一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法
【专利摘要】一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，该方法包括以下步骤：1）配制溶液；2）制备图案化的单晶硅衬底；3）沉积氮化硅薄膜；4）沉积微晶硅薄膜；5）沉积非化学计量比碳化硅薄膜；6）制备周期性多层膜；7）在制成的周期性多层膜上按照步骤3）沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品；8）对步骤7）制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品；9）进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。本发明提供的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，将多层膜自组装技术和图案化单晶硅衬底技术融为一体，制备的硅量子点具有制备面积大、缺陷少、空间三维分布排列有序、成核位置和尺寸可控等特点。
【专利说明】一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种硅基半导体器件制造【技术领域】，尤其是一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法。
【背景技术】
[0002]硅量子点由于量子限制效应特性在各种高性能微电子与光电子器件中有潜在的应用，目前规整的硅量子点制备技术已成为国际上的一个研究热点与前沿课题。研究发现，硅量子点优异的物理性能在很大程度上取决于其空间分布排列的有序性。硅量子点排列越有序，其相应的光电器件性能将越好。目前，商业化应用硅量子点所面临的主要挑战是如何制备面积大、缺陷少、空间分布排列有序、成核位置和尺寸精准可控的硅量子点阵列。空间分布排列有序硅量子点的制备既可通过多层膜结构采用S-K生长模式的自组装技术(是指采用物理或化学的方法轮流沉积限制生长层和母体基质层，最终以原位方式形成或通过退火工艺形成硅量子点的技术)，也可采用纳米球形光刻技术、极端远紫外干涉光刻技术以及纳米压印光刻技术等。因S-K生长模式制备硅量子点方法简单、缺陷少，是目前普遍采用的一种硅量子点制备技术，然而，硅量子点随机分布仍然是这种方式制备硅量子点所面临的主要挑战。此外，尽管以多层膜结构通过优化各层膜厚度可以在垂直方向上能尽量控制量子点排列分布的有序性，但在水平方向上效果较差。后几种方式通过制备图案化衬底(Patterned substrate)(图案化单晶娃衬底技术一般主要利用光刻技术或离子刻蚀技术通过掩膜版首先在硅衬底上雕刻出排列规则的图形，之后采用物理或化学的方法制备硅量子点)可以在水平方向上准确控制量子点的成核位置和分布排列，这些方式被认为是未来获得空间分布有序硅量子点的最直接有效方法，然而这些方式由于受到光刻尺寸精度、化学腐蚀试剂污染以及其它自身属性的制约所制备的硅量子点一般存在尺寸大、面积小以及缺陷多等缺点。因此，在这些已有的技术基础上如何制备面积大、缺陷少、三维空间分布排列有序、成核位置和尺寸可控的硅量子点阵列对未来高性能硅基纳米光电子器件规模化应用十分重要。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，可以克服目前常用的多层膜自组装技术和图案化单晶硅衬底技术的缺陷，将多层膜自组装技术和图案化单晶硅衬底技术融为一体，简单易行，制备的硅量子点具有制备面积大、缺陷少、空间三维分布排列有序、成核位置和尺寸可控等特点，使之有利于硅基纳米材料在未来高性能光电子器件中的应用。
[0004]为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是:一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，该方法包括以下步骤:
[0005]I)配制溶液:将氢氧化钾、去离子水和异丙醇混合后搅拌均匀配制成所需溶液；每克氢氧化钾所需去离子水和异丙醇的体积分别为0.5?0.7ml和1.5?2.1ml ；[0006]2)制备图案化的单晶硅衬底:将单晶硅基片放置于步骤I)制得的溶液中，于恒温中保持一段时间至形成图案的平均线度在100?200nm之间；
[0007]3)沉积氮化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在图案化的单晶硅上制备氮化硅薄膜；
[0008]4)沉积微晶硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤3)制备的氮化硅薄膜上沉积微晶硅薄膜；
[0009]5)沉积非化学计量比碳化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤4)沉积的微晶硅薄膜上沉积非化学计量比碳化硅薄膜；
[0010]6)制备周期性多层膜:重复上述步骤3)、4)和5)，再次沉积氮化硅薄膜、微晶硅薄膜和非化学计量比碳化硅薄膜，循环重复次数为8?15次，制成周期性多层膜；
