD相比，其色彩再现率为30%，对比度为20倍。AMOLED感觉不到作为LCD最大弱点的余像(after image)现象。 因为在LCD中，使作为间接光源的背光灯通过液晶、彩色滤光器等，比较复杂地显示画面， 相反，AMOLED是由有机物质自发光而直接再现自然色画面。另外，OLED与IXD相比结构简单，在制造时部件方便上很占优势。但是，OLED在材料成本、驱动回路、驱动IC的价格上，其折旧率所占的比率很大， 近于整个成本的一半。这是因为OLED还没有在消费者中形成大众化，很难得到由其大量生产而产生的降低制造单价效果。但是，随着时间的推移，产量增加，折旧率会下降，可以期待在价格上也能够与LCD进行竞争。其理由为，因自发光的方式而不需要BLU和彩色滤光器等部件，结构简单，所以可以充分降低其成本。所以，为了具备价格竞争力，需要为降低折旧率而做努力。但是，为了大量生产，还有很多需要解决的技术问题。即，发光的有机物质对其中制造环境非常敏感，要生产出高质量的显示器很困难，因此需要克服成品率的问题，今后随着其大型化，还具有确保成品率更困难等一系列问题。以下，参照图示在利用掩模框架组件的有机物蒸镀器中制造AMOLED的原理的附图12，对利用AMOLED(能动型有机发光二极管)的以往显示面板的制造方法进行说明。AMOLED显示面板的基本构造为在玻璃基板上形成作为阳极的IToanduim Tin Oxide 氧化铟锡)，在其上表面蒸镀有机物R、G、B，然后在其上形成阴极，使阳极和阴极通电而发光的简单的结构。用于制造具有上述基本构成的AMOLED显示器的、以往的掩模拉伸(mask stretching)方式是一种把掩模对准所定目标位置的方式，通过反复进行测定掩模框架组件的条带(stripe)位置后进行补偿的流程，从而使其对齐的方式。因此，有机蒸镀器内玻璃基板设备的R，G，B的位置和掩模的开口(open)部位需要正确的对齐，因此，由蒸镀源蒸发有机物的同时，诱导有机物使其正确地蒸镀在玻璃基板元件内的分隔壁之间的掩模框架组件的精确度非常重要。S卩，使用单图式掩模(single pattern mask)的拉伸方式由于掩模自身的制造误差、因掩模缺陷而产生的成品率低下以及厂家供应的掩模线圈尺寸等的限制，现在能够实现的是第4代Half级的30"单图式TV的水平，大小的最大化的最高技术水平是42"多面取水平。但在用于蒸镀的消耗品的结构上成本太高，在经济性上具有限制性。因此，以往大量生产的AMOLED大部分为小型，在利用单图式掩模制造掩模框架组件生产大尺寸AMOLED时，在其尺寸上有限制。用单图式掩模实行大型化的难点在于作为掩模原材料的线圈的供给尺寸不能满足大型化所需要的尺寸。即，由于收益率问题，线圈厂商不生产AMOLED显示厂商所需的尺寸。为解决上述问题所提出的方案为利用多个分割掩模制造掩模框架组件。以下是有关利用分割掩模可制造的最大尺寸的大尺寸掩模框架组件的制造方法。图13是以往利用分割掩模制造掩模框架组件的工序图，图14是显示根据以往的方法制造掩模框架组件时，使分割掩模位于母玻璃上部后施加张力而使其对齐的构造的例示图，图15是显示制造以往的掩模框架组件时使母玻璃的图案和分割掩模的槽对齐的原理的例示图。如图所示，以往的掩模框架组件的制造方法为用夹持器夹住多个分割掩模的两端而施加张力，然后使其与位于下部的母玻璃图案相对齐而曝光后，使与蚀刻的掩模图案槽间相对齐，把分割掩模一个一个焊接在框架上进行组装，组装时在没有分割掩模的框架上一同焊接遮挡掩模，以此制造掩模框架组件后，为防止掩模晃动，一同焊接防晃动掩模，从而完成掩模框架组件。图16及图17表示通过上述方法制造的大尺寸(730 X 920mm以上级)掩模框架组件。