一种环形连贯和桥连布局结构及导线断路和短路验证方法
【专利摘要】本发明提供环形连贯和桥连布局结构及导线短路和短路验证方法，所述连贯布局结构和所述桥连布局结构的形状均延其中心向外螺旋延伸形成蚊香状。在版图布局空间中引入所述连贯布局结构和/或所述桥连布局结构，运用串联电路，并结合晶圆可接受性测试平台，通过测试电路观察；如为断路或短路，则工艺流程出现异常；如测试返回电流正常，则工艺流程正常。通过本发明中环形的链状结构的连贯结构和桥连结构代替蛇形链状结构的连贯结构和桥连结构，可以有效地缩小连贯结构和桥连结构的占用面积，能够在有效的版图中，绘制更多的器件进行测试，从而提高经济效益。
【专利说明】一种环形连贯和桥连布局结构及导线断路和短路验证方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及微电子中版图布局的【技术领域】，尤其涉及一种环形连贯和桥连布局结构及其工艺流程导线断路和短路验证方法。
【背景技术】
[0002]图1是常规的continuity结构的示意图，图2是常规的bridge结构的示意图，请参见图1和图2所示。但由于常规的链状(chain)结构的蛇形连贯(continuity)结构和桥连(bridge)结构在版图的布局(layout)中占用面积较多，所以随着切割道的日益减小，则需要减小器件版图的占用面积，才能存放更多器件。为此需要设计一种环形的chain结构continuity 和 bridge 来代替现有的蛇形 chain 结构 continuity 和 bridge。
【发明内容】
[0003]鉴于上述问题，本发明提供一种环形连贯和桥连布局结构及导线短路和短路验证方法。
[0004]本发明解决技术问题所采用的技术方案为:
[0005]一种环形连贯和桥连布局结构，其中，所述连贯布局结构和所述桥连布局结构的形状均延其中心向外螺旋延伸形成蚊香状。
[0006]上述的一种环形连贯和桥连布局结构，其中，所述连贯布局结构包括一金属丝，所述连贯布局结构的所述金属丝形成蚊香状，所述金属丝位于中心的一端部连接第一垫具，所述金属丝位于外侧的另一端部连接第二垫具。
[0007]上述的一种环形连贯和桥连布局结构，其中，所述桥连布局结构包括两金属丝，所述桥连布局结构的两所述金属丝相互平行，并且两所述金属丝形成蚊香状，两所述金属丝位于中心的端部分别连接第一垫具和第二垫具。
[0008]上述的一种环形连贯和桥连布局结构，其中，所述连贯布局结构和所述桥连布局结构呈圆形。
[0009]一种环形连贯和桥连布局结构的导线断路和短路验证方法，其中，包括上述任意一项所述的环形连贯和桥连布局结构；在版图布局空间中引入所述连贯布局结构和/或所述桥连布局结构，运用串联电路，并结合晶圆可接受性测试平台，通过测试电路观察；如为断路或短路，则工艺流程出现异常；如测试返回电流正常，则工艺流程正常。
[0010]上述技术方案具有如下优点或有益效果:
[0011]环形的chain结构的continuity结构和bridge结构代替蛇形chain结构的continuity结构和bridge结构，可以有效地缩小continuity结构和bridge结构的占用面积，能够在有效的版图中，绘制更多的器件进行测试，从而提高经济效益。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
[0013]图1是常规的continuity结构的示意图；
[0014]图2是常规的bridge结构的示意图；
[0015]图3是本发明的一种环形continuity布局结构的示意图；
[0016]图4是本发明的一种环形bridge布局结构的示意图。
【具体实施方式】
[0017]本发明提供一种环形连贯和桥连布局结构及导线短路和短路验证方法，图3是本发明的一种环形continuity布局结构的示意图，图4是本发明的一种环形bridge布局结构的示意图，请参见图3和图4所示。
[0018]本发明的一种环形连贯和桥连布局结构，连贯布局结构I和桥连布局结构4的形状均延其中心向外螺旋延伸形成蚊香状。
[0019]本发明在上述基础上还具有如下实施方式:
[0020]本发明的进一步实施例中，请继续参见图3和图4所示。连贯布局结构I包括有一金属丝(metal )，连贯布局结构的金属丝形成蚊香状，金属丝位于中心的一端部连接第一垫具(PADl) 2，金属丝位于外侧的另一端部连接第二垫具(PAD2) 3。
[0021]本发明的进一步实施例中，桥连布局结构4包括有两金属丝,桥连布局结构4的两金属丝相互平行，并且两金属丝形成蚊香状，两金属丝位于中心的端部分别连接第一垫具(PADl)和第二垫具(PAD2) 5。
[0022]本发明的进一步实施例中，连贯布局结构I和桥连布局结构4呈圆形，通过圆形的设计，能够有效地缩短长度，并缩小占用面积。
[0023]本发明的一种环形连贯和桥连布局结构的导线断路和短路验证方法，通过环形continuity layout结构和bridge layout结构的引入，可以有效地节省设备(device)占用版图的空间，运用串联电路电流处处相同阿基米德螺线定律，并结合晶圆可接受性测试(WAT)测试平台，force V=VDD, measure I,通过测试电流结果用以观察此continuitylayout结构和bridge layout结构的导线是否为断路和短路,如果为断路或短路,则工艺流程(process)出现异常,如测试返回电流正常,则process正常。
[0024]本发明的更进一步实施例中，请参见图1和图3所示。假设图1中continuity结构的长宽均为5，metal的宽度为1，(其中space与metal长度相同)，则面积S=WL=5*5=25，周长C=5*2.5+5=17.5。图3中环形continuity结构的半径为5,metal的宽度为1，则面积S= Ji *r*r=3.14*2.5*2.5=19.6，周长 C=n π r/2=2.5*3.14*2.5/2=9.81。因此，圆形结构的占用面积较小，能够有效地节省更多空间。
[0025]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种环形连贯和桥连布局结构，其特征在于， 所述连贯布局结构和所述桥连布局结构的形状均延其中心向外螺旋延伸形成蚊香状。
2.如权利要求1所述的环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，所述连贯布局结构包括一金属丝，所述连贯布局结构的所述金属丝形成蚊香状，所述金属丝位于中心的一端部连接第一垫具，所述金属丝位于外侧的另一端部连接第二垫具。
3.如权利要求1所述的环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，所述桥连布局结构包括两金属丝，所述桥连布局结构的两所述金属丝相互平行，并且两所述金属丝形成蚊香状，两所述金属丝位于中心的端部分别连接第一垫具和第二垫具。
4.如权利要求1所述的环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，所述连贯布局结构和所述桥连布局结构呈圆形。
5.一种环形连贯和桥连布局结构的导线断路和短路验证方法，其特征在于，包括权利要求I至5中任意一项所述的环形连贯和桥连布局结构； 在版图布局空间中引入所述连贯布局结构和/或所述桥连布局结构，运用串联电路，并结合晶圆可接受性测试平台，通过测试电路观察；如为断路或短路，则工艺流程出现异常；如测试返回电流正常，则工艺流程正常。
【文档编号】H01L23/482GK103871988SQ201410059904
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2014年2月21日 优先权日:2014年2月21日
【发明者】沈茜, 莫保章 申请人:上海华力微电子有限公司