[0011]7)在制成的周期性多层膜上按照步骤3)沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品；
[0012]8)对步骤7)制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品;
[0013]9)将步骤8)制得的退火处理后的多层膜样品放入等离子体增强化学气相沉积设备的沉积腔内进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。
[0014]所述单晶硅基片放置于35?55°C恒温水浴内保持3?7分钟，形成图案的平均线度在100?200nm之间。
[0015]步骤3)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率45?85W，射频频率13.56MHz，基片温度200?250°C，腔体压强80?lOOPa，使用氢气稀释到体积浓度为5%?10%的SiH4气体10?20sccm，纯度为99.999%的NH3气体15?20sccm,锻膜时间4?6分钟。
[0016]步骤4)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率70?90W，射频频率13.56MHz，基片温度200?250°C，腔体压强60?85Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%?10%的SiH4气体10?15sccm，镀膜时间5?8分钟。
[0017]步骤5)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积非化学计量比碳化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率50?90W，射频频率13.56MHz，基片温度200?250°C，腔体压强80?lOOPa，使用氢气稀释到体积浓度为5%?10%的SiH4气体15?20sccm，纯度为99.999%的CH4气体10?15sccm,镀膜时间5?8分钟。
[0018]步骤8)进行高温退火处理的退火方式为:升温前，向石英管退火炉内通入纯度为99.99%?99.999%的氮气并保持3?5分钟，氮气流量为10?20sccm，将多层膜样品置于石英舟上推入石英炉内，在氮气氛围下由室温直接升温至700?1000°C，保持15?30分钟，断开加热电源，多层膜样品于石英炉内在无任何外加冷却措施的条件下通过石英管退火炉自身散热冷却至室温。
[0019]步骤9)氨气等离子体钝化处理的工艺参数为:射频功率45?85W，射频频率
13.56MHz，基片温度250?300°C，腔体压强80?lOOPa，纯度为99.999%的NH3气体10?20sccm，钝化时间10?20分钟。
[0020]碳化硅薄膜的化学式为SiC，一般指满足化学计量比的SiC，即碳化硅薄膜中Si原子和C原子的个数比为1: 1，而非化学计量比碳化硅薄膜化学式可写作SiCx,即碳化硅薄膜中Si原子和C原子的个数比不满足1: 1，失去了化学计量比。[0021]本发明提出的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法并不是简单地将目前现有的多层膜自组装技术和图案化单晶硅衬底技术进行机械组合，而是从三维空间分布有序硅量子点生长机理出发调整薄膜结构和制备工艺，并采用一种全新的结构和方法制备三维空间分布有序娃量子点。
[0022]“等离子体增强化学气相沉积技术”是本领域惯常使用的技术，其英文名称为plasma enhanced chemical vapor deposition,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术的基本原理是在高频或直流电场作用下，使源气体电离形成等离子体，利用低温等离子体作为能量源，通入适量的反应气体，利用等离子体放电，使反应气体激活并使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。由于PECVD技术是通过应气体放电来制备薄膜的，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式。
[0023]“氨气等离子体钝化处理”是本领域惯常使用的技术，它主要是指通过高频或直流电场促使氨气电离，从而分解成各种含有H和N的等活性离子基团，这些活性基团可以同硅原子结合，从而有利于降低薄膜内的缺陷态，改善薄膜结构和性能。
