一种ddr马达构成的机械手旋转机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型属半导体及LED制造领域，具体涉及一种DDR马达构成的机械手旋转机构。基座3、机械臂2、DDR马达1，其中，DDR马达1固定在基座3上，机械臂2与DDR马达1输出连接。其中，机械臂2为两个，两个机械臂2一端连接在一起形成120度夹角，机械臂2连接在一起的一端与DDR马达1输出连接，DDR马达1带动机械臂2在360度范围内转动，其中，机械臂2末连接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圆或基片。使用本实用新型的有益效果是：1.以较低的成本，满足客户精度要求较低的需求；2.减少污染，提高效率。
【专利说明】一种DDR马达构成的机械手旋转机构
【技术领域】
[0001]本实用新型属半导体及LED制造领域，具体涉及一种DDR马达构成的机械手旋转机构。
【背景技术】
[0002]随着国内半导体行业的发展及集成电路代工厂的长期运营，晶圆传输机械手的国产化及现有进口设备维修的需求日益增长，而如何对研发及维修后的机械手进行性能测试是最亟需解决的关键问题之一。现有对晶圆传输机械手的定位、重复定位精度及运行稳定性等性能进行测试时，一般采用位移传感器或图像识别等元件直接对设备末端机械手指表面的几何特征进行测量。显然，当传输机械手的手掌末端的几何特征或材料发生变化时，所需测试元件(如光源设备)也有所不同，测试单位不仅需要储备与各种型号机械手对应的末端机械手指，还需要储备相应的测量元件。在半导体及LED制造过程中，传输晶圆或基片时，一般都是通过关节式机械手或通过皮带传送材料。同时由于关节式机械手成本太高。如果采用手动方式来拿材料，效率很低，也会污染生产材料。这样造成了大量人力及物力的浪费。为了避免对晶圆或基片的污染，同时为了提高生产效率，采用自动化的传输机构。
实用新型内容
[0003]本实用新型为了避免对晶圆或基片的污染，同时为了提高生产效率，设计了本实用新型一种DDR马达构成的机械手旋转机构，具体解决方案如下:
[0004]一种DDR马达构成的机械手旋转机构，包括:基座、机械臂、DDR马达，其中，所述DDR马达固定在所述基座上，所述机械臂在所述DDR马达上部且所述机械臂与所述DDR马达输出连接。
[0005]上述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其中，所述机械臂为两个，两个所述机械臂一端连接形成120度夹角，所述机械臂连接的一端与所述DDR马达输出连接。
[0006]上述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其中，所述机械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圆或基片。
[0007]上述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其中，还包括真空接头一和真空接头二，所述真空接头一和所述真空接头二固定在所述基座上且分别接真空到两所述真空吸嘴。
[0008]上述一种DDR马达构成的机械手旋转机构,其中，还包括一零位传感器，所述零位传感器固定在所述DDR马达一侧的所述基座上，所述零位传感器定位所述机械臂的位置。
[0009]上述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其中，所述马达接收到零位传感器发出的信号，所述DDR马达将带动所述机械臂向相反的方向旋转，所述机械臂能够停留在360度的范围内。
[0010]上述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其中，还包括X向导轨和Y向导轨，所述Y向导轨在X向导轨上部沿所述X向轨道滑动，所述基座在所述Y向导轨上且沿所述Y向轨道滑动。
[0011]上述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其中，还包括DDR马达上的光栅尺，所述DDR马达上的光栅尺保证马达旋转的精确度。
[0012]使用本实用新型的有益效果是:1、以较低的成本，满足客户精度要求较低的需求；
2、减少污染，提闻效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型一种DDR马达构成的机械手旋转机构示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图1和具体事例对本实用新型做进一步的说明，但不作为本实用新型的限定。
[0015]如图1所示，一种DDR马达构成的机械手旋转机构，包括:基座3、机械臂2、DDR马达1，其中，DDR马达I固定在基座3上，机械臂2与DDR马达I输出连接，DDR马达输出轴与基座的平面相互垂直。其中，机械臂2为两个，两个机械臂2 —端连接在一起形成120度夹角，机械臂2连接在一起的一端与DDR马达I输出连接，DDR马达I带动机械臂2在360度范围内转动，其中，机械臂2末连接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圆或基片。
