专利名称：基板收存容器的制作方法
技术领域：
本发明涉及在将由半导体晶片、玻璃晶片、掩模玻璃等构成的基板收存、保管、运送、输送等时使用的基板收存容器。
背景技术：
以往的基板收存容器虽然没有图示，但具备将多片半导体晶片上下排列而整齐排列收存的前开盒的容器主体、和将该容器主体的开口的正面开闭的盖体，在容器主体上设有安装机构，在该安装机构上拆装自如地安装有运送用的运送零件，在半导体晶片的收存、保管、运送、输送中使用(参照专利文献1、2)。安装机构分别一体形成在容器主体的周壁、具体而言容器主体的顶棚和两侧壁上。该安装机构具备成对设置在容器主体的周壁上而相对置的一对支承轨道，在该一对支 承轨道的附近分别形成有运送零件用的卡合部和卡合肋。在这样的安装机构中，一对支承轨道夹持运送零件，卡合部和卡合肋卡合固定到被夹持的运送零件上。运送零件具备经由安装机构拆装自如地安装在容器主体的顶棚上而被运送装置把持的机器人凸缘、和经由安装机构分别拆装自如地安装在容器主体的两侧壁上、被手动操作的一对手动手柄。该运送零件从可靠地支承满载多片半导体晶片的较重的基板收存容器(在半导体晶片的满载时为约7kg的质量)的观点看，由具有高刚性的聚碳酸酯等成形。运送零件例如具备被安装机构的一对支承轨道夹持的板形的基体，在该基体上大致垂直地突出形成有支柱，在该支柱的端部上，形成有把持用的凸缘或把持部。在运送零件的基体上，一体形成有变形而卡合到安装机构的卡合肋上的返回阻止用的钩部。专利文献I :特开2000 - 306988号公报 专利文献2 :特开2008 - 34879号公报。
发明内容
以往的基板收存容器如以上那样将运送零件通过高刚性的聚碳酸酯等成形材料成形，在运送零件的基体上一体形成有返回阻止用的钩部，所以不能对钩部施加较高的弹性力。因此，在将钩部卡合到安装机构的卡合肋上的情况下，必须对钩部施加较大的外力而勉强使其变形来卡合，有作业性较差的问题。此外，在从安装机构的卡合肋将钩部拆下的情况下，也必须对钩部较强地施加外力而勉强使其变形，有可能不能实现作业性的提高。此外，如果多次将钩部安装拆卸，则钩部变形而不能维持充分的卡合力，有可能钩部容易从卡合肋脱离。此外，在卡合肋与钩部的卡合部位为运送零件的背面侧的情况下，给操作带来障碍，导致作业性及操作性的下降。进而，将基板收存容器的容器主体通过清洗槽的清洗水清洗而使用、或再使用，但由于安装机构的支承轨道、卡合部、卡合肋构成为所谓的死胡同构造，所以清洗水容易残留，并且干燥用的空气的流通性也较差，所以在干燥中需要长时间。如果在容器主体中残留清洗水，则有可能残留水滴的痕迹，或从形成容器主体的成形材料产生挥发性的有机气体而附着到收存状态的半导体晶片上，形成有机化合物盐而成为污染或腐蚀源。本发明是鉴于上述情况的，目的是提供一种能够使运送零件相对于容器主体的安装机构的安装作业的作业性提高、将运送零件容易从安装机构脱离的可能性排除、抑制在安装机构及运送零件中残留清洗水等液体的基板收存容器。 在本发明中，为了解决上述课题，提供一种基板收存容器，在收存基板的容器主体上设置安装机构，在该安装机构上拆装自如地安装运送零件，其特征在于，安装机构包括设在容器主体的周壁上的支承轨道部、设在容器主体的周壁上的导引片、和形成在该导引片上的干涉卡合部，导引片与干涉卡合部组合而将其前部形成为两股部；运送零件具备被安装机构的支承轨道部支承的零件主体，在该零件主体上，设有流体用的流通口，并且设有被安装机构的导引片导引的弹性卡合片，使该弹性卡合片与安装机构的导引片和干涉卡合部的两股部干涉。另外，也可以是，在安装机构中具备设在容器主体的周壁上、钩挂到运送零件上的止动件。