图16是表示用以往的方法在框架的长边焊接分割掩模的大尺寸掩模框架组件，图17 表示用以往方法在框架的短边焊接分割框架组件的大尺寸掩模框架组件。但如同上述的方法随着框架和掩模长度的增加，因其重量增加而导致中央部的下垂等问题，从而很难批量生产。以下更具体地看一下其问题。如果没有利用大尺寸第4代以上第8代FMM(Fine Metal Mask)的、用于在有机蒸镀器内形成玻璃基板设备的R、G、B位置和掩模直接图案的、掩模框架组件的制造，现今很难实现第三代TV、低耗电、优良地再现动态影像的AMOLED大尺寸化。为了确保批量生产和经济性，必须确保大尺寸FMM，以往的技术如图16、图17利用水平型张力器及垂直型张力器来制造掩模框架组件。但这种以往的掩模框架组件在其放入很多单元盒(Cell)，在其生产数量及模板(Model)的多样性方面具有优点，但因薄膜用殷钢线圈(厚度=10 ΙΟΟμπι)原材料的长度、厚度的限制性，材料供给具有限制。即使改变薄膜用殷钢线圈材料的方向而制造分割掩模，也会产生以下问题。-殷钢线圈原材料的平坦度问题-无碱钠钙玻璃(sodalime glass)的平坦度及热膨胀系数(约3X 10-6/度(强化玻璃))的问题-无碱钠钙玻璃的长度问题-利用使用点曝光的两面光掩模的光束均勻度(BeamUniformity)的限制-很难克服与随着UV曝光时发生的温度上升而引起的冷却问题等相关的掩模质量和均勻度的限制，很难掌握掩模位置精密度，且很难克服因掩模中央部的下垂而引起的阴影及位置精密度的限制-伸长掩模进行焊接时，因张力而施加在框架上的力会引起框架变形及平坦度变化等问题-确保大尺寸殷钢及钢的平坦度问题-蒸镀掩模框架组件后通过清洗掩模的回收工序和由构成掩模框架组件的自动物流而产生的震动及颤抖形成的掩模位置反复变化等问题。如同上述，以往的掩模框架组件制造通过伸长掩模，利用照相装置使掩模和母玻璃直接相对齐，通过焊接与掩模框架形成一体，在其确保掩模的位置确定及其重要，即使解决了其它所有问题，因掩模框架的形状所带来的结构问题，防止妨碍蒸镀阴影和蒸镀位置的、掩模中央部下垂也不是件容易的事。另外，在以往，因掩模重量而导致其中央部掩模的最大下垂值维持在150 μ m以下，为克服蒸镀阴影等问题，蒸镀时，诱导掩模和基板(Substrate)的轻接触，使用永久磁铁作为掩模夹具(Mask Chuck)防止由重力产生的掩模下垂引起的阴影，在此情况下，使用永久磁铁具有几点问题截面面积的剧变，在没有配置NS极的地方产生磁场断开现象，掩模越长，越难克服掩模的NS耦合及残留磁场引起的微细抖动导致其定位准确度下降等问题。随着玻璃尺寸的大面积化，为把持玻璃(Glass Keeping)使用夹具时，在把持玻璃的把持部不能设置磁铁，所以当掩模变长时其蒸镀质量会受到很大影响。

发明内容
为了解决上述问题，本发明的目的在于利用多个分割掩模制造掩模框架组件时， 为防止中央部的下垂，在框架的中央部形成肋条，根据形成在与被肋条分割的框架相匹配地制造的母玻璃上的图案，使分割掩模的掩模孔精密地与其相对齐的同时施加张力进行焊接，从而防止蒸镀有机物时产生的阴影现象，即便损失分割掩模的即一行单元盒左右，也要将分割掩模粘贴在框架上，从而提供解决由掩模的长度变化导致的质量问题(掩模均勻度)，提供高清晰度QVGA级以上的移动设备用AMOLED或TV用AMOLED掩模框架组件及其制造方法。本发明的另一目的在于提供一种以下的掩模框架组件及其制造方法，该方法包括与被肋条分割的框架相适应地分割母玻璃并与母玻璃台形成为一体的工序，其中，该母玻璃台在中央部形成有槽，以便维持对齐用图案的程度的同时，安装肋条。