[0024]本方法与目前现有的多层膜自组装技术和图案化单晶硅衬底技术的主要区别是:多层膜自组装技术一般主要利用各层膜厚度、薄膜应力以及界面化学环境等因素调整薄膜应力场分布和娃原子扩散系数，通过这种方法，娃原子在竖直方向上的分布排列有序性一般好于水平方向上的分布排列有序性，但这种方法由于自组装方式的限制，一般只能在短程范围内在竖直方向上尽量控制硅量子点分布排列的有序性，它的主要制备步骤是采用物理或化学的方法轮流沉积限制生长层和母体基质层，最终以原位方式形成或通过退火工艺形成硅量子点；图案化单晶硅衬底技术一般主要利用光刻技术或离子刻蚀技术通过掩膜版首先在硅衬底上雕刻出排列规则的图形，之后采用物理或化学的方法制备硅量子点，这种方法所制备的娃量子点一般在水平方向上的分布排列有序性较好，但由于受到光刻尺寸精度、化学腐蚀试剂污染以及其它自身属性的制约所制备的硅量子点一般存在密度低、尺寸大、面积小以及缺陷多等缺点；本发明在没有掩膜版的条件下首先利用化学腐蚀技术通过单晶硅衬底各向异性腐蚀的特征在硅衬底上刻蚀出形貌、线度、分布排列一致的图案，之后轮流依次沉积硅量子点的限制生长层、辅助生长层和母体基质层，其中辅助生长层不仅可以减小硅量子点的成核形成能，而且为每层硅量子点的生长提供有序生长点，同多层膜技术相比，所采用的薄膜结构完全不同，并且它能在长程范围实现硅量子点的排列分布的有序性，同图案化
[0025]硅衬底技术相比，本发明未使用掩膜版，单晶硅衬底上的图案不受人工预先设计限制，而是依靠化学腐蚀剂在单晶硅各个晶向上不同腐蚀速率的内在禀性调节图案形貌和分布。本发明可以同时在竖直方向和水平方向上于长程范围内较好地实现硅量子点的分布排列的有序性，所制备的硅量子点具有密度高、尺寸小、分布面积大以及缺陷少等优点。
[0026]本发明将多层膜自组装技术和图案化单晶硅衬底技术融为一体，利用微晶硅减小娃量子点成核形成能，在减小娃量子点成核-生长激活能的基础上为娃量子点成核提供排列有序的生长点，并采用退火和等离子体技术钝化硅量子点，通过一种全新的结构制备三维空间排列分布有序的娃量子点，从而利于娃基纳米材料在未来高性能光电子器件中的应用。制备方法简单易行，制备的硅量子点具有制备面积大、缺陷少、空间三维分布排列有序等特征。
【具体实施方式】
[0027]实施例1
[0028]一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，该方法包括以下步骤:
[0029]I)配制溶液:将氢氧化钾、去离子水和异丙醇混合后搅拌均匀配制成所需溶液；每克氢氧化钾所需去离子水和异丙醇的体积分别为0.5ml和1.5ml ；
[0030]2)制备图案化的单晶硅衬底:将单晶硅基片放置于步骤I)制得的溶液中，于35°C恒温水浴内保持3分钟，形成图案的平均线度在170nm ；
[0031]3)沉积氮化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在图案化的单晶硅上制备氮化硅薄膜；
[0032]4)沉积微晶硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤3)制备的氮化硅薄膜上沉积微晶硅薄膜；
[0033]5)沉积非化学计量比碳化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤4)沉积的微晶硅薄膜上沉积非化学计量比碳化硅薄膜；
[0034]6)制备周期性多层膜:重复上述步骤3)、4)和5)，再次沉积氮化硅薄膜、微晶硅薄膜和非化学计量比碳化硅薄膜，循环重复次数为8次，制成周期性多层膜；
[0035]7)在制成的周期性多层膜上按照步骤3)沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品；
[0036]8)对步骤7)制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品;
[0037]9)将步骤8)制得的退火处理后的多层膜样品放入等离子体增强化学气相沉积设备的沉积腔内进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。
[0038]步骤3)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率45W，射频频率13.56MHz，基片温度200°C，腔体压强80Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%的SiH4气体IOsccm,纯度为99.999%的NH3气体15sccm,镀膜时间4分钟。
[0039]步骤4)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率70W，射频频率13.56MHz，基片温度200°C，腔体压强60Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%的SiH4气体lOsccm，镀膜时间5分钟。
[0040]步骤5)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积非化学计量比碳化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率50W，射频频率13.56MHz，基片温度200°C，腔体压强80Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%的SiH4气体15sccm，纯度为99.999%的CH4气体lOsccm，镀膜时间5分钟。