此外，可以将容器主体形成为正面开口的前开盒，将安装机构的导引片朝向容器主体的前后方向，在其侧面上形成干涉卡合部，并且使导引片在与容器主体的前后方向交叉的方向上倾斜，对于运送零件的弹性卡合片赋予接触在安装机构的导引片上而挠曲的挠性，在该弹性卡合片上，形成有与安装机构的干涉卡合部干涉的突部。此外，可以使安装机构的支承轨道部为多个而对置，使该对置的多个支承轨道部分别以支承轨道部间的距离随着从容器主体的后方朝向前方而变短的方式倾斜，将安装机构的导引片设在多个支承轨道部间，使其朝向容器主体的左右方向的中心线倾斜；将运送零件的零件主体形成为中空，在其内部内装弹性卡合片，在零件主体的两侧部，分别形成被安装机构的多个支承轨道部夹持的被夹持板，使各被夹持板的侧面以沿着支承轨道部的倾斜的方式倾斜，在零件主体的上部形成凸缘，并且在该凸缘上设有使弹性卡合片露出的操作孔，在多个被夹持板和凸缘的至少某个上设有流体用的流通口。此外，可以使安装机构的支承轨道部为多个而对置，使该对置的多个支承轨道部分别以支承轨道部间的距离随着从容器主体的后方朝向前方而变短的方式倾斜，将安装机构的导引片设在多个支承轨道部间，使其朝向容器主体的上下方向倾斜；将运送零件的零件主体形成为大致梯形的板，使其两侧面以沿着支承轨道部的倾斜的方式倾斜，在零件主体的背面上形成弹性卡合片，在零件主体上设有使弹性卡合片露出的操作孔。进而，可以在零件主体和被夹持板的至少某一个的背面上形成凹凸部，所述凹凸部在与容器主体的周壁之间区划间隙；在零件主体上形成有变形限制部，所述变形限制部限制伴随着与安装机构的导引片的接触的弹性卡合片的过度的变形。这里，在权利要求书的基板中，至少包括单个多个半导体晶片(Φ200、300、450πιπι的硅晶片)、玻璃晶片、掩模玻璃等。容器主体并不特别限定于透明、不透明、半透明等。在该容器主体的周壁中，至少包括容器主体的顶棚、背面壁、侧壁等。此外，安装机构的导引片和干涉卡合部组合为例如俯视大致Y字形、λ字形、V字形、与它们类似的形状。导引片设在支承轨道部的附近或周边。在运送零件中，至少包括拆装自如地安装在容器主体的顶棚上而被运送装置把持的机器人凸缘、拆装自如地安装在容器主体的侧壁上而被手动操作的手动手柄、和拆装自如地安装在容器主体的侧壁下部而在运送时使用的侧轨道等。在运送零件的零件主体上，经由加强肋设有弹性卡合片，使该加强肋与弹性卡合片经由间隙对置，能够通过加强肋限制弹性卡合片的过度的挠曲。在零件主体上，能够设置单个或多个流通口和弹性卡合片。进而，在流体中，至少包括各种液体(例如，清洗液或纯水等)或气体(例如，空气或惰性气体等)。根据本发明，在将运送零件安装到容器主体的周壁的安装机构上的情况下，使安装机构的支承轨道部支承运送零件。此时，运送零件的弹性卡合片接触在安装机构的导引片上而被导引，弹性卡合片与导引片和干涉卡合部的两股部、即干涉卡合部干涉。如果弹性卡合片与干涉卡合部干涉，则弹性卡合片复原为原来的状态，能够向容器主体的安装机构安装运送零件。
此外，零件主体的流通口在使用由液体或气体等构成的流体时，使该流体向零件主体的内外平滑地流通，使运送零件的清洗及干燥作业的作业性提高。根据本发明，有使运送零件相对于容器主体的安装机构的安装作业的作业性提高、能够将运送零件容易从安装机构脱落的可能性排除的效果。此外，能够抑制在安装机构或运送零件上残留清洗水等液体。此外，根据技术方案2所述的发明，由于止动件接触并钩挂在运送零件上，所以能够有效地防止运送零件相对于容器主体的过度的滑动及位置偏差、晃动等。此外，根据技术方案3所述的发明，能够使运送零件的弹性卡合片接触在安装机构的倾斜的导引片上、一边使该弹性卡合片变形一边适当地导引。此外，在弹性卡合片挠曲而变形后，弹性卡合片在其反作用力下通过导引片而使突部与导引片和干涉卡合部的两股部干涉，所以能够将运送零件牢固地安装到容器主体的周壁上。此外，根据技术方案4或5所述的发明，由于安装机构的多个支承轨道部在容器主体的前后方向上倾斜，所以能够以简单的结构防止运送零件相对于容器主体的位置偏差及晃动，能够使运送零件适当地滑动到规定的部位。此外，由于运送零件及被夹持板的侧面对应于支承轨道的倾斜而倾斜，所以弄错设置运送零件时的朝向的情况较少。此外，由于在凸缘及零件主体上设有使弹性卡合片露出的操作孔，所以不论弹性卡合片的位置如何，都能够容易地操作弹性卡合片。此外，根据技术方案6所述的发明，流体不会滞留在凹凸部区划的间隙中而平滑地流通，所以能够抑制清洗水等液体残留在运送零件中。进而，通过变形限制部能够有效地防止弹性卡合片过度地变形而损伤、或弹性卡合片过度地变形而不再能维持充分的卡合力的可能性。