本发明的另一目的在于提供一种以下的掩模框架组件及其制造方法，该方法包括将分割掩模焊接到被肋条分割的框架的个别分割部时，为解决作为掩模材料的常用殷钢的尺寸问题，通过2次曝光，在与框架个别分割部相当的有效区域进行图案曝光后进行蚀刻，形成具有条带图案掩模，为了消除张开时的应力，在剩下的未使用的区域进行虚拟曝光后进行蚀刻而形成具有泄压槽的虚拟掩模，，并在焊接到框架后，去除未使用区域的虚拟掩模的工序。本发明的其它另一个目的在于提供一种以下的掩模框架组件及其制造方法，该方法包括在将分割掩模焊接到被肋条分割的框架的个别分割部时，将焊接图案掩模和虚拟掩模焊接到框架后，去除未使用于有机物蒸镀的未使用区域即虚拟掩模的工序。本发明的另一其它目的在于提供一种掩模框架组件及其制造方法，该方法包括在将分割掩模焊接到被肋条分割的框架上时，夹具对分割掩模的两侧端向水平方向施加张力而进行焊接后，去除未使用于有机物蒸镀的未使用区域即虚拟掩模的工序。本发明的另一其它目的在于提供一种掩模框架组件及其制造方法，该方法包括 在将分割掩模焊接到被肋条分割的框架上时，夹具对分割掩模两侧端施加张力而进行焊接时，对一侧端施加水平方向上的张力，具备低摩擦辊的垂直方向夹具对形成有肋条的中央部施加张力而焊接后，去除未使用于有机物蒸镀的未使用区域即虚拟掩模的工序。为了达到上述目的，本发明的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，包括以下步骤步骤A，制造框架，该框架通过形成用于防止中央部的下垂的肋条来分割分割掩模设置空间；步骤B，使母玻璃与形成有肋条回避口的母玻璃夹具形成为一体，其中，该母玻璃只在除了与上述肋条相当的部分之外的部分具有掩模图案；步骤C，使与母玻璃形成为一体的母玻璃夹具位于上述框架下部后，对分割掩模施加张力而放置并使其与位于下部的母玻璃的图案相对齐；以及步骤D，焊接已对齐的分割掩模。作为本发明的一个实施方式，在上述步骤B中，在形成有肋条回避口的母玻璃夹具上表面放置除了形成在框架上的肋条区域之外的部分形成有图案的由一张构成的母玻璃后，利用粘合剂使其与母玻璃夹具上表面粘接，然后，通过切割工序去除与肋条回避口相当的区域的母玻璃而形成为一体，从而确保同一母玻璃的定位程度。作为本发明的一个实施方式，在上述步骤C中，施加张力的方式是延长型的施加张力方式，该延长型的施加张力方式是把分割掩模的两侧端延长到设有夹持器的框架的水平方向两侧端，用水平方向的夹持器夹住分割掩模来施加张力。作为本发明的一个实施方式，在上述步骤C中，施加张力方式是非延长型的施加张力方式，其中，该非延长型的施加张力方式是通过将分割掩模一侧端延长到设置在框架水平方向一侧端的夹持器，使夹持器夹住分割掩模的一侧端而施加张力，并且使位于垂直方向的夹持器夹住在通过框架的肋条而设置的低摩擦辊位置向上部方向弯曲的分割掩模的另一端而施加张力。作为本发明的一个实施方式，在上述步骤D中，在焊接与母玻璃的图案相对齐的分割掩模后，切割并去除未形成掩模图案的分割掩模的虚拟图案部分。作为本发明的一个实施方式，所述分割掩模是一张掩模通过2次曝光而形成不同的图案，在通过1次曝光的掩模部分形成具有图案槽的图案掩模，在通过2次曝光的剩余的掩模部分形成具有泄压槽的虚拟掩模，该泄压槽用于解除在对掩模施加张力时产生的压力而调节张力均衡。作为本发明的一个实施方式，所述分割掩模通过焊接将形成有图案槽的图案掩模和形成有泄压槽的虚拟掩模形成为一体，其中，该虚拟掩模用来解除对掩模施加张力时所产生的压力而调节张力均衡。作为本发明的一个实施方式，在上述步骤D中，在被肋条分割的框架的分割区域中的一侧设置分割掩模，之后在另一侧框架的分割区域设置分割掩模，然后再对一侧区域设置分割掩模的方式从分割掩模的中央部往框架两侧方向均勻焊接分割掩模。作为本发明的一个实施方式，上述肋条是通过分割框架的长边而形成。作为本发明的一个实施方式，上述肋条是通过分割框架的短边而形成。