专利名称：3d芯片tsv互连的内建自测试及内建自修复技术的制作方法
技术领域：
本发明公开了一种3D芯片TSV(硅穿孔)互连的内建自测试及内建自修复技术。具体是指在3D芯片上电复位后(Power-on Reset)，内建自测试电路开始工作，对TSV进行分组测试，并根据测试结果生成相应的TSV配置信息，然后调用内建自修复电路对TSV进行配置，当完成所有TSV的测试及配置后，电路既可进入正常工作。
背景技术：
随着器件尺寸的缩小以及电路规模的增大，互连线所带来的延迟及功耗问题越来越严重，事实上，这已成为制约电路性能的最主要瓶颈。3D芯片通过硅穿孔技术实现多层硅片的垂直互连，增大了设计空间，提高了设计的灵活性，同时也能减小芯片面积，提高电路工作速度，降低电路的功耗。近年来，TSV工艺取得了重大进步，国外已经有3D芯片问世，产品包括3D CMOS传感器、3D FPGA、3D RAM等。但是，为了实现3D芯片的商业化生产，还有许多难题需要解决，例如3D芯片的测试、成品率的控制等。TSV是实现芯片垂直互连的关键技术，在现有的工艺条件下，TSV的制造(fabrication)、对准(alignment)、键合(bonding)过程都有可能引入与TSV相关的故障，因此，TSV的测试就尤为重要。针对TSV的测试，目前比较可行的方案是在键合后测试(post-bond test)阶段，通过TSV互连测试来实施。Erik Jan Marinissen等提出了一种基于边界扫描的解决方案，对每一个TSV连接一个扫描单元，通过边界扫描方式来进行TSV互连测试，但是这种方案的硬件开销较大。Yu-Jen Huang等提出了一种内建自测试的方案，这种方案只考虑了 TSV互连的测试，因此不用每一个TSV都连接一个扫描单元，而是将TSV配置为类似于存储器的阵列，通过BIST对TSV阵列进行逐行测试，从而可以将硬件开销大大降低，同时也可以节省测试成本。另外，针对存在故障的TSV，如果不采取措施，将导致整个芯片的失效。而且随着TSV数量的增加(TSV密度的增加以及叠加芯片层数目的增加)，TSV故障对芯片成品率及芯片成本的影响将相应增大。针对TSV故障所导致的芯片良率损失,Ang-Chih Hsieh等提出了冗余(redundancy)技术,通过增加冗余的TSV作为备用的信号通道,对有故障的TSV通道进行替换,从而实现TSV的修复。Hung-Yen Huang等提出了一种针对TSV互连的内建自测试及内建自修复方案，通过将TSV等效为RC模型进行充放电测试，是一种模拟测试技术，但是TSV的RC模型的准确性还有待论证。因此，本发明提出了一种针对TSV互连的内建自测试及内建自修复技术，这种技术能克服当前TSV互连测试技术的缺陷，并且能提闻芯片的成品率
发明内容
本发明的目的是提供一种针对3D芯片TSV互连的内建自测试及内建自修复的方法，以解决当前3D芯片TSV测试的难题，并通过冗余替换策略，提高芯片的成品率。为了达到上述目的，本发明公开了一种集TSV内建自测试及TSV内建自修复于一体的DFT技术，主要包括两大部分，TSV内建自测试电路(BIST)以及TSV内建自修复电路(BISR)。其中BIST部分包括以下几部分BIST控制器、测试向量生成及发送单元、地址计数及译码单元、测试响应分析单元；BISR包括以下几部分BISR控制器、TSV映射单元、TSV冗余分析单元。BIST控制器用于控制BIST电路中其它模块的工作，测试向量生成及发送单元用于生成测试向量并对输出TSV施加测试激励信号，地址计数及译码单元用于选择被测试的TSV行，测试响应分析单元与输入TSV相连以捕获来自另一层的测试信号并生成相应的故障诊断信息；BISR控制器用于控制BISR电路中其它模块的工作，TSV映射单元用于实现信号与TSV通道之间的映射，TSV冗余分析单元根据故障诊断信息生成相应的配置信息以实现对TSV映射单元的正确配置。在每一层需要叠加的芯片上，都需要有上述相应的电路。应用了本发明的3D芯片如图I所示。