图I是示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的整体立体说明图。图2是示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的安装机构的俯视说明图。图3是示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的安装机构和运送零件的俯视说明图。图4是从斜后方示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的安装机构和机器人凸缘的立体说明图。图5是示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的安装机构和机器人凸缘的剖视说明图。图6是示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的机器人凸缘的立体说明图。图7是从背面侧示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的机器人凸缘的立体说明图。图8是示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的机器人凸缘的截面侧视图。图9是示意地表示有关本发明的基板收存容器的实施方式的安装机构的导引片 及干涉卡合部与机器人凸缘的弹性卡合片的关系的说明图。图10是示意地表示有关本发明的基板收存容器的第2实施方式的侧视说明图。
具体实施例方式以下，参照
本发明的实施方式，本实施方式的基板收存容器如图I至图9所示，具备收存半导体晶片的容器主体I、和将该容器主体I的开口的正面开闭的拆装自如的盖体10，在容器主体I的周壁上设有安装机构20，在该安装机构20上拆装自如地安装着运送用的运送零件30。半导体晶片例如由Φ300πιπι的硅晶片构成，将多片设为水平而上下整齐排列收存在容器主体I内，通过专用的操作机器人依次取出。容器主体I和盖体10是通过含有规定的树脂的成形材料将多个零件分别注射成形、由该多个零件的组合构成的。作为该成形材料中的规定的树脂，可以举出例如力学的性质及耐热性等良好的聚碳酸酯、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚缩醛、液晶聚合物、或者环状烯烃树脂等。在规定的树脂中，根据需要而有选择地添加碳、碳纤维、金属纤维、碳纳米管、导电性聚合物，防静电干扰剂、或阻燃剂等。容器主体I如图I及图2所示，成形为正面开口的前开盒，顶棚2在上下方向上稍稍倾斜，从上方定位搭载到附设在半导体晶片的加工装置上的装载端口(load port)装置上。该容器主体I在内部的两侧、即两侧壁3的内面上，成对设置有水平地支承半导体晶片的左右一对的支承片，该一对支承片在容器主体I的上下方向上以规定的间隔排列。在容器主体I的底板的前部两侧和后部中央，分别安装基板收存容器、具体而言将容器主体I定位的定位件。在容器主体I的底板上，安装供感应及固定的底部板，该底部板使多个定位件分别露出。此外，在容器主体I的两侧壁3的外面上，分别沿前后方向倾斜而伸长形成有能够使手指等干涉的手动手柄4。盖体10如图I所示，具备嵌合到容器主体I的开口的正面内的横长的壳体、将该壳体的开口的正面覆盖的表面板11、和夹设在这些壳体与表面板11之间的上锁机构13而构成。该盖体10的壳体基本上形成为具备框形的周壁的浅底的截面大致盘形，在周壁的上下两侧部上，分别穿孔有上锁机构13用的贯通孔，各贯通孔对置于容器主体I的正面内周的卡止孔。