专利名称：带有防打火装置的机台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种用于娃片生产机台Novellus Cl,尤其涉及该机台的结构。
背景技术：
1C，即集成电路是采用半导体制作エ艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。由于Novellus Cl机台会用来生长带弗的薄膜,腔体在反应过程中可能会使加热块导线短路的风险。针对以上特点，有必要设计ー种带有防打火装置的机台。
发明内容本实用新型需要解决的技术问题是提供了一种带有防打火装置的机台，g在解决上述的问题。为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的本实用新型包括加热块下方的导线位置；还包括一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置包括一底板；在所述的底板安置一由ニ块拼装的瓶装体。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是在加热块下方的导线位置加装合适大小的防打火装置，大大降低了机台由于加热导线的短路而导致的机台停机，提高了机台的产能利用率。
图I是本实用新型结构示意图。图2是图I的底板结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图与具体实施方式
对本实用新型作进ー步详细描述由图I、图2可见本实用新型包括加热块下方的导线位置(图中未示)；还包括一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置包括一底板I ;在所述的底板I安置一由ニ块拼装的瓶装体2。所述的底板I是整块或者是两块可拼装的底板。(如图2所示)。本实用新型根据腔体加热块下方导线位置及空间大小设计合适大小的三块或者四块拼装防打火装置，以减少机台由于加热导线的断路，大大提高机台利用率和产能利用率。
权利要求1.一种带有防打火装置的机台，包括加热块下方的导线位置；其特征在于还包括一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置包括一底板；在所述的底板安置一由ニ块拼装的瓶装体。
2.根据权利要求I所述的带有防打火装置的机台，其特征在于所述的底板是整块或者是两块可拼装的底板。
专利摘要本实用新型涉及一种带有防打火装置的机台，包括加热块下方的导线位置；还包括一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置包括一底板；在所述的底板安置一由二块拼装的瓶装体；本实用新型的有益效果是在加热块下方的导线位置加装合适大小的防打火装置，大大降低了机台由于加热导线的短路而导致的机台停机，提高了机台的产能利用率。
文档编号H01L21/67GK202394846SQ20112044685
公开日2012年8月22日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者周峰, 张春 申请人:上海矽维电子科技有限公司