以两层为例，芯片层101及102通过TSV实现垂直互连，111及112分别为TSV信号通道及TSV冗余通道，121及122为测试专用TSV通道，用于配置信息在相邻芯片层的传递。单层芯片的BIST及BISR的平面视图如图2所示。201为输出TSV，202为输入TSV (仅用来说明该方案，可能有更多TSV)。每一个输出TSV连/接一个MUX (211)，每一个输入TSV连接一个三态缓冲器(212)，MUX选择控制信号以及三态缓冲器输出使能信号由地址计数器经过译码生成。测试向量生成及发送单元通过MUX连接至输出TSV，输入TSV通过三态缓冲器连接至测试响应分析单元。地址译码器某一位输出为I时，将同时选择一行输入TSV及一行输出TSV,测试向量施加至被选中的输出TSV行,通过该行TSV传输至另一层芯片的测试响应分析单元，同理，测试响应分析单元通过被选中的输入TSV行接收来自另一层的测试向量。完成选中行TSV的测试之后，将由TSV冗余分析单元生成配置信息，然后写入到被测TSV的映射控制寄存器里，同时地址计数器自增，开始进行下两行TSV的测试及修复工作。基本的测试流程如图3所示首先将TSV分类为输入TSV(Inward TSV)及输出TSV (Outward TSV)，然后按照N个一组将TSV分为M组，这样可以将TSV排列为类似于M行N列的存储器阵列，每一组包括N-I个信号TSV通道及一个冗余TSV通道。在接收到POR(Power-On Reset，上电复位)信号之后，所有芯片层上的BIST及BISR同时开始协同工作，以其中一层为例来做说明相应的工作流程1)通过地址计数及译码单元，同时选择一组输入TSV及一组输出TSV，作为下一次测试的对象；2)测试向量生成及发送单元开始生成测试向量并对输出TSV施加测试激励，并通过移位操作将测试向量(即期望的测试响应)送入测试响应分析单元；3)测试响应分析单元捕获来自另一层的测试信号，并与期望的测试响应进行比较，并生成相应的TSV故障信息；4)如果所有的测试向量均已测试，进入5)，否则进入2) ；5)如果一组TSV的故障数目<2，那么冗余分析单元根据TSV故障信息生成相应的配置信息，并通过移位操作对发送端及接收端的TSV映射单元进行配置，同时进入6)，否则生成电路故障信号并终止测试及修复工作；6)如果所有的TSV均已测试及修复完毕，电路回归到正常工作状态，否则进入I)选取下两组TSV进行测试及修复。相对于传统的TSV测试方案，本发明具有以下优点I.减小了对ATE设备的依赖。传统的TSV测试方案大都基于IEEE 1149. I或IEEE1500标准，即对每个TSV连接一个边界扫描单元，通过ATE设备施加测试向量，当TSV数量很大时，这种测试方案将会显著增加芯片的成本。该发明利用内建自测试电路对TSV互连进行测试，因此可大大减小对ATE设备的依赖。
2.提高芯片的成品率。本发明采用软修复(soft repair)策略，即每次在芯片上电复位后，芯片上的BIST(内建自测试电路)即开始工作，并根据测试结果，调用BISR(内建自修复电路)对有故障的TSV进行冗余替换。这种软修复策略具有较强的灵活性，根据文献[5]的分析，对于中等规模的3D电路(TSV数量< 10000)，只需每50个TSV分配一个冗余的TSV，就能将芯片良率提高至99. 4以上。
图ITSV内建自测试及内建自修复系统三维结构2TSV内建自测试及内建 自修复系统单层平面结构3内建自测试电路及内建自修复电路的工作流程图4BIST主控制器状态转移5BISR主控制器状态转移6TSV映射电路结构I测试响应分析及冗余分析电路结构图
具体实施例方式以下结合附图详细描述本发明所提供的3D芯片TSV互连的内建自测试及内建自修复技术。该技术主要包括两大部分，TSV内建自测试电路(BIST)以及TSV内建自修复电路(BISR)。其中BIST部分包括以下几部分BIST控制器、测试向量生成及发送单元、地址计数及译码单元、测试响应分析单元；BISR包括以下几部分BISR控制器、TSV映射单元、TSV冗余分析单元。以下结合
