渐变式方阻薄膜的制作方法与工艺

文档序号:12018895阅读:来源:国知局
渐变式方阻薄膜的制作方法与工艺

技术特征:
1.一种渐变式方阻薄膜,包括薄膜体(1)以及位于所述薄膜体(1)上的金属层(2);其特征是:所述金属层(2)在薄膜体(1)的方阻值呈渐变分布;所述金属层(2)采用质量比为4:6的金属锌、金属铝蒸镀在薄膜体(1)上形成;所述金属层(2)的方阻值为2~20Ω/口,金属层(2)在薄膜体(1)上方阻值的分布特征为2e11t/5D,其中,e为常数2.718,D为薄膜体(1)的宽度,t∈[0D]。2.根据权利要求1所述的渐变式方阻薄膜,其特征是:所述薄膜体(1)采用聚丙烯薄膜。
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