晶舟固定弹片的制作方法
【专利摘要】一种晶舟固定弹片，设置于一外盒体内，该外盒体还具有一晶舟，该晶舟固定弹片则位于该外盒体内侧与该晶舟的顶侧所夹空间，该晶舟用以承载复数个晶圆，本实用新型的特征在于，其为中空框状，且顶端与底端分别具有一第一连接部与一第二连接部，该第一连接部设有一顶抵柱，以与该外盒体连接固定，该第二连接部则设有一滚轮，并与该晶舟的该顶侧相靠抵，藉由该滚轮的滚动作用，于该晶舟晃动时随之移动，减少搬运中该晶舟因晃动而与该晶舟固定弹片的摩擦，与摩擦后产生的微粒或粉屑，避免污损晶圆，且可延长晶舟与晶舟固定弹片的使用寿命。
【专利说明】晶舟固定弹片
【技术领域】
[0001]本实用新型是关于一种晶舟固定弹片，尤其是可减少与晶舟摩擦，以降低摩擦产生的微粒与粉尘对晶圆造成的损害与影响。
【背景技术】
[0002]现今，晶圆制造业为蓬勃发展的产业之一，晶圆为极薄且布设有高密度电路的硅晶，故自制造到加工完成，皆须特别注意避免撞击造成晶圆的损坏，因此于包装运送时，是将多个晶圆排列设置于晶舟内，再于外侧套设一保护盒，以获得更佳的保护效果。
[0003]一般晶舟的整体高度会略低于外保护盒的高度，故晶舟置入保护盒并固定后，其顶侧会与保护盒内部形成一空间，而为了确实固定晶舟的位置，是于晶舟顶侧与保护盒之间设置弹片组件，利用弹片组件确实稳固晶舟，弹片组件的一侧是连接固定于保护盒，另一侧则与晶舟顶侧呈活动式接触。因此，于搬运移动时，晶舟受冲击后会产生晃动甚或位移，此时除了透过保护盒内的固定装置来限制晶舟移动外，弹片组件亦可达到限位的功用。
[0004]然而，上述设置在长期使用下，弹片组件不停与晶舟顶侧摩擦，同时造成弹片组件与晶舟双方的磨损，并产生磨损微粒或粉屑，除了缩短晶舟及弹片组件的使用寿命外，其产生的微粒与粉屑，亦会对晶圆造成污损。此外，弹片组件除了受到晶舟赋予的水平力外，搬运途中晶舟亦会出现垂直力，当弹片组件受到晶舟顶抵时，容易因受力而断裂或造成晶舟的位移过大，失去限制晶舟位置的效果。
[0005]故本实用新型发明人就其多年从事相关产业的经验，构思一种晶舟弹片装置，希冀可解决上述缺失。
实用新型内容
[0006]本实用新型的一目的，旨在提供一种晶舟固定弹片，其是可减少搬运时，外盒体内放置的晶舟与固定弹片产生的摩擦，借以延长晶舟与弹片的使用寿命，并防止摩擦产生的微粒与碎屑污染晶圆表面造成损伤。
[0007]本实用新型的另一目的，旨在提供一种晶舟固定弹片，其是透过倾斜设计，使该晶舟相对该晶舟固定弹片施加垂直向力道时，该晶舟固定弹片是可顶抵于外盒体并产生形变，借以避免该晶舟固定弹片断裂，并可同时达到缓冲力量的功效。
[0008]为达上述目的，本实用新型的晶舟固定弹片，是设置于一外盒体内部，且该外盒体内是设有一晶舟，该晶舟固定弹片则位于该外盒体内侧与该晶舟的一顶侧间，而该晶舟是用以承载复数片晶圆，其特征在于:该晶舟固定弹片为中空框状，且其顶端与底端分别具有一第一连接部与一第二连接部，该第一连接部设有一顶抵柱，供以与该外盒体连接固定，该第二连接部设有一滚轮，且该滚轮是与该晶舟的该顶侧接触，以减少搬运中该晶舟因晃动而与该晶舟固定弹片摩擦所产生的微粒。
[0009]其中，该晶舟固定弹片为倒梯形的围框，且该第一连接部具有一第一倾斜端与一第二倾斜端，其分别位于该顶抵柱的二侧，并相对水平具有一第一夹角与一第二夹角，且该第一夹角是介于10度~20度，该第二夹角是介于160度~180度。
