保管设备的制作方法
【专利摘要】本发明实现一种保管设备，能够以简单的构成，抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。保管设备包括：在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置；向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。保管装置包括气体排出部，将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部。气体排出部包括作为限制气体的流量的节流部起作用的节流开口部，节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧。
【专利说明】保管设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种保管设备，其包括在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置、向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。
【背景技术】
[0002]日本特开平11-168135号公报(专利文献I)公开了如上所述的保管设备的一个例子。专利文献I的0101-0118段记载了以下技术:通过向收纳在保管装置的收纳部的容器的内部供给惰性气体，将该容器的内部的气体替换为惰性气体，将该容器的内部的氧、水蒸气的浓度抑制得较低。另外，在专利文献I的0103段记载了在将容器的内部的气体替换为惰性气体时，将与容器的盖部连接的配管作为排出容器内的气体的排气口使用。
【发明内容】
[0003]用于解决问题的方案
可是，如上所述在将容器的内部的气体替换为惰性气体时，包含惰性气体供给部所供给的惰性气体的容器的内部的气体被排出到容器的外部。即，从容器排出的气体中包含与空气相比浓度高的惰性气体，从容器排出的气体的氧浓度与惰性气体的浓度变高相应地降低。因此，将从容器排出的气体原样排出到保管空间的外部是不理想的。这是因为，在惰性气体的浓度高的气体排出到保管空间的外部的情况下，有的情况下需要限制保管装置的周边的操作者的移动范围，或者在操作者操作时停止惰性气体向容器内部的供给。然而，在专利文献I中，关于这一点没有特别的认识。
[0004]因此，期望实现一种保管设备，其能够以简单的构成抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。
[0005]本发明所涉及的保管设备包括:保管装置，在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部；惰性气体供给部，向收纳在所述收纳部的容器的内部供给惰性气体，此处，所述保管装置包括气体排出部，将包含从所述容器排出的气体的所述保管空间的内部的气体排出到所述保管空间的外部，所述气体排出部包括节流开口部，作为限制气体的流量的节流部起作用，所述节流开口部形成在所述收纳部的配置区域的下侧。
[0006]根据上述构成，由于气体排出部被构成为:将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部，因此能够将从容器排出的气体与保管空间的内部的气体混合，之后排出到保管空间的外部。此时，由于气体排出部包括作为节流部起作用的节流开口部，因此与不包括节流开口部的情况相比，能够促进保管空间的内部的气体的混合。即，能够以设有节流开口部这样的简单的构成，利用保管空间使从容器排出的气体与保管空间的内部的气体适当混合，结果，能够抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。
[0007]另外，根据上述构成，由于节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧，因此，能够将利用气体排出部排出气体的部位形成在靠近底板部的位置。因此，例如在保管设备设置在下流式的无尘室内的情况下，能够将气体排出部排出到保管空间的外部的气体边利用下流抑制从底板部的浮起，边流动至无尘室的空气的循环路径中。其结果是，抑制底板部的上侧形成的操作空间中惰性气体的浓度变得容易。
[0008]进一步，配置在最下部的收纳部的高度例如由于在保管空间的内部运送容器的内部运送装置的构造上的限制等，一般而言设定在比底板部高的位置。根据上述构成，由于节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧，因此在最下部的收纳部与底板部之间形成空间的情况下，能够有效利用该空间来设有气体排出部。
[0009]下面，说明本发明的优选实施方式的例子。
[0010]本发明所涉及的保管设备的实施方式中，优选的构成是所述保管装置在所述保管空间的内部的所述收纳部的配置区域的下侧，包括经由所述节流开口部与所述配置区域连通的连通空间，所述气体排出部包括将所述连通空间与所述保管空间的外部连通的外部连通部。
[0011]根据上述构成，由于在连通空间中也使气体混合，因此能够进一步抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。
[0012]在本发明所涉及的保管设备的实施方式中，优选的构成是在所述连通空间配置有控制所述保管装置的工作的控制装置。