在壳体的背面上，拆装自如地安装弹性地保持半导体晶片的前保持器。该前保持器具备防止盖体10的变形的纵长的框体，在该框体的左右一对的纵棂部上，沿上下排列而一体形成有一边倾斜一边向内向延伸的多个弹性片，在各弹性片上，一体形成有将半导体晶片的前部周缘通过U字槽或V槽保持的较小的保持块。在壳体的背面周缘部上形成有框形的嵌合槽，在该嵌合槽中，紧密嵌合着压接在容器主体I的正面内周上的垫圈。该垫圈以例如耐热性及耐气候性等良好的氟橡胶、硅酮橡胶、各种热塑性弹性体(例如，烯烃类、聚酯类、聚苯乙烯类等)等为成形材料，成形为能够弹性变形的框形。表面板11对应于壳体的开口的正面而形成为横长的平板，在左右两侧部，分别穿孔有上锁机构13用的操作口 12。此外，上锁机构13具备被贯通表面板11的操作口 12的装载端口装置的操作销旋转操作的左右一对的旋转板14、随着各旋转板14的旋转在上下方向上滑动的多个滑动板、和随着各滑动板的滑动从壳体的贯通孔突出而卡止到容器主体I的卡止孔中的可出没的多个卡止爪而构成，位于前保持器的前方。 安装机构20 —体地配设在容器主体I的周壁、具体而言容器主体I的顶棚2及侧壁3上，而在本实施方式中对配设在容器主体I的顶棚2上的情况进行说明。该情况下的安装机构20例如通过与容器主体I或盖体10同样的成形材料成形。安装机构20如图I至图5、图8及图9所示，排列而具备多个配设在容器主体I的顶棚2表面的两侧部而相对置的左右一对的支承轨道21，在该多对(例如两对)支承轨道21间拆装自如地支承运送零件30。该多对支承轨道21如图2及图5等所示，经由容器主体I的顶棚2的表面中央部以横向一列排列有大小及长度不同的一对支承轨道21和一对支承轨道21。各一对支承轨道21以支承轨道21与支承轨道21之间的宽度随着从容器主体I的后方(图2的下侧)朝向前方(图2的上侧)逐渐不同(变窄)的方式倾斜成对设置，各支承轨道21弯曲形成为在容器主体I的前后方向上直线延伸的截面大致L字形。在位于多对支承轨道21中的最两侧的支承轨道21的前部间的容器主体I的顶棚2上，隔开间隔形成有多个卡止到运送零件30上的截面大致L字形的止动件22，在位于该多个止动件22间的容器主体I的顶棚2上，隔开间隔排列形成有向容器主体I的前方延伸的左右一对导引片23，在各导引片23的外侧面前部上一体形成有干涉卡合部24。导引片23和干涉卡合部24如图2及图9所示，组合为前部是两股部25的稍稍变形的俯视大致Y字形，导引片23朝向与容器主体I的前后方向交叉的方向、换言之朝向容器主体I的左右方向的中心线、更具体地讲朝向与干涉卡合部24相反的方向逐渐倾斜。干涉卡合部24形成得比导引片23短，比导引片23朝向容器主体I的前方弯曲而伸长，从导引片23的前端部逐渐远离。两股部25没有特别限定，但如图9所示，从防止运送零件30在卡止后简单地在插入方向上脱落的观点看，优选的是在插入方向上倾斜或凹陷形成等。通过这样形成两股部25，能够防止伴随着冲击的运送零件30的未预想到的脱落。运送零件30适当选择机器人凸缘31、左右一对手动手柄4、左右一对侧轨道等，而在本实施方式中，对拆装自如地安装在容器主体I的顶棚2中央部上、被顶棚运送装置把持的机器人凸缘31进行说明。该机器人凸缘31从可靠地支承满载着多片半导体晶片的较重的基板收存容器的观点考虑，通过与容器主体I、盖体10、安装机构20同样的成形材料成形。机器人凸缘31如图I、图3至图9所示，具备滑动配置在安装机构20的多对支承轨道21间的俯视大致中空框形的零件主体32，分别被一对支承轨道21夹持的左右一对被夹持板40从该零件主体32的下端部两侧在水平方向上伸长，在零件主体32的开口的上端部上，水平地一体形成有被顶棚运送装置把持的凸缘44。零件主体32在前后左右具备周壁33，在其内部在前后左右排列配设有与凸缘44一体化而确保强度 的多个加强肋34，在该多个加强肋34中的位于容器主体I的前方侧的左右一对加强肋34上，分别一体形成向前方伸长而与安装机构20的导引片23和干涉卡合部24干涉的可弹性变形的弹性卡合片35。