作为本发明的一个实施方式，上述泄压槽是通过半蚀刻或全蚀刻来形成。作为本发明的一个实施方式，形成有用于防止中央部下垂的肋条的框架；分割掩模分别焊接在被肋条分割的框架的分割区域的各区域上而构成，其中，上述肋条是通过分割框架的短边来形成。如上所述的本发明具有以下优点。在利用多个分割掩模制造掩模框架组件时，为防止中央部的下垂在框架的中央部形成肋条，根据形成在与被肋条分割的框架相对应的母玻璃上的图案，将掩模槽与分割框架的精密地对齐而施加压力并进行焊接，从而防止蒸镀有机物时产生的阴影现象，尤其在焊接时就是失去分割掩模的一行程度的单元盒，也要分割掩模而粘贴到框架上，解决由于掩模的长度导致的质量问题(掩模均勻度)，制造高分辨率的QVGA级以上的移动设备用 AMOLED或TV用AMOLED掩模框架组件，具有由大尺寸第4代以上第8代FMM(Fine Metal Mask)实现AMOLED大尺寸化。而且，包含以下工序，S卩，与被肋条分割的框架相匹配地分割母玻璃，并与在中央部形成有以维持对齐用图案的方式安装肋条的槽的母玻璃夹具形成为一体。由此，实现使母玻璃图案和掩模的形成图案的孔精密一致。另外，包括以下工序，S卩，将分割掩模焊接到被肋条分割的框架的个别分割部时， 通过2次曝光，在与框架个别分割部相当的有效区域曝光图案后进行蚀刻，形成具有条带 (stripe)图案掩模，为了消除张开时的压力而在剩下的未使用的区域进行虚拟曝光后进行蚀刻，从而形成具有泄压槽(半蚀刻或全蚀刻)的虚拟掩模，焊接到框架后，去除未使用区域的虚拟掩模。由此，解决掩模材料常用殷钢尺寸问题。另外，包含以下工序，S卩，将分割掩模焊接到被肋条分割的框架的个别分割部时， 焊接图案掩模和虚拟掩模后，再去除未使用于有机物蒸镀的区域即虚拟掩模。由此，解决掩模材料常用殷钢尺寸问题。另外，包含以下工序，S卩，将分割掩模焊接到被肋条分割的框架时，夹具对分割掩模的两侧端向水平方向施加张力的同时进行焊接，然后只去除未使用于有机物蒸镀的区域即虚拟掩模。由此，解决了掩模材料常用殷钢的尺寸问题并防止了掩模的下垂。另外，包含以下工序，S卩，将分割掩模焊接到被肋条分割的框架时，夹具对分割掩模的两侧端施加张力的同时进行焊接，其一侧端被施加水平方向上的张力，在形成有肋条的中央部具备低摩擦辊的垂直方向夹具施加张力的同时进行焊接后，只去除未使用于有机物蒸镀的区域即虚拟掩模。由此，解决掩模材料常用殷钢尺寸的问题、防止掩模下垂、且可以在不破坏原来焊接的分割掩模的情况下进行焊接。解决了以下以往的问题以往殷钢线圈原材料的平坦度问题；钠钙玻璃的平坦度及热膨胀系数(约3X10-6/度(强化玻璃))的问题；钠钙玻璃的长度问题；利用通过点曝光的光掩模的光束均勻度的限制问题；由于随着UV曝光时发生的温度上升而引起的冷却问题等而产生的掩模质量和均勻度很难克服其限制而很难掌握掩模位置精密度的问题； 伸长掩模进行焊接时，因张力产生的施加在框架上的力会引起框架变形及平坦度变化等问题；确保大尺寸殷钢及钢的平坦度问题；蒸镀掩模框架组件后通过掩模洗涤的回收工序和由构成掩模框架组件的自动物流而产生的震动及颤抖形成的掩模位置反复变化等问题。本发明可以制造出具有经济性和用于大尺寸AMOLED的高清晰度掩模框架组件，从而可以制造大尺寸AMOLED面板。因此，本发明是一个有用的发明，可期待其在产业上的利用。