[0010]此外，该滚轮是透过一转轴固定于该第二连接部，并相对该晶舟滚动，该晶舟固定弹片是选自聚乙烯或尼龙等材质制成，以降低与该晶舟的摩擦。
[0011]为了将该晶舟弹片装置固定于该外盒体，是使该外盒体对应该晶舟固定弹片设有至少一锁固孔，以与该顶抵柱相卡合并锁固该晶舟固定弹片。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型较佳实施例的分解示意图；[0013]图2为本实用新型较佳实施例的立体分解图；
[0014]图3为本实用新型较佳实施例的应用示意图；
[0015]图4为本实用新型较佳实施例的受力示意图。
[0016]【主要组件符号说明】
[0017]I晶舟固定弹片
[0018]10第一连接部
[0019]101顶抵柱
[0020]102第一倾斜端
[0021]103第二倾斜端
[0022]104 凹槽
[0023]11第二连接部
[0024]12 滚轮
[0025]121 转轴
[0026]2 外盒体
[0027]20锁固孔
[0028]3 晶舟
[0029]30 顶侧
[0030]4 晶圆
[0031]α 第一夹角
[0032]β 第二夹角。
【具体实施方式】
[0033]为使贵审查委员能清楚了解本实用新型的内容，仅以下列说明搭配图式，敬请参阅。
[0034]请参阅图1、图2、图3及图4，其为本实用新型较佳实施例的分解示意图、立体分解图、应用示意图与受力示意图。本实用新型的晶舟固定弹片I是设置于一外盒体2内部，该外盒体2内更具有一晶舟3，该晶舟固定弹片I则位于该外盒体2内侧与该晶舟3的一顶侧30间，而该晶舟3是用以承载复数片晶圆4。
[0035]该晶舟固定弹片I的特征在于，其为中空框状，且顶端与底端是分别具有一第一连接部10及一第二连接部11，该第一连接部10设有一顶抵柱101，以与该外盒体2连接固定，或透过一支架(图中未显示)使该顶抵柱101与该外盒体2连接。该第二连接部11设有一滚轮12，且该滚轮12是与该晶舟3的该顶侧30接触，借以减少于搬运时，该晶舟3因晃动与该晶舟固定弹片I摩擦所产生的微粒，以改善该外盒体2的内部环境，避免产生的微粒污染该等晶圆4进而影响其效能。
[0036]其中，较佳者，该晶舟固定弹片I为倒梯形的围框，并选用如聚乙烯(PE)或尼龙(PA)等具有耐磨且可形变特性的高分子材料制成，于该第一连接部10是具有一第一倾斜端102与一第二倾斜端103，该第一倾斜端102与该第二倾斜端103是分别位于该顶抵柱101的二侧，并相对水平具有一第一夹角α及一第二夹角β，较佳者，该第一夹角α是介于10度?20度，该第二夹角β是介于160度?180度，而使该第一倾斜端102与该第二倾斜端103呈相对倾斜，藉此形状可增进该晶舟固定弹片I的受力能力，以提升其整体刚性。即使该晶舟3相对该晶舟固定弹片I产生垂直向的冲击力，其是可藉由该第一倾斜端102与该第二倾斜端103分担力量，如若该晶舟3向上顶抵该晶舟固定弹片1，该第一倾斜端102与该第二倾斜端103是随之向上且产生形变，除可防止该晶舟固定弹片I受力断裂夕卜，亦可于受力同时维持固定该晶舟4的功效。其中，于该第一连接部10还设有二凹槽104，其是分别设于该顶抵柱101的二侧并与该第一倾斜端102及该第二倾斜端103相接，使该第一倾斜端102与该第二倾斜端103可依据该二凹槽104产生形变，藉此达到更佳的导引效果，并可防止该晶舟固定弹片I受力断裂损坏。