在该零件主体32的周壁33上，穿孔有使流体、即清洗水或空气(参照图4的箭头)等向零件主体32的内外流通的需要数量的流通口 36。各加强肋34形成为以跨越零件主体32的周壁角部的方式一体地架设在周壁内面间的俯视L字形，在与零件主体32的周壁33之间区划出俯视大致矩形的空间。该加强肋34形成得比零件主体32的周壁33低，区划形成使清洗水及空气流通的间隙37，清洗水及空气经由该间隙37和周壁33的流通口 36在零件主体32的内外流通。各弹性卡合片35形成为具有挠性的直线的大致板形，隔开间隙对置于侧方的加强肋34，在前端下部，一体形成有受安装机构20的导引片23导引而与两股部25的干涉卡合部24干涉的圆柱形的锁定销38。在弹性卡合片35的上部，以大致半圆形一体形成有向上方隆起的操作用的把持片39。各被夹持板40基本上形成为与容器主体I的顶棚2表面重叠的平坦的板形，以其两侧面41沿着支承轨道21的倾斜的方式分别逐渐倾斜，从容器主体I的后方向前方滑动而拆装自如地卡合在支承轨道21上，并且嵌合卡止在止动件22上，所需以上的滑动被限制。该被夹持板40穿孔有使清洗水及空气流通的俯视大致跑道形的流通口 42，在背面的前部和两侧部分别排列形成有多个凹凸部43，该多个凹凸部43在与容器主体I的顶棚2之间区划形成使清洗水及空气流通的多个间隙。另外，多个凹凸部43除了被夹持板40的背面以外，还根据需要也适当形成在零件主体32的周壁33的背面等上。凸缘44基本上形成为四角部被倒角的俯视矩形，在中央部形成有螺纹件止动用的凹部45，被顶棚运送装置感应或定位。凹部45形成为大致圆锥台形，与多个加强肋34的弯曲部附近一体化，在中心部的厚度方向上穿孔有螺孔46，通过在该螺子孔46中从上方螺穿由小螺钉等构成的连结件而螺插到容器主体I的顶棚中央部的螺孔5中，能够将机器人凸缘31固定。在凸缘44上，分别排列而穿孔有连通到零件主体32内的多个流通口 47和方孔48，弹性卡合片35分别可视觉辨认、可操作地从该多个方孔48中的、位于容器主体I的前方侧的左右一对方孔48露出。该露出的弹性卡合片35随着与安装机构20的导引片23的接触，在与机器人凸缘31的滑动方向正交的方向、即容器主体I的左右方向上挠曲而变形，但进行调节以使其与区划方孔48的内侧边49的距离D为挠曲量的范围内(参照图3)。在凸缘44的从零件主体32的周壁33伸出的周缘部的前后左右，隔开间隔排列形成有定位用的多个V槽50。此外，在凸缘44的表面的前方和左右，隔开间隔排列形成有多个弯曲槽51。
在上述结构中，在将作为运送零件30的机器人凸缘31安装到容器主体I的安装机构20上的情况下，在容器主体I的顶棚2后方配置机器人凸缘31，使机器人凸缘31的被夹持板40分别夹持在安装机构20的多对支承轨道21间并向容器主体I的前方滑动，将机器人凸缘31的被夹持板40前部卡止到各止动件22上，防止机器人凸缘31向上方脱落。此时，由于安装机构20的多对支承轨道21在容器主体I的前后方向上倾斜，所以能够通过简单的结构防止机器人凸缘31相对于容器主体I的位置偏差及晃动。因而，能够使机器人凸缘31适当地滑动到规定的部位。此外，由于机器人凸缘31的被夹持板40的侧面41也对应于支承轨道21的倾斜而倾斜，所以不会弄错设置机器人凸缘31时的朝向。如果机器人凸缘31向前方滑动，则如图9所示，机器人凸缘31的弹性卡合片35分别滑动接触在安装机构20的倾斜的一对导引片23上而被导引，一对弹性卡合片35向相互不同的方向、具体而言向容器主体I的左右方向内侧分别挠曲而变形后，各弹性卡合片35越过导引片23的前部，使锁定销38与导引片23和干涉卡合部24的分支的两股部25、SP夕卜侧的干涉卡合部24干涉。