[0041]步骤8)进行高温退火处理的退火方式为:升温前，向石英管退火炉内通入纯度为99.99%?99.999%的氮气并保持3分钟，氮气流量为lOsccm，将多层膜样品置于石英舟上推入石英炉内，在氮气氛围下由室温直接升温至700°C，保持15分钟，断开加热电源，多层膜样品于石英炉内在无任何外加冷却措施的条件下通过石英管退火炉自身散热冷却至室温。
[0042]步骤9)氨气等离子体钝化处理的工艺参数为:射频功率45W，射频频率13.56MHz，基片温度250°C，腔体压强80Pa，纯度为99.999%的NH3气体lOsccm，钝化时间10分钟。[0043]实施例2:
[0044]一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，该方法包括以下步骤:
[0045]I)配制溶液:将氢氧化钾、去离子水和异丙醇混合后搅拌均匀配制成所需溶液；每克氢氧化钾所需去离子水和异丙醇的体积分别为0.5ml和1.5ml ；
[0046]2)制备图案化的单晶硅衬底:将单晶硅基片放置于步骤I)制得的溶液中，于40°C恒温水浴内保持7分钟，形成图案的平均线度在200nm ；
[0047]3)沉积氮化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在图案化的单晶硅上制备氮化硅薄膜；
[0048]4)沉积微晶硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤3)制备的氮化硅薄膜上沉积微晶硅薄膜；
[0049]5)沉积非化学计量比碳化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤4)沉积的微晶硅薄膜上沉积非化学计量比碳化硅薄膜；
[0050]6)制备周期性多层膜:重复上述步骤3)、4)和5)，再次沉积氮化硅薄膜、微晶硅薄膜和非化学计量比碳化硅薄膜，循环重复次数为10次，制成周期性多层膜；
[0051]7)在制成的周期性多层膜上按照步骤3)沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品；
[0052]8)对步骤7)制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品;
[0053]9)将步骤8)制得的退火处理后的多层膜样品放入等离子体增强化学气相沉积设备的沉积腔内进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。
[0054]步骤3)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率55W，射频频率13.56MHz，基片温度200°C，腔体压强80Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%的SiH4气体15sccm,纯度为99.999%的NH3气体15sccm,镀膜时间4分钟。
[0055]步骤4)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率80W，射频频率13.56MHz，基片温度200°C，腔体压强70Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%的SiH4气体12SCCm，镀膜时间5分钟。
[0056]步骤5)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积非化学计量比碳化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率60W，射频频率13.56MHz，基片温度200°C，腔体压强85Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%的SiH4气体15sccm，纯度为99.999%的CH4气体12sccm，镀膜时间6分钟。
[0057]步骤8)进行高温退火处理的退火方式为:升温前，向石英管退火炉内通入纯度为99.99%?99.999%的氮气并保持3分钟，氮气流量为15sccm，将多层膜样品置于石英舟上推入石英炉内，在氮气氛围下由室温直接升温至800°C，保持20分钟，断开加热电源，多层膜样品于石英炉内在无任何外加冷却措施的条件下通过石英管退火炉自身散热冷却至室温。
[0058]步骤9)氨气等离子体钝化处理的工艺参数为:射频功率55W，射频频率13.56MHz，基片温度250°C，腔体压强80Pa，纯度为99.999%的NH3气体15sccm，钝化时间10分钟。
[0059]实施例3:
[0060]一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，该方法包括以下步骤:
[0061]I)配制溶液:将氢氧化钾、去离子水和异丙醇混合后搅拌均匀配制成所需溶液；每克氢氧化钾所需去离子水和异丙醇的体积分别为0.6ml和1.8ml ；
[0062]2)制备图案化的单晶硅衬底:将单晶硅基片放置于步骤I)制得的溶液中，于40°C恒温水浴内保持5分钟，形成图案的平均线度在160nm ；
[0063]3)沉积氮化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在图案化的单晶硅上制备氮化硅薄膜；