图1是显示本发明中一个实施例的掩模框架组件的例示图；图2是显示本发明中另一实施例的掩模框架组件的例示图；图3是显示本发明中一个实施例的制造掩模框架组件时的母玻璃及其夹具和分割掩模的延长型张力的例示图；图4是显示使用在本发明的一个实施例中的分割掩模结构的例示图；图5是显示使用在本发明的另一个实施例中的分割框架结构的例示图；图6是显示使用在本发明中的分割掩模的延长型张力的例示图；图7是显示使用在本发明中的分割掩模的非延长型张力的例示图；图8是显示本发明中在形成有肋条的框架上焊接分割掩模的顺序的例示图；图9是显示使用于本发明中的母玻璃的例示图；图10是显示本发明中把母玻璃设置到母玻璃夹具时，错误粘接及正确粘接的例子的例示图；图11是本发明中母玻璃的制造工序图；图12是显示在利用掩模框架组件的有机物蒸镀器中制造AMOLED的原理的例示图；图13是以往利用分割掩模制造掩模框架组件的工序图；图14是显示根据以往的方法制造掩模框架组件时，使分割掩模位于母玻璃上部后施加张力而进行对齐的结构的例示图；图15是显示制造以往的掩模框架组件时使母玻璃的图案和分割掩模的槽相对齐的原理的例示图；图16是显示用以往的方法在框架的长边焊接分割掩模的大尺寸掩模框架组件的例示图；图17是显示用以往方法在框架的短边焊接分割框架组件的大尺寸掩模框架组件的例示图。附图标记说明1 框架；2 分割掩模；
9
3 夹具；5:母玻璃夹具；11:肋条;22 虚拟掩模；
4 母玻璃； 6 低摩擦辊； 21 图案掩模； 51 肋条回避口。
具体实施例方式以下，参照附图对于本发明实施例的结构及其作用进行详细说明。在说明本发明时，对相关的公知功能或结构的具体说明被判断为不必要地影响本发明的要点时，省略了对其详细说明。图1是显示本发明一个实施例中掩模框架组件的例示图，图2是显示本发明另一实施例中掩模框架组件的例示图。如图所示，本发明中掩模框架组件为以下结构，形成有横跨框架(1)中央部的肋条而把焊接在框架(1)上的分割掩模O)的区域分割成2个，并且在被肋条分割的两侧空间区域中各自的分割掩模焊接在框架(1)及肋条上。另外，在被肋条分割的空间面上用夹具(3)张开分割掩模(2)而焊接时，存在以下两种方法，即，如图1 所示，由肋条分割框架(1)的长边，在长边方向上张开分割掩模(2)而进行焊接方法；如图 2所示，由肋条分割框架(1)的短边，在短边方向上张开分割掩模(2)而进行焊接。可按需求选择方法进行焊接。如同上述的构成可以防止掩模中央部的下垂或掩模框架组件的中央部下垂，可以确保根据掩模尺寸的材料供给及曝光/蚀刻的掩模质量的完整性，从而通过大尺寸第4代以上第8代FMM实现AMOLED大尺寸化。图3是显示本发明一个实施例中制造掩模框架组件时，母玻璃和母玻璃夹具及分割掩模的延长型张力的例示图。这里，延长型是指分割掩模的两侧端延长到设置在框架水平方向两侧端的夹具C3)后，被夹具C3)夹持而对分割掩模施加张力，在施加其张力后，完成与位于下部的母玻璃(4)相对齐，然后把分割掩模焊接到框架上。作为与此相反的概念有非延长型张力施加状态，非延长型是指分割掩模的一侧端延长到设置在框架水平方向一侧端的夹具(3)，由夹具C3)夹持分割掩模的一侧端而施加张力，分割掩模的另一侧端由位于垂直方向的夹具C3)夹住在经过框架的肋条而设置的低摩擦辊(6)位置向上部方向弯曲的分割掩模而施加张力，在其状态下与位于下部的母玻璃 (4)相对齐后，把分割掩模焊接在框架的方法。
具体实施方式
将后述。如图所示，本发明的一个实施例中掩模框架组件形成肋条，分割掩模从两侧以延长型方式被夹具(3)向两侧端方向夹持而以被施加张力的状态放置在框架上部，其下部形成有母玻璃G)，该母玻璃(4)与在框架上形成有肋条的分割掩模相对应地分割成2个， 分为2个的母玻璃(4)下部形成有母玻璃夹具(5)，该母玻璃夹具( 形成有肋条回避口 (51)，以便形成在框架上的肋条能够被安装并被支撑。母玻璃夹具( 是由殷钢材质制成的。如图3所示，实施例中的分割掩模(2)使用不是一般的分割掩模的、以下的掩模， 即，根据本发明只在设置在被形成在框架的中央部的肋条分割的分割区域形成有图案，其以外的分割掩模部分没有图案，以便使用后被切除并去掉。