[0016]如图1所示，还包括真空接头一 5和真空接头二 6，真空接头一 5和真空接头6 二固定在基座3上，并且分别连接真空到两真空吸嘴8，并且能分别控制真空吸嘴8，当真空吸嘴8吸附到晶圆或者基片时，真空传感器将能检测到晶圆或者基片。
[0017]如图1所示,还包括一零位传感器4,零位传感器4固定在DDR马达I 一侧的基座上，零位传感器4定位机械臂2的位置，当机械臂2到达零位时，DDR马达I接收到零位传感器4发出的信号，DDR马达I将带动机械臂2向相反的方向旋转，机械臂2能够停留在360度的范围内。在本实例中，当真空吸嘴8吸附到晶圆或者基片时，真空传感器检测到晶圆或者基片，并且真空传感器将信号发送到DDR马达I控制系统，控制系统将输出信号使机械臂2旋转到固定的位置，然后将所吸附到的晶圆或者基片放置到固定的位置。
[0018]如图1所示，本实用新型还包括X向导轨9和Y向导轨10，Y向导轨10在X向导轨9上沿X向轨道9滑动，基座3在Y向导轨10上并且沿Y向轨道10滑动。
[0019]在本实例中，基座3沿Y向轨道10滑动，Y向轨道10沿X向轨道9滑动，这样使机械臂2能在一个固定的水平面内移动，真空吸嘴能将这个固定平面内的晶圆或者基片一一吸附。
[0020]本实用新型还包括DDR马达上的光栅尺7，DDR马达上的光栅尺7保证DDR马达I旋转的精确度，能够保证DDR马达I精确的到达零位。
[0021]本实用新型一个实例的使用方法:
[0022]基座3沿Y向轨道10滑动，Y向轨道10沿X向轨道9滑动，机械臂2也随着基座在X向轨道9和Y向轨道10组成的平面内移动。DDR马达I的输出带动机械臂2旋转，旋转的过程中，真空接头一 5和真空接头二 6向真空吸嘴8不断的输入真空，真空吸嘴8在固定的平面内吸附晶圆或者基片，通过真空传感器检测真空吸嘴8是否吸附到晶圆或者基片，如果吸附到了晶圆或者基片，真空传感器将发送信号给DDR马达I控制系统，控制系统控制DDR马达1，将吸附到的晶圆或者基片送到固定的位置。当机械臂2到达零位时，零位传感器4发送信号到DDR马达I控制系统，控制系统控制DDR马达I，使其向相反的方向旋转，这样，机械臂2在360度的范围内旋转。
[0023]以上所述仅为本实用新型较佳的事例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种DDR马达构成的机械手旋转机构，包括:基座、机械臂、DDR马达，其特征在于，所述DDR马达固定在所述基座上，所述机械臂在所述DDR马达上部且所述机械臂与所述DDR马达输出连接。
2.根据权利要求1所述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其特征在于，所述机械臂为两个，两个所述机械臂一端连接形成120度夹角，所述机械臂连接的一端与所述DDR马达输出连接。
3.根据权利要求1所述述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其特征在于，所述机械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圆或基片。
4.根据权利要求3所述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其特征在于，还包括真空接头一和真空接头二，所述真空接头一和所述真空接头二固定在所述基座上且分别接真空到两所述真空吸嘴。
5.根据权利要求1所述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其特征在于，还包括一零位传感器，所述零位传感器固定在所述DDR马达一侧的所述基座上，所述零位传感器定位所述机械臂的位置。
6.根据权利要求4所述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其特征在于，所述马达接收到零位传感器发出的信号，所述DDR马达将带动所述机械臂向相反的方向旋转，所述机械臂能够停留在360度的范围内。
7.根据权利要求1所述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其特征在于，还包括X向导轨和Y向导轨，所述Y向导轨在X向导轨上部沿所述X向轨道滑动，所述基座在所述Y向导轨上且沿所述Y向轨道滑动。
8.根据权利要求1所述一种DDR马达构成的机械手旋转机构，其特征在于，还包括DDR马达上的光栅尺，所述DDR马达上的光栅尺保证马达旋转的精确度。
【文档编号】H01L21/677GK203644744SQ201320842258
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年12月19日 优先权日:2013年12月19日
【发明者】蔡良斌, 丁天祥 申请人:常熟晶悦半导体设备有限公司