[0064]4)沉积微晶硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤3)制备的氮化硅薄膜上沉积微晶硅薄膜；
[0065]5)沉积非化学计量比碳化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤4)沉积的微晶硅薄膜上沉积非化学计量比碳化硅薄膜；
[0066]6)制备周期性多层膜:重复上述步骤3)、4)和5)，再次沉积氮化硅薄膜、微晶硅薄膜和非化学计量比碳化硅薄膜，循环重复次数为12次，制成周期性多层膜；
[0067]7)在制成的周期性多层膜上按照步骤3)沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品；
[0068]8)对步骤7)制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品;
[0069]9)将步骤8)制得的退火处理后的多层膜样品放入等离子体增强化学气相沉积设备的沉积腔内进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。
[0070]步骤3)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率65W，射频频率13.56MHz，基片温度230°C，腔体压强90Pa，使用氢气稀释到体积浓度为7%的SiH4气体IOsccm,纯度为99.999%的NH3气体17sccm,镀膜时间5分钟。
[0071]步骤4)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率90W，射频频率13.56MHz，基片温度230°C，腔体压强75Pa，使用氢气稀释到体积浓度为10%的SiH4气体13SCCm，镀膜时间7分钟。
[0072]步骤5)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积非化学计量比碳化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率80W，射频频率13.56MHz，基片温度230°C，腔体压强90Pa，使用氢气稀释到体积浓度为7%的SiH4气体17sccm，纯度为99.999%的CH4气体15sccm，镀膜时间7分钟。
[0073]步骤8)进行高温退火处理的退火方式为:升温前，向石英管退火炉内通入纯度为99.99%?99.999%的氮气并保持3分钟，氮气流量为15sccm，将多层膜样品置于石英舟上推入石英炉内，在氮气氛围下由室温直接升温至900°C，保持15分钟，断开加热电源，多层膜样品于石英炉内在无任何外加冷却措施的条件下通过石英管退火炉自身散热冷却至室温。
[0074]步骤9)氨气等离子体钝化处理的工艺参数为:射频功率65W，射频频率13.56MHz，基片温度270°C，腔体压强90Pa，纯度为99.999%的NH3气体20sccm，钝化时间12分钟。
[0075]实施例4:
[0076]一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，该方法包括以下步骤:
[0077]I)配制溶液:将氢氧化钾、去离子水和异丙醇混合后搅拌均匀配制成所需溶液；每克氢氧化钾所需去离子水和异丙醇的体积分别为0.7ml和2.1ml ；
[0078]2)制备图案化的单晶硅衬底:将单晶硅基片放置于步骤I)制得的溶液中，于35°C恒温水浴内保持3分钟，形成图案的平均线度在150nm ；[0079]3)沉积氮化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在图案化的单晶硅上制备氮化硅薄膜；
[0080]4)沉积微晶硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤3)制备的氮化硅薄膜上沉积微晶硅薄膜；
[0081]5)沉积非化学计量比碳化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤4)沉积的微晶硅薄膜上沉积非化学计量比碳化硅薄膜；
[0082]6)制备周期性多层膜:重复上述步骤3)、4)和5)，再次沉积氮化硅薄膜、微晶硅薄膜和非化学计量比碳化硅薄膜，循环重复次数为15次，制成周期性多层膜；
[0083]7)在制成的周期性多层膜上按照步骤3)沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品；
[0084]8)对步骤7)制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品;
[0085]9)将步骤8)制得的退火处理后的多层膜样品放入等离子体增强化学气相沉积设备的沉积腔内进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。
[0086]步骤3)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率75W，射频频率13.56MHz，基片温度250°C，腔体压强lOOPa，使用氢气稀释到体积浓度为10%的SiH4气体IOsccm,纯度为99.999%的NH3气体20sccm,镀膜时间6分钟。
