专利名称：一种台阶结构的高亮度发光二极管的制作方法
技术领域：
本发明属于半导体技术领域，特别涉及一种台阶结构的高亮度发光二极管。
背景技术：
半导体发光二极管应用日益广泛，特别是在照明方面有取代白炽灯和荧光灯的趋势，但是目前还面临一些技术上的问题，特别是光取出效率比较低。这导致了发光二极管的亮度不足等缺陷。近年来，为了提高发光二极管的亮度，发展了垂直结构的发光二极管，相对于正装结构的发光二极管来说，垂直结构的发光二极管诸多优点。垂直结构发光二极管的两个电极分别处于发光二极管的两侧，电流几乎全部垂直流过外延层，没有横向流动的电流，因此电流分布均匀，产生的热量相对较少。并且由于垂直结构的两个电极处于两侧，因此出光过程中不会受到同侧电极的阻挡，其出光效率更高。现在较为常见的GaN基发光二极管的结构在蓝宝石衬底上依次具有GaN缓冲层、η型掺杂的GaN层、InGaN/GaN多量子阱、ρ型掺杂的AlGaN层和ρ型掺杂的GaN层、η型欧姆接触层，在衬底下具有P型欧姆接触层，这种结构存在以下明显缺点:由于纤锌矿结构的GaN总是沿着
或者
方向垂直于衬底生长，而这两个方向恰恰是极性轴方向，因此GaN基材料会表现出强烈的晶格极化，这导致InGaN/GaN多量子阱区强烈的极化效应。
发明内容
本发明针对现有技术的问题，提出了一种量子阱材料交替变化的台阶结构的发光二极管，通过这种量子阱材料交替变化的结构，增强了对电子和空穴的限制作用，有效提高了发光二极管的发光效率，从而有效提高发光二极管的亮度。首先对本发明所采用的“上”、“下”进行定义，在本发明中，通过参照附图，本发明所述的“上”为附图中面向附图时垂直向上的方向。本发明所述的“下”为附图中面向附图时垂直向下的方向。
本发明提出的发光二极管结构为:在蓝宝石衬底上依次具有低温缓冲层、η型掺杂的 Alatl5Inatl5Gaa9N 层、交替形成的超晶格结构的 I1-Alatl5Inaci5Gaa9NA1-AIaci5Inaci5Gaa9P多量子阱层、P型掺杂的AlGaN层、ρ型掺杂的Inatl5Gaa95N层、交替形成的超晶格结构的P-1n0.!Ga0 95N/p-1n0^Ga0 95Ρ多量子讲层,第一透明金属层以及ρ型电极，其中在所述η型掺杂的Alatl5Inatl5Gaa9N层上具有第二透明金属层以及η电极。其中，交替形成的n_Al0.05In0.05Ga0.9N/n_A10.05In0.05Ga0.9P多量子阱层的具体结构为:先形成I1-Alaci5Inatl5Gaa9N多量子阱层，然后在该I1-Alatl5Inatl5Gaa9N多量子阱层上形成n-A10.05In0.05Ga0.9P多量子阱层，以该两层作为一个周期，共形成8_15个周期；其中，交替形成的超晶格结构的p-1nQ.!Ga0.95N/p-1n0.fa。.95P多量子阱层的具体结构为:先形成P-1naiGaa95N多量子阱层，然后在该P-1naiGaa95N多量子阱层上形成P-1naiGaa95P多量子阱层，以该两层作为一个周期，共形成15-25个周期。
其中，第一透明金属层和第二透明金属层的材料为ΙΤ0。
附图1为本发明提出的高亮度发光二极管结构示意图。图2为附图1中的局部放大示意图。图3为附图1中的局部放大示意图。
具体实施例方式实施例1参见图1-3，本发明提出的发光二极管结构为:在蓝宝石衬底2上依次具有低温缓冲层3、η型掺杂的Alatl5Inatl5Gaa9N层4、交替形成的超晶格结构的I1-Alatl5Inatl5Gaa9N/n-A10.05In0.05Ga0.9P多量子阱层5、ρ型掺杂的AlGaN层6、ρ型掺杂的Inatl5Gaa95N层7、交替形成的超晶格结构的P-1naiGaa95NziP-1naiGaa95P多量子讲层8,第一透明金属层9以及ρ型电极10,其中在所述η型掺杂的Alatl5Inatl5Gaa9N层4上具有第二透明金属层11以及η电极I。其中，交替形成的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-A10.05In0.05Ga0.9P多量子阱层5的具体结构为:先形成n-AlQ.05In0.05Ga0.9N多量子阱层501，然后在该n_Ala 05In0.05Ga0.9N多量子阱层501上形成I1-AIaci5Inatl5Gaa9P多量子阱层502，以该两层501和502作为一个周期，共形成8_15个周期；其中，交替形成的超晶格结构的P-1naiGaa95NziP-1naiGaa95P多量子阱层8的具体结构为:先形成P-1na Aaa95N多量子阱层801，然后在该ρ_Ιηα Aaa95N多量子阱层801上形成P-1naiGaa95P多量子阱层802，以该两层作为一个周期，共形成15-25个周期。其中，第一透明金属层和第二透明金属层的材料为ΙΤ0。