主要模块的设计及实现I. BIST主控制器用于控制BIST电路中其它模块的工作，其状态转移图如图4所示。在接收到上电复位信号(Power on Reset)之后，控制器进入INITIALIZE状态，完成相关的初始化工作。然后进入FETCH_PAT状态，选择一个测试向量(测试向量可内置于ROM中，也可以由有限状态机生成)。随之进入SHIFT_PAT状态，将测试向量写入测试向量发送单元(TPT)及测试响应分析单元(TRA)，将整个测试向量写入之后(一行TSV的数目决定了测试向量的长度，从而决定了 SHIFT_PAT的循环次数)，控制器进入UPDATE_PAT状态(当需要覆盖时序相关的故障时，需要增加这个状态)，然后进入CAPTURE_PAT状态，用以接收测试激励信号。若已完成了所有测试向量的测试，则控制器进入ADDR_INC状态，地址自增，选择下两组TSV进行测试，否则控制器进入FETCH_PAT状态，选取下一个测试向量进行测试。当完成所有TSV的测试工作之后，控制器进入END状态，电路可正常工作(需要说明的是，在任何状态下，当发现不可修复的故障时，控制器将进入TERMINATE状态，终止测试过程，此处为了状态图简单起见，省略了这部分)。2. BISR主控制器用于控制BISR电路中其它模块的工作，其状态转移图如图5所示。在接收到上电复位信号(Power on Reset)之后，控制器进入INITIALIZE状态，完成相关的初始化工作。然后进入WAIT状态循环，等待BIST电路完成一个测试向量的扫描、发送、捕获过程，随之进入C0NFIG_GEN状态，根据测试结果生成相应的配置信息。随后进入C0NFIG_SHIFT状态，将生成的配置信息通过扫描方式写入到被测行的TSV配置寄存器。若完成了所有TSV的修复工作，则控制器进入END状态，否则控制器进入WAIT状态，开始下一组待测TSV的配置工作。(与BIST主控制器相同，在任何状态下，当发现不可修复的故障时，控制器将进入TERMINATE状态，终止修复过程，此处为了状态图的简单起见，省略了这部分)。3.测试响应分析单元及冗余分析单元用以分析测试结果并根据测试结果生成TSV冗余配置信息，其实现方式如图6所示。在开始每一行TSV的测试时，由于只是互连测试，发送端的测试向量同时也是接收端所期望的测试响应，因此在施加每一个测试向量时， 需要将测试向量同时写入测试向量发送单元及测试响应分析单元(通过控制MUX￠02)以使D触发器(603)工作在扫描模式)，测试响应分析单元将接收到的测试响应与存储的期望值进行“按位异或”操作(通过“异或”逻辑门601实现)，生成相应的故障信息，如果不存在故障，则所有的故障标示位均为0，如果某一个TSV存在故障，导致接收到的测试信号与期望值不相同，异或操作就会将该TSV对应的故障标示位置I。TSV冗余分析器用于根据测试响应分析器生成的故障信息，生成相应的映射控制信息，用于对被测TSV行进行正确配置，以实现对有故障的TSV进行冗余替换。冗余分析器直接连接在测试响应分析器之上，在开始每一行TSV的测试时，将D触发器￠13)复位，每施加一个测试向量，测试响应分析器将得到一组故障信息，将此故障信息与之前已施加向量对应的故障信息进行“按位或”操作(通过“或”逻辑门611实现)，以得到累积的故障信息。当施加完所有的测试向量之后，将得到被测TSV行的完整故障信息。然后使TSV冗余分析器工作在扫描模式(通过控制MUX (612)实现)，将映射控制信息写入到被测TSV行的映射控制寄存器，完整的配置信息在移位过程中生成(通过“或”逻辑门621实现)。如果故障数目彡2，则“与”逻辑门631输出将为1，表明存在不可修复的故障。由于映射控制信息既需要写入到发送端的配置寄存器，也需要写入到接收端的配置寄存器，因此相邻芯片层之间需要增加两个额外的TSV通道，用于两层芯片之间配置信息的传递。4. TSV映射电路用以实现功能信号与TSV通道之间的映射，从而实现冗余替换。映射控制信息的生成可以有多种方式，以其中一种为例，如图7,每一个MUX连接一个D触发器(其中701代表发送端MUX，702代表接收端MUX，711代表发送端配置寄存器，712代表接收端配置寄存器)，通过扫描方式将控制信息写入D触发器，从而实现对TSV的正确配置。将低位TSV对应的配置寄存器置于扫描链的前端(图中的右端)，将高位TSV对应的配置寄存器置于扫描链的后端(图中的左端)。上述各实施例仅用于说明本发明，其中各模块的具体实现都是可以有所变化的，凡是在本发明技术方案的基础上进行的等同变换和改进，均不应排除在本发明的保护范围之外。