[0087]步骤4)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率80W，射频频率13.56MHz，基片温度250°C，腔体压强85Pa，使用氢气稀释到体积浓度为7%的SiH4气体15SCCm，镀膜时间6分钟。
[0088]步骤5)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积非化学计量比碳化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率70W，射频频率13.56MHz，基片温度250°C，腔体压强lOOPa，使用氢气稀释到体积浓度为10%的SiH4气体20sccm，纯度为99.999%的CH4气体15sccm，镀膜时间7分钟。
[0089]步骤8)进行高温退火处理的退火方式为:升温前，向石英管退火炉内通入纯度为99.99%?99.999%的氮气并保持5分钟，氮气流量为20sccm，将多层膜样品置于石英舟上推入石英炉内，在氮气氛围下由室温直接升温至1000°c，保持15分钟，断开加热电源，多层膜样品于石英炉内在无任何外加冷却措施的条件下通过石英管退火炉自身散热冷却至室温。
[0090]步骤9)氨气等离子体钝化处理的工艺参数为:射频功率75W，射频频率13.56MHz，基片温度300°C，腔体压强lOOPa，纯度为99.999%的NH3气体20sccm，钝化时间15分钟。
[0091]实施例5:
[0092]一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，该方法包括以下步骤:
[0093]I)配制溶液:将氢氧化钾、去离子水和异丙醇混合后搅拌均匀配制成所需溶液；每克氢氧化钾所需去离子水和异丙醇的体积分别为0.7ml和1.5ml ；
[0094]2)制备图案化的单晶硅衬底:将单晶硅基片放置于步骤I)制得的溶液中，于55°C恒温水浴内保持3分钟，形成图案的平均线度在IOOnm ；
[0095]3)沉积氮化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在图案化的单晶硅上制备氮化硅薄膜；
[0096]4)沉积微晶硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤3)制备的氮化硅薄膜上沉积微晶硅薄膜；
[0097]5)沉积非化学计量比碳化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤
4)沉积的微晶硅薄膜上沉积非化学计量比碳化硅薄膜；
[0098]6)制备周期性多层膜:重复上述步骤3)、4)和5)，再次沉积氮化硅薄膜、微晶硅薄膜和非化学计量比碳化硅薄膜，循环重复次数为13次，制成周期性多层膜；
[0099]7)在制成的周期性多层膜上按照步骤3)沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品；
[0100]8)对步骤7)制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品;
[0101]9)将步骤8)制得的退火处理后的多层膜样品放入等离子体增强化学气相沉积设备的沉积腔内进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。
[0102]步骤3)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率85W，射频频率13.56MHz，基片温度220°C，腔体压强85Pa，使用氢气稀释到体积浓度为10%的SiH4气体20sccm,纯度为99.999%的NH3气体18sccm,镀膜时间4分钟。
[0103]步骤4)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率90W，射频频率13.56MHz，基片温度220°C，腔体压强65Pa，使用氢气稀释到体积浓度为10%的SiH4气体12SCCm，镀膜时间8分钟。
[0104]步骤5)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积非化学计量比碳化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率90W，射频频率13.56MHz，基片温度220°C，腔体压强85Pa，使用氢气稀释到体积浓度为10%的SiH4气体20sccm，纯度为99.999%的CH4气体13sccm，镀膜时间8分钟。
[0105]步骤8)进行高温退火处理的退火方式为:升温前，向石英管退火炉内通入纯度为99.99%?99.999%的氮气并保持4分钟，氮气流量为13sccm，将多层膜样品置于石英舟上推入石英炉内，在氮气氛围下由室温直接升温至800°C，保持30分钟，断开加热电源，多层膜样品于石英炉内在无任何外加冷却措施的条件下通过石英管退火炉自身散热冷却至室温。
