合并第三反射器的表面发射激光器的制作方法

文档序号:15465701发布日期:2018-09-18 19:17阅读:来源:国知局
技术总结
公开了一种包括设置在激光器光学空腔中的部分反射元件的表面发射激光器结构。垂直外部空腔表面发射激光器(VECSEL)结构包括:泵浦源,其构造为以泵浦波长λpump发射辐射;外部外耦合反射器;分布式布拉格反射器(DBR);以及有源区,其布置在所述DBR与所述外耦合反射器之间。所述有源区构造为以激光波长λlase发射辐射。所述VECSEL结构还包括部分反射元件(PRE),其布置在增益元件与所述外部外耦合反射器之间。所述PRE对于以所述激光波长的辐射而言具有在大约30%和大约70%之间的反射率并且对于以所述泵浦波长的辐射而言具有在大约30%和大约70%之间的反射率。

技术研发人员:J.E.诺尔思拉普;T.万德雷尔;N.M.约翰逊
受保护的技术使用者:帕洛阿尔托研究中心公司
技术研发日:2013.03.21
技术公布日:2018.09.18

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