此时，如果弹性卡合片35要过大地向容器主体I的内侧挠曲而变形，则由于接触在接近的加强肋34上、其变形被限制(参照图7)，所以能够有效地防止弹性卡合片35的伴随着过度的变形的损伤。如果这样锁定销38干涉而卡合到各两股部25的干涉卡合部24中，则挠曲的各弹性卡合片35复原为原来的状态，能够将机器人凸缘31牢固地安装到容器主体I的安装机构20上。接着，在将安装在容器主体I的安装机构20上的机器人凸缘31拆下的情况下，从上方将手指插入到机器人凸缘31的方孔48中，将各弹性卡合片35的把持片39向方孔48的内侧边49方向推压操作，使各弹性卡合片35向容器主体I的左右方向内侧挠曲而变形，将干涉卡合部24与锁定销38的干涉解除。如果将干涉卡合部24与锁定销38的干涉解除，则只要使机器人凸缘31向容器主体I的后方滑动、将多对支承轨道21与机器人凸缘31的被夹持板40的夹持关系解除，就能够将机器人凸缘31从容器主体I的安装机构20拆下。根据上述结构，仅通过将弹性卡合片35的把持片39向方孔48的内侧边49方向操作、使弹性卡合片35向容器主体I的左右方向内侧挠曲变形就可以，所以完全不需要对弹性卡合片35施加较大的外力而勉强使其变形。因而，能够使机器人凸缘31相对于安装机构20的拆卸作业的作业性显著提高。此外，由于弹性卡合片35的挠曲量较小，所以即使多次将弹性卡合片35安装拆卸，也能够将弹性卡合片35变形而容易脱落的可能性有效地排除。此外，由于将手指插入到方孔48中而操作弹性卡合片35的把持片39、使弹性卡合片35挠曲，所以给操作带来障碍的情况很少，不会导致作业性及操作性的下降。此外，由于在机器人凸缘31的零件主体32、一对被夹持板40、凸缘44上分别穿孔有多个流通口 36、42、47，并且在各被夹持板40上形成有多个凹凸部43，所以即使将基板收存容器的容器主体I通过清洗水清洗，清洗水残留、或干燥用的空气的流通性下降的情况也非常少。因而，能够使容器主体I在短时间内干燥。进而，由于在容器主体I中残留清洗水的情况非常少，所以能够抑制防止水滴痕迹残留、或从容器主体I的成形材料产生挥发性的有机气体而附着到半导体晶片上。进而，能够将因有机化合物盐的生成而成为污染及腐蚀源的可能性排除。接着，图10是表示本发明的第2实施方式的图，在此情况下，在容器主体I的两侧壁3的外面上分别上下离开而配设安装机构20和侧轨道52，在各安装机构20上作为运送零件30而拆装自如地安装手动手柄4。各安装机构20具备配设在容器主体I的侧壁3表面上且相互对置的上下一对支承轨道21，在该一对支承轨道21间拆装自如地支承着运送零件30。该一对支承轨道21以支承轨道21与支承轨道21之间的宽度随着从容器主体I的后方朝向前方逐渐变窄的方式倾斜成对设置，各支承轨道21弯曲形成为沿容器主体I的前后方向直线延伸的截面大致L字形。在位于一对支承轨道21间的容器主体I的侧壁3表面上，隔开间隔排列形成有向容器主体I的前方延伸的导引片23，在导引片23的外侧面前部一体形成有干涉卡合部24。 导引片23和干涉卡合部24组合为前部为两股部25的稍稍变形的俯视大致Y字形，导引片23朝向与容器主体I的前后方向交叉的方向、换言之朝向与干涉卡合部24相反的上下方向逐渐倾斜。另外，在容器主体I的各侧壁3上，根据需要，适当形成卡止到手动手柄4的前部上的截面大致L字形的多个止动件22。手动手柄4具备从容器主体I的后方(图10的右侧)向前方滑动而配置在安装机构20的一对支承轨道21间的俯视大致梯形的零件主体53，在该零件主体53的背面后部经由加强肋34 —体形成有可弹性变形的弹性卡合片35,该弹性卡合片35向前方伸长,与安装机构20的导引片23及干涉卡合部24干涉。零件主体53形成为例如与容器主体I的侧壁3对置的截面大致帽形的板，其两侧面54以沿着支承轨道21的倾斜的方式逐渐倾斜，在前部，穿孔有使清洗水及空气流通的流通口 36，在后部，穿孔有使弹性卡合片35可视觉辨认、可操作地露出的方孔48。在该零件主体53的表面的前后部分别配设有支柱部55，在该一对支柱部55间架设有握持用的把手56。