[0106]步骤9)氨气等离子体钝化处理的工艺参数为:射频功率85W，射频频率13.56MHz，基片温度280°C，腔体压强80Pa，纯度为99.999%的NH3气体17sccm，钝化时间20分钟。
[0107]以上所述为本发明较佳实施例而已，但本发明不应该局限于该实施实施例所公开的内容。所以凡是不脱离本发明所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本发明保护的范围。
【权利要求】
1.一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤: .1)配制溶液:将氢氧化钾、去离子水和异丙醇混合后搅拌均匀配制成所需溶液；每克氢氧化钾所需去离子水和异丙醇的体积分别为0.5~0.7ml和1.5~2.1ml ； .2)制备图案化的单晶硅衬底:将单晶硅基片放置于步骤I)制得的溶液中，于恒温中保持一段时间至形成图案的平均线度在100~200nm之间； .3)沉积氮化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在图案化的单晶硅上制备氮化硅薄膜； .4)沉积微晶硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤3)制备的氮化硅薄膜上沉积微晶硅薄膜； .5)沉积非化学计量比碳化硅薄膜:采用等离子体增强化学气相沉积技术在步骤4)沉积的微晶硅薄膜上沉积非化学计量比碳化硅薄膜； .6)制备周期性多层膜:重复上述步骤3)、4)和5)，再次沉积氮化硅薄膜、微晶硅薄膜和非化学计量比碳化硅薄膜，循环重复次数为8~15次，制成周期性多层膜； .7)在制成的周期性多层膜上按照步骤3)沉积氮化硅薄膜，制得多层膜样品； .8)对步骤7)制得的多层膜样品进行高温退火处理，制得退火处理后的多层膜样品； .9)将步骤8)制得的退火处理后的多层膜样品放入等离子体增强化学气相沉积设备的沉积腔内进行氨气等离子体钝化处理，制得三维空间分布有序硅量子点。
2.根据权利要求1所述的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，其特征在于:所述单晶硅基片放置于35~55°C恒温水浴内保持3~7分钟，形成图案的平均线度在100~200nm之间。
3.根据权利要求1所述的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，其特征在于步骤3)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率45~85W，射频频率13.56MHz，基片温度200~250°C，腔体压强80~lOOPa，使用氢气稀释到体积浓度为5%~10%的SiH4气体10~20sccm，纯度为99.999%的NH3气体15~20sccm,锻膜时间4~6分钟。
4.根据权利要求1所述的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，其特征在于步骤4)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率70~90W，射频频率13.56MHz，基片温度200~250°C，腔体压强60~85Pa，使用氢气稀释到体积浓度为5%~10%的SiH4气体10~15sccm，镀膜时间5~8分钟。
5.根据权利要求1所述的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，其特征在于步骤5)采用等离子体增强化学气相沉积技术沉积非化学计量比碳化硅薄膜的制备工艺参数为:射频功率50~90W，射频频率13.56MHz，基片温度200~250°C，腔体压强80~lOOPa，使用氢气稀释到体积浓度为5%~10%的SiH4气体15~20sccm，纯度为99.999%的CH4气体10~15sccm，镀膜时间5~8分钟。
6.根据权利要求1所述的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，其特征在于步骤8)进行高温退火处理的退火方式为:升温前，向石英管退火炉内通入纯度为99.99%~99.999%的氮气并保持3~5分钟，氮气流量为10~20sccm，将多层膜样品置于石英舟上推入石英炉内，在氮气氛围下由室温直接升温至700~1000°C，保持15~30分钟，断开加热电源，多层膜样品于石英炉内在无任何外加冷却措施的条件下通过石英管退火炉自身散热冷却至室温。
7.根据权利要求1所述的一种三维空间分布有序硅量子点的制备方法，其特征在于步骤9)氨气等离子体钝化处理的工艺参数为:射频功率45~85W，射频频率13.56MHz，基片温度250~300°C，腔体压强80~lOOPa，纯度为99.999%的NH3气体10~20sccm，钝化时间10~20分钟。
【文档编号】H01L21/314GK103972079SQ201410130901
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年4月1日 优先权日:2014年4月1日
【发明者】姜礼华, 谭新玉, 肖婷, 向鹏 申请人:三峡大学