以下参照图4及图5对于本发明的分割掩模进行详细说明。图4是显示使用在本发明一实施例中分割掩模的构造的例示图，图5是显示使用在本发明另一实施例中的分割掩模构造的例示图。首先，如图4所示，使用于本发明的分割掩模焊接在框架上，在要形成掩模框架组件的一定区域的掩模表面上先进行1次曝光而形成图案区域，剩余未使用区域为消除通过夹具施加张力时的压力，维持张力均衡而进行2次曝光和蚀刻，在1次曝光的掩模区域形成具有图案槽的图案掩模，2次曝光膜区域形成具有泄压槽的虚拟掩模，焊接到框架后，切除未使用区域即虚拟掩模。即，分割掩模的一侧图案掩模焊接在形成于框架及框架中央部的肋条上，焊接结束后，切除没有焊接在肋条上的部分的剩余虚拟掩模0幻。这时，泄压槽通过半蚀刻或全蚀刻形成。在这里，在曝光时被用作图案的部分必须通过一次曝光形成。上述的方式是在能够确保作为分割掩模材料的殷钢或SUS材料比框架拉长方向和焊接方向的长时采用的，如同上述分为图案掩模部和不是图案部的虚拟掩模部而进行2次蚀刻。图5显示的是通过焊接事先形成的图案掩模和虚拟掩模(22)，制造分割掩模，不是如图4所示地在一个分割掩模进行2次曝光而形成分别不同的图案槽和泄压槽，而是一开始就具备不同的掩模并焊接而完成一个分割掩模。即，分别制造蚀刻有图案的图案掩模和形成有泄压槽的虚拟掩模0 之后，进行焊接而形成一个分割掩模。这时，泄压槽通过半蚀刻或全蚀刻来形成。这种方式是在很难得到作为分割掩模材料的殷钢或SUS 材料为比框架伸长方向和焊接方向长的材料时采用。如上述图4和图5所示，本发明以在曝光有效区域内可以确保分割掩模的质量部分为基准，通过确保掩模图案的均勻度，稳定供给QVGA以上的高清晰度掩模框架，从而制造出克服了掩模下垂的问题、掩模长度问题、曝光区域问题、随着掩模长度变长而导致的质量及价格问题、因热膨胀而导致的质量问题等的大尺寸框架组件。其理由为本发明通过分割框架来形成肋条，不需要分割掩模的整体，不需要在整个掩模上形成掩模图案。用图案掩模对整个分割掩模进行曝光后，进行蚀刻而使用，但此情况下以往曝光装置很难均勻曝光整个分割掩模，为了进行精密的曝光而需要更精密的曝光工序或使用专用曝光机，但这会导致提高分割掩模制造单价，不是优选方式。另外，还会导致不必要的资源浪费及蚀刻掩模图案的单价上升，所以优选像本发明那样只形成虚拟图案。即，图示的本发明看起来与说明以往技术时所示出的分割掩模一样或小，但实际上也会比其大，所以使用以往的曝光机很难对整个分割掩模区进行曝光。即使能够进行曝光，在确保通过曝光形成的掩模的微细图案程度上具有限制。图6是显示对在本发明中使用的分割掩模施加延长型张力的例示图，图7是显示对在本发明中使用的分割掩模施加非延长型张力的例示图，如图所示，图6为用夹具即本发明中记载为X夹具的水平夹具夹持分割掩模的两侧而施加张力后进行焊接的一般的水平方向延长型张力施加方式，图7是对被肋条分割的区域分别施加张力而进行焊接的方式，这种方式将掩模曝光一次，掩模长度不需要那么长，框架端一侧面如同以往，由夹具夹持分割掩模的一侧，形成肋条的另一侧框架通过低摩擦辊(6)使分割掩模向上弯曲后，在本发明中记载为Y夹具的位于上部的夹具施加张力进行焊接的非延长型张力施加方式。这种非延长张力施加方式不引起已焊接的分割掩模之间的干涉，可提高掩模框架组件的质量。按情况，低摩擦辊(6)可以与Y夹具构成为一个设备或构成为单独设备。但这种夹具和低摩擦辊(6)的具体设置构成不是本发明的核心，从而省略。只需要具备这种装置。