在零件主体53的背面的两侧部等分别有选择地排列形成有多个凹凸部43，该多个凹凸部43在与容器主体I的侧壁3之间区划形成使清洗水及空气流通的多个间隙。此夕卜，弹性卡合片35形成为有挠性的直线的大致板形，隔开间隙对置于加强肋34，在前端下部，一体形成被安装机构20的导引片23导引而与干涉卡合部24干涉的圆柱形的锁定销38。在弹性卡合片35的上部，有选择地形成隆起的操作用的把持片39。另外，加强肋34根据需要而在零件主体53的背面后部一体形成为大致井字形、大致I字形、大致H字形、大致L字形、大致T字形等，至少一部分经由间隙对置于弹性卡合片35的侧面。在上述结构中，在容器主体I的安装机构20上安装作为运送零件30的手动手柄4的情况下，在容器主体I的侧壁3后方配置手动手柄4，使手动手柄4的零件主体53夹持在安装机构20的一对支承轨道21间，向容器主体I的前方滑动，防止手动手柄4的脱落。此时，由于安装机构20的一对支承轨道21倾斜，所以能够使手动手柄4适当地滑动到规定的部位。此外，由于零件主体53的两侧面54也对应于支承轨道21的倾斜而倾斜，所以不会弄错设置手动手柄4时的朝向。
如果手动手柄4向前方滑动，则手动手柄4的弹性卡合片35滑动接触在安装机构20的倾斜的一对导引片23上而被导引，弹性卡合片35在容器主体I的上下方向上挠曲而变形后，弹性卡合片35越过导引片23的前部，使锁定销38与导引片23和干涉卡合部24的两股部25、即干涉卡合部24干涉。此时，如果弹性卡合片35要过度地挠曲而变形，则接触在接近的加强肋34上而其变形被限制，所以能够有效地防止弹性卡合片35的伴随着过度的变形的损伤。如果锁定销38与两股部25的干涉卡合部24干涉，在挠曲的弹性卡合片35复原为原来的状态，能够将手动手柄4牢固地安装到容器主体I的安装机构20上。接着，在将安装在容器主体I的安装机构20上的手动手柄4拆下的情况下，将手指插入到手动手柄4的方孔48中而操作弹性卡合片35，使弹性卡合片35在容器主体I的上下方向上挠曲而变形，将干涉卡合部24与锁定销38的干涉解除。
如果将干涉卡合部24与锁定销38的干涉解除，则只要使手动手柄4向容器主体I的后方滑动、将一对支承轨道21与手动手柄4的夹持关系解除，就能够从容器主体I的安装机构20将手动手柄4拆下。关于其他部分，与上述实施方式大致同样，所以省略说明。在本实施方式中，也能够期待与上述实施方式同样的作用效果，并且，显然能够实现安装机构20及运送零件30的结构的多样化。另外，也可以在上述实施方式的容器主体I的两侧壁3下部分别配设安装机构20、在各安装机构20上作为运送零件30而拆装自如地安装侧轨道52。此外，也可以在位于多对支承轨道21之间的容器主体I的顶棚2表面上在前后方向上切开形成左右一对的嵌合槽，在零件主体32的周壁33下端部上形成嵌合到顶棚2的各嵌合槽中的嵌合片。此外，在上述实施方式中将安装机构20的支承轨道21形成为截面大致L字形，但也可以将支承轨道21弯曲形成为截面大致J字形或大致T字形。此外，也可以使安装机构20的支承轨道21的数量为I条、或适当增加为3条或4条。此外，也可以在容器主体I的顶棚2或侧壁3上形成截面大致L字形、大致J字形、大致T字形的槽，将该槽作为支承轨道部。也可以对应于它而在运送零件30的零件主体32、53或被夹持板40上突出形成凸部、使该凸部拆装自如地嵌合到支承轨道部中。此外，也可以相对于运送零件30的锁定销38脱离的方向将安装机构20的导引片23形成为倒锥形。进而，运送零件30的零件主体32、53除了框形及板形以外，可以形成为环形等。产业上的可利用性
有关本发明的基板收存容器能够在液晶及半导体等的制造领域中使用。附图标记说明 I容器主体
2顶棚(周壁)
3侧壁(周壁)
4手动手柄(运送零件)
10盖体 20安装机构
21支承轨道(支承轨道部)
22止动件23导引片24干涉卡合部25两股部30运送零件
31机器人凸缘(运送零件)32零件主体33周壁