权利要求
1.一种针对3D芯片TSV互连的内建自测试及内建自修复的技术，包括有内建自测试模块用于对TSV进行测试并生成相应的故障诊断信息，以及内建自修复模块用于对存在故障的TSV进行冗余替换，其特征在于 在芯片上电复位后，内建自测试电路即开始工作，对TSV进行分组测试，并调用内建自修复电路，根据故障信息对TSV映射电路进行正确配置，当完成所有TSV的测试及配置之后，电路既可进入正常工作状态。
2.根据权利要求I所述的一种针对3D芯片TSV互连的内建自测试系统及其方法，其特征在于 对TSV进行分组测试，在测试某一组TSV时，施加多个测试向量，并根据测试结果生成相应的故障诊断信息，完成一组TSV的测试后，既可开始下一组TSV的测试，直至所有的TSV测试完毕。
3.根据权利要求I所述的一种针对3D芯片TSV互连的内建自修复系统及其方法，其特征在于 采用软修复策略，即芯片每次上电复位后，将自动完成TSV的配置工作，以实现对存在故障的TSV进行冗余替换。当完成一组TSV的测试之后，根据故障诊断信息对控制MUX的D触发器进行正确配置，当完成所有TSV的配置之后，电路即可进入正常工作状态。
4.根据权利要求2所述的测试响应分析系统及其方法，其特征在于 测试响应分析单元与输入TSV阵列连接，将接收到的测试响应与存储的期望值进行“按位异或”操作，生成相应的故障信息，如果不存在故障，则所有的故障标示位均为O，如果某一个TSV存在故障，导致接收到的测试信号与期望值不相同，异或操作就会将该TSV对应的故障标示位置I。
5.根据权利要求3所述的冗余分析系统及其方法，其特征在于 TSV冗余分析器与测试响应分析单元连接，用于根据测试响应分析器生成的故障信息，生成相应的配置信息，从而对TSV映射单元进行正确配置，以实现对有故障的TSV进行冗余替换。在开始每一行TSV的测试时，将D触发器复位，每施加一个测试向量，测试响应分析器将得到一组故障信息，将此故障信息与之前已施加向量对应的故障信息进行“按位或”操作，以得到累积的故障信息。当施加完所有的测试向量之后，将得到被测TSV行的完整故障信息，即所需要的配置信息。然后使TSV冗余分析器工作在扫描模式，将配置信息写入到被测TSV行的映射控制寄存器。
6.根据权利要求3所述的TSV映射系统及其方法，其特征在于 TSV映射电路用于实现冗余替换。由于本发明采用软修复(soft repair)策略，配置信息存储在D触发器中，每一个MUX连接一个D触发器，通过扫描方式将配置信息写入D触发器，从而实现对TSV的正确配置。将低位TSV对应的配置寄存器置于扫描链的前端，将高位TSV对应的配置寄存器置于扫描链的后端。
全文摘要
本发明涉及一种3D芯片TSV(硅穿孔)互连的内建自测试及内建自修复技术。具体是指在芯片设计阶段，插入相应的内建自测试及内建自修复电路，并设计冗余TSV通道。3D芯片上电复位后(Power-on Reset)，内建自测试电路即开始工作，对TSV进行分组测试，根据测试结果生成相应的TSV配置信息，然后调用内建自修复电路对TSV映射电路进行配置，同时开始下一组TSV的测试。当完成所有TSV的测试及配置后，电路既可进入正常工作。该技术能解决目前3D芯片中TSV互连测试的难题，并能通过冗余替换策略，提高3D芯片的成品率；且该技术减小了3D芯片测试对ATE设备的依赖，降低了3D芯片的测试成本；另外该技术独立于具体的芯片功能，因此能够普遍应用于基于TSV的3D芯片，具有较强的实用性。
文档编号H01L21/66GK102655101SQ20121009062
公开日2012年9月5日 申请日期2012年3月30日 优先权日2012年3月30日
发明者冯建华, 谭晓慧 申请人:北京大学