图8是显示在本发明涉及的形成有肋条的框架上焊接分割掩模的顺序的例示图。 如图所示，本发明涉及的分割掩模从框架的中央部对个别分割掩模，用延长型或非延长型方式施加张力后进行焊接，然后切除分割掩模中不必要的虚拟掩模。其工作顺序为被肋条分割的框架分割区域中的一侧区域设置分割掩模，然后另一侧框架的分割区域设置分割掩模，从再次在一侧分割区域设置分割掩模而分割的框架中央部向框架两侧均衡地焊接分割掩模的方式。分割掩模的焊接顺序为先焊接图面上的(1-1)和(1- 而避免框架变形引起的位置歪曲，然后相对称地焊接以及0-2)，最后进行到(N-I)、(N掩模)的定位及焊接即可。这样焊接形成的掩模框架组件不会产生弯曲，具有均勻的平坦度，制造AMOLED显示面板时不会产生阴影现象，从而可以大量生产出高质量的面板。图9是使用于本发明中的、形成有母玻璃对齐用图案的例示图，图10为，在本发明中就算很准确地决定被母玻璃夹具相分割的母玻璃位置，如图10的(A)所示，很难使Ypl 和Yp2、Xpl和Χρ2及Hietapl和Hietap2在所定位置形成为一体，图10的(B)所示，需要制作母玻璃的技术，从而可以使Ypl和Yp2、Xpl和Χρ2及Hietapl和Hietap2在所定位置形成为一体，图11是本发明涉及的母玻璃的制作工序。如图所示，适用于本发明中的母玻璃不是一般的母玻璃，是分割在中央部形成有肋条的框架相对应地在除肋条区域的部分形成有图案的母玻璃而粘接到母玻璃夹具上的母玻璃，如果不把母玻璃正确地粘接在母玻璃夹具而形成为一体的话，在对齐分割掩模和母玻璃时无法精密对齐。为了克服此问题，把一张印有图案的图11的母玻璃(4)放在形成有肋条回避口(51)的由殷钢R或铁制成的母玻璃夹具( 上，用密封材料接合母玻璃夹具(5)与母玻璃G)，用激光切割机或钻切割机切除框架的肋条干涉部而形成肋条回避口 (51)，以便避免框架肋条(11)的干涉，由此构成就算是两个图案也不会失去位置准确性的母玻璃夹具，母玻璃夹具(5)由殷钢或热膨胀小的钢等种类制成，从而使其热膨胀程度最小，完成精密地定位的母玻璃夹具。完成如同上述的工作后，对本发明涉及的分割掩模施加延长型或非延长型张力而固定后，用位于上部的相机(未图示)通过掩模的图案孔确认出位于下部的母玻璃图案在有效范围内的话，就利用位于上部的焊接装置(未图示)依次进行焊接，仅将掩模的图案部分焊接在框架上，而将虚拟图案部分在焊接结束后切除掉，由此制造出掩模框架组件。本发明不限于上述的优选实施例，在没有脱离权利要求记载的本发明的要点的情况下，属于本领域的技术人员可以进行多种变形实施，而且这种变形也属于权利要求记载的范围内。
权利要求
1.一种用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，包括以下步骤步骤A，制造框架，该框架通过形成用于防止中央部下垂的肋条来分割分割掩模设置空间；步骤B，使母玻璃与形成有肋条回避口的母玻璃夹具形成为一体，其中，该母玻璃只在除了与上述肋条相当的部分之外的部分具有掩模图案；步骤C，使与母玻璃形成为一体的母玻璃夹具位于上述框架下部后，对分割掩模施加张力而放置并使其与位于下部的母玻璃的图案相对齐；以及步骤D，焊接已对齐的分割掩模。
2.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，在上述步骤B中，在形成有肋条回避口的母玻璃夹具上表面放置除了形成在框架上的肋条区域之外的部分形成有图案的由一张构成的母玻璃后，利用粘合剂使其与母玻璃夹具上表面粘接，然后，通过切割工序去除与肋条回避口相当的区域的母玻璃而形成为一体，从而确保相同的母玻璃定位程度。
3.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，在上述步骤C中，施加张力的方式是延长型的施加张力方式，该延长型的施加张力方式是把分割掩模的两侧端延长到设置在框架的水平方向两侧端的夹持器，用水平方向的夹持器夹住分割掩模来施加张力。