34加强肋(变形限制部)
35弹性卡合片36流通口37间隙 38锁定销(突部)
39把持片40被夹持板41侧面42流通口43凹凸部44凸缘47流通口48方孔(操作孔)
49内侧边
52侧轨道(运送零件)
53零件主体54侧面。
权利要求
1.一种基板收存容器，在收存基板的容器主体上设置安装机构，在该安装机构上拆装自如地安装运送零件，其特征在于， 安装机构包括设在容器主体的周壁上的支承轨道部、设在容器主体的周壁上的导引片、和形成在该导引片上的干涉卡合部，导引片与干涉卡合部组合而将其前部形成为两股部; 运送零件具备被安装机构的支承轨道部支承的零件主体，在该零件主体上，设有流体用的流通口，并且设有被安装机构的导引片导引的弹性卡合片，使该弹性卡合片与安装机构的导引片和干涉卡合部的两股部干涉。
2.如权利要求I所述的基板收存容器，其特征在于，安装机构包括设在容器主体的周壁上、钩挂到运送零件上的止动件。
3.如权利要求I或2所述的基板收存容器，其特征在于，将容器主体形成为正面开口的前开盒，将安装机构的导引片朝向容器主体的前后方向，在其侧面上形成干涉卡合部，并且使导引片在与容器主体的前后方向交叉的方向上倾斜，对于运送零件的弹性卡合片赋予接触在安装机构的导引片上而挠曲的挠性，在该弹性卡合片上，形成有与安装机构的干涉卡合部干涉的突部。
4.如权利要求3所述的基板收存容器，其特征在于， 使安装机构的支承轨道部为多个而对置，使该对置的多个支承轨道部分别以支承轨道部间的距离随着从容器主体的后方朝向前方而变短的方式倾斜，将安装机构的导引片设在多个支承轨道部间，使其朝向容器主体的左右方向的中心线倾斜； 将运送零件的零件主体形成为中空，在其内部内装弹性卡合片，在零件主体的两侧部，分别形成被安装机构的多个支承轨道部夹持的被夹持板，使各被夹持板的侧面以沿着支承轨道部的倾斜的方式倾斜，在零件主体的上部形成凸缘，并且在该凸缘上设有使弹性卡合片露出的操作孔，在多个被夹持板和凸缘的至少某个上设有流体用的流通口。
5.如权利要求3所述的基板收存容器，其特征在于， 使安装机构的支承轨道部为多个而对置，使该对置的多个支承轨道部分别以支承轨道部间的距离随着从容器主体的后方朝向前方而变短的方式倾斜，将安装机构的导引片设在多个支承轨道部间，使其朝向容器主体的上下方向倾斜； 将运送零件的零件主体形成为大致梯形的板，使其两侧面以沿着支承轨道部的倾斜的方式倾斜，在零件主体的背面上形成弹性卡合片，在零件主体上设有使弹性卡合片露出的操作孔。
6.如权利要求4或5所述的基板收存容器，其特征在于， 在零件主体和被夹持板的至少某一个的背面上形成凹凸部，所述凹凸部在与容器主体的周壁之间区划间隙； 在零件主体上形成有变形限制部，所述变形限制部限制伴随着与安装机构的导引片的接触的弹性卡合片的过度的变形。
全文摘要
提供一种使运送零件相对于容器主体的安装机构的安装作业的作业性提高、能够将运送零件容易从安装机构脱落的可能性排除、抑制在安装机构及运送零件上残留清洗水等液体的基板收存容器。一种基板收存容器，在半导体晶片收存用的容器主体(1)的顶棚(2)上设置安装机构(20)，在安装机构(20)上拆装自如地安装作为运送零件(30)的机器人凸缘(31)，安装机构(20)具备在顶棚(2)上成对设置的多对支承轨道(21)、设在顶棚(2)上的多个导引片(23)、和形成在各导引片(23)上的干涉卡合部(24)，将导引片(23)和干涉卡合部(24)组合，将其前部形成为两股部(25)。此外，运送零件(30)具备支承在多对支承轨道(21)间的零件主体(32)，在零件主体(32)上穿孔流体用的流通口(36)，并且内置与两股部(25)干涉的可弹性变形的弹性卡合片(35)。
文档编号H01L21/673GK102792435SQ20118001234
公开日2012年11月21日 申请日期2011年2月24日 优先权日2010年3月4日
发明者小川统 申请人:信越聚合物株式会社