实施例2下面介绍本发明的优选实施例，该优选实施例为本发明提出的发光二极管结构中，亮度最优的结构。参见图1-3，本发明提出的发光二极管结构为:在蓝宝石衬底2上依次具有低温缓冲层3、η型掺杂的Alatl5Inatl5Gaa9N层4、交替形成的超晶格结构的I1-Alatl5Inatl5Gaa9N/n-A10.05In0.05Ga0.9P多量子阱层5、ρ型掺杂的AlGaN层6、ρ型掺杂的Inatl5Gaa95N层7、交替形成的超晶格结构的P-1naiGaa95NziP-1naiGaa95P多量子讲层8,第一透明金属层9以及ρ型电极10,其中在所述η型掺杂的Alatl5Inatl5Gaa9N层4上具有第二透明金属层11以及η电极I。其中，交替形成的I1-Alaci5Inatl5Gaa9NA1-AIaci5Inaci5Gaa9P多量子阱层5的具体结构为:先形成n-AlQ.05In0.05Ga0.9N多量子阱层501，然后在该n_Ala 05In0.05Ga0.9N多量子阱层501上形成I1-AIaci5Inatl5Gaa9P多量子阱层502，以该两层501和502作为一个周期，共形成10个周期；其中，交替形成的超晶格结构的P-1naiGaa95NziP-1naiGaa95P多量子阱层8的具体结构为:先形成P-1na Aaa95N多量子阱层801，然后在该ρ_Ιηα Aaa95N多量子阱层801上形成P-1naiGaa95P多量子阱层802，以该两层作为一个周期，共形成20个周期。
至此，上述描述已经详细的说明了本发明的发光二极管结构，相对于现有的发光二极管，本发明提出的结构能够大幅度提高发光亮度。前文的描述的实施例仅仅只是本发明的优选实施例，其并非用于限定本发明。本领域技术人员在不脱离本发明精神的前提下，可对本发明做任何的修改，而本发明的保护范围由所附的权利要求来限定。
权利要求
1.一种台阶结构的发光二极管，其特征在于:所述发光二极管的结构为:在蓝宝石衬底上依次具有低温缓冲层、η型掺杂的Alatl5Inatl5Gaa9N层、交替形成的超晶格结构的 n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-A10.05In0.05Ga0.9Ρ 多星子讲层、ρ 型惨杂的 AlGaN 层、ρ 型惨杂的In。.05Ga0.95Ν层、交替形成的超晶格结构的p-1% 95N/p-1n0 iGa0 95P多量子阱层,第一透明金属层以及P型电极，其中在所述η型掺杂的Alatl5Inatl5Gaa9N层上具有第二透明金属层以及η电极。
2.如权利要求1所述的发光二极管，其特征在于: 其中，交替形成的n-Ala Jna05Ga0.9N/n-A10.05In0.05Ga0.9P多量子阱层的具体结构为:先形成I1-Alaci5Inatl5Gaa9N多量子阱层，然后在该I1-Alatl5Inatl5Gaa9N多量子阱层上形成n-A10.05In0.05Ga0.9P多量子阱层，以该两层作为一个周期，共形成8_15个周期，优选为10个周期。
3.如权利要求1或2所述的发光二极管，其特征在于: 其中，交替形成的超晶格结构的P-1na Aaa 95N/p-1n0.^a0.95P多量子阱层的具体结构为:先形成P-1na!Ga0.95N多量子阱层，然后在该p-1na^a0.95N多量子阱层上形成P-1n0.Aaa95P多量子阱层，以该两层作为一个周期，共形成15-25个周期，优选为20个周期。
4.如权利要求1-3任意之一所述的发光二极管，其特征在于: 所述第一透明金属 层和所述第二透明金属层的 材料为ITO。
全文摘要
本发明公开了一种台阶结构的发光二极管，所述发光二极管的结构为在蓝宝石衬底上依次具有低温缓冲层、n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层、交替形成的超晶格结构的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-AI0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层、p型掺杂的AlGaN层、p型掺杂的In0.05Ga0.95N层、交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.95N/p-In0.1Ga0.95P多量子阱层，第一透明金属层以及p型电极，其中在所述n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层上具有第二透明金属层以及n电极。
文档编号H01L33/06GK103178172SQ20131006531
公开日2013年6月26日 申请日期2013年2月28日 优先权日2013年2月28日
发明者童小春 申请人:溧阳市宏达电机有限公司