4.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，在上述步骤C中，施加张力方式是非延长型的施加张力方式，该非延长型的施加张力方式是通过将分割掩模一侧端延长到设置在框架水平方向一侧端的夹持器，使夹持器夹住分割掩模的一侧端而施加张力，并且使位于垂直方向的夹持器夹住在通过框架的肋条而设置的低摩擦辊位置向上部方向弯曲的分割掩模的另一端而施加张力。
5.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，在上述步骤D中，在焊接与母玻璃的图案相对齐的分割掩模后，切割并去除未形成掩模图案的分割掩模的虚拟图案区域。
6.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，所述分割掩模是一张掩模通过2次曝光而形成不同的图案，在通过1次曝光的掩模部分形成具有图案槽的图案掩模，在通过2次曝光的剩余的掩模部分形成具有泄压槽的虚拟掩模，该泄压槽用于解除在对掩模施加张力时产生的压力而调节张力均衡。
7.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，所述分割掩模通过焊接将形成有图案槽的图案掩模和形成有泄压槽的虚拟掩模形成为一体，其中，该虚拟掩模用来解除对掩模施加张力时所产生的压力而调节张力均衡。
8.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，在上述步骤D中，在被肋条分割的框架的分割区域中的一侧区域设置分割掩模，之后在另一侧框架的分割区域设置分割掩模，然后再对一侧区域设置分割掩模的方式从分割掩模的中央部往框架两侧方向均勻焊接分割掩模。
9.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，上述肋条是通过分割框架的长边而形成。
10.如权利要求1所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，上述肋条是通过分割框架的短边而形成。
11.如权利要求6或7所述的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件的制造方法，其特征在于，上述泄压槽是通过半蚀刻或全蚀刻来形成。
12.通过权利要求1至8中任一项所述的方法制造的用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件，其特征在于，形成有用于防止中央部下垂的肋条的框架；分割掩模分别焊接在被肋条分割的框架的分割区域的各区域上而构成，其中，上述肋条是通过分割框架的短边来形成。
全文摘要
本发明涉及用来制造大尺寸AMOLED多面取电视面板及移动设备面板的分割掩模框架组件及其制造方法。该方法包括以下步骤步骤A，在该步骤A中制造框架，其中，该框架通过形成用于防止中央部的下垂的肋条来分割分割掩模设置空间；步骤B，在该步骤B中，使母玻璃与形成有肋条回避口的母玻璃夹具形成为一体，其中，该母玻璃只在除了与上述肋条相当的部分之外的部分具有掩模图案；步骤C，在该步骤C中，使与母玻璃形成为一体的母玻璃夹具位于上述框架下部后，对分割掩模施加张力而使其与母玻璃的图案相对齐；以及步骤D，在该步骤D中，焊接相对齐的分割掩模。
文档编号H01L51/56GK102347456SQ20111020506
公开日2012年2月8日 申请日期2011年7月21日 优先权日2010年8月3日
发明者吴世正, 尹泳锡, 崔英默, 形南新, 石铉浩, 金明洙 申请人:汉松有限公司