[0037]此外，该第二连接部11为一透孔，借以放置该滚轮12，该滚轮12则透过一转轴121固定于该第二连接部11，并相对该晶舟3的该顶侧30滚动，借以降低与该晶舟3的该顶侧30的摩擦力。而该外盒体2是对应该晶舟固定弹片I设有至少一锁固孔20，以与该顶抵柱101相卡合并锁固该晶舟固定弹片1，使该晶舟固定弹片I的该第一连接部10是固定锁合于该外盒体2内侧，该第二连接部11则与该晶舟3的该顶侧30呈活动式连接。
[0038]于本实施例中，该外盒体2内是设置有二该晶舟固定弹片1，借以平衡并稳固该晶舟3，减缓其于搬运时的晃动，该等晶舟固定弹片I是设于该晶舟3的该顶侧30与该外盒体2所形成的空间内，该滚轮12则顶抵于该晶舟3的该顶侧30，当搬运移动该外盒体2时，该晶舟3若受外力影响而产生晃动情形，该滚轮12则可随该晶舟3同时移动，并可藉由滚动方式减少与该晶舟3的顶抵摩擦，避免相对摩擦产生过多的微粒与粉屑，借以避免微粒或悬粒黏附于该等晶圆4表面，而影响该等晶圆4的效能。而当该晶舟3产生垂直向移动并对该晶舟固定弹片施力时，该第一倾斜部102与该第二倾斜部103是可因冲击产生形变，达到减缓冲力的功效，同时可维持并固定该晶舟3的位置。
[0039]惟，以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型实施的范围；故在不脱离本实用新型的精神与范围下所作的均等变化与修饰，皆应涵盖于本实用新型的专利范围内。
【权利要求】
1.一种晶舟固定弹片，是设置于一外盒体内部，且该外盒体内还具有一晶舟，该晶舟固定弹片则位于该外盒体内侧与该晶舟的一顶侧间，而该晶舟是用以承载复数片晶圆，其特征在于: 该晶舟固定弹片为中空框状，且其顶端与底端是分别具有一第一连接部与一第二连接部，该第一连接部设有一顶抵柱，供以与该外盒体连接固定，该第二连接部是设有一滚轮，且该滚轮是与该晶舟的该顶侧接触，以减少搬运中该晶舟因晃动而与该晶舟固定弹片摩擦所产生的微粒。
2.如权利要求1所述的晶舟固定弹片，其特征在于，该晶舟固定弹片为倒梯形的围框，且该第一连接部具有一第一倾斜端与一第二倾斜端，其分别位于该顶抵柱的二侧，并相对水平具有一第一夹角与一第二夹角。
3.如权利要求2所述的晶舟固定弹片，其特征在于，该第一夹角是介于10度?20度，该第二夹角是介于160度?180度。
4.如权利要求1或2或3所述的晶舟固定弹片，其特征在于，该滚轮是透过一转轴固定于该第二连接部，并相对该晶舟滚动。
5.如权利要求4所述的晶舟固定弹片，其特征在于，该晶舟固定弹片是选自聚乙烯或尼龙材质制成。
6.如权利要求5所述的晶舟固定弹片，其特征在于，该外盒体是对应该晶舟固定弹片设有至少一锁固孔，以与该顶抵柱相卡合并锁固该晶舟固定弹片。
【文档编号】H01L21/687GK203659833SQ201320568914
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2013年9月13日 优先权日:2013年9月13日
【发明者】陈柏维 申请人:上海晟钜电子科技有限公司