[0013]根据上述构成，由于能够利用配置有控制装置的空间来形成连通空间，因此能够抑制设备的设置空间的大型化，并且适当配设气体排出部。
[0014]在本发明所涉及的保管设备的实施方式中，优选的构成是所述节流开口部与所述外部连通部在与上下方向和所述节流开口部的开口方向分别垂直的方向，配置在互不相同的位置。
[0015]根据上述构成，与节流开口部与外部连通部在与上下方向和节流开口部的开口方向分别垂直的方向，配置在彼此相同的位置的情况相比，能够使连通空间的从节流开口部到外部连通部的气体的流动路径复杂化。因此，能够促进连通空间中气体的混合。
[0016]在本发明所涉及的保管设备的实施方式中，优选的构成是所述保管装置包括排出促进部，促进由所述气体排出部排出气体。
[0017]根据上述构成，由于促进由气体排出部排出气体，因此即使在形成有保管空间的内部与外部不经由气体排出部连通的部分的情况下，也能够抑制保管空间的内部的气体经由该部分向保管空间的外部流出。因此，能够抑制惰性气体的浓度高的气体排出到保管空间的外部。
[0018]在本发明所涉及的保管设备的实施方式中，优选的构成是在如上所述所述保管装置包括所述排出促进部的构成中，所述气体排出部包括向所述保管空间的外部送风的风扇，所述排出促进部由所述风扇构成。
[0019]根据上述构成，由于能够从气体排出部侧吸进保管空间的内部的气体，因此与将保管空间的内部的气体引导到气体排出部地从保管空间侧积极地形成气流的情况相比，能够容易得到排出促进部带来的气体的排出促进效果。
[0020]在本发明所涉及的保管设备的实施方式中，优选的构成是所述惰性气体供给部被构成为:向收纳在多个所述收纳部所包含的对象收纳部的所述容器的内部供给惰性气体，所述对象收纳部沿着排列方向配置多个，所述排列方向沿着水平面，所述节流开口部的至少一部分在所述排列方向与所述对象收纳部配置在不同的位置。
[0021]根据上述构成，与节流开口部在排列方向没有与对象收纳部配置在不同的位置的部分的情况相比，由于能够延长对象收纳部与节流开口部之间的距离，因此能够促进保管空间的内部的气体的混合。
[0022]在本发明所涉及的保管设备的实施方式中，优选的构成是所述保管装置包括限制部，在所述收纳部的配置区域的下侧，限制气体不经由所述气体排出部向所述保管空间的外部的排出。
[0023]由于在收纳部的配置区域的下侧形成有节流开口部，因此通过在收纳部的配置区域的下侧的区域中，利用节流开口部限制气体的流量，容易产生气体经由间隙等向保管空间的外部的流出。根据上述构成，鉴于这一点，在收纳部的配置区域的下侧的区域中，能够利用限制部来限制气体不经由气体排出部向保管空间的外部的流出。因此，能够抑制惰性气体的浓度高的气体排出到保管空间的外部。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1是本发明的实施方式所涉及的保管设备的剖视图。
[0025]图2是本发明的实施方式所涉及的保管装置的一部分的剖视图。
[0026]图3是本发明的实施方式所涉及的保管装置的剖视图。
[0027]图4是图3的IV-1V剖视图。
[0028]图5是图3的V-V剖视图。
[0029]符号说明
1:保管设备
4:容器
5:控制装置
10:保管装置
I1:收纳部
12:对象收纳部 16:限制部 18:排出促进部
40:气体排出部
41:节流开口部
42:外部连通部
43:风扇
50:惰性气体供给部
90:保管空间
91:连通空间 A:排列方向
O:开口方向 V:上下方向。
【具体实施方式】
[0030]参照附图来说明本发明所涉及的保管设备的实施方式。此处，如图1所示，以本发明所涉及的保管设备适用于设置在无尘室内的保管设备I的情况为例进行说明。
[0031]1.保管设备的整体构成
保管设备I如图1所示，包括保管装置10和惰性气体供给部50。保管装置10是保管容器4的装置，包括多个收纳容器4的收纳部11。而且，向收纳在收纳部11的容器4的内部，利用惰性气体供给部50供给惰性气体。后述关于保管装置10和惰性气体供给部50的细节。
[0032]在本实施方式中，容器4是能将内部空间封闭为气密状态的容器。在容器4的内部,例如容纳半导体基板、掩膜基板等。在本实施方式中，容器4包括主体部、相对于该主体部自由装拆的盖部，在盖部相对于主体部安装的状态下，容器4的内部空间被封闭为气密状态。在本实施方式中，作为容器4,使用符合SEMI (Semiconductor Equipment andMaterials Internat1nal)规格的合成树脂制的气密容器，具体而言使用FOUP (FrontOpening Unified Pod)。
[0033]在本实施方式中，如图1所示，保管设备I还包括外部运送装置2。在本实施方式中，外部运送装置2是沿着配设在天花板部87的轨道行驶的提升式的运送车。外部运送装置2在把持容器4的上表面所形成的凸缘部的状态下，运送该容器4。如图1所示，保管设备I包括在保管装置10的内部与外部之间使容器4移动的移动装置84。此外，保管装置10的内部是指后述的保管空间90的内部，保管装置10的外部是指后述的保管空间90的外部。在本实施方式中，移动装置84由输送机构成。
[0034]移动装置84配设为贯穿保管装置10的壁体14。g卩，在壁体14的移动装置84的配设部位形成有开口部70。移动装置84使容器4在位于保管装置10的外部的外部移载部位、位于保管装置10的内部的内部移载部位之间移动。而且，在所述外部移载部位进行容器4在外部运送装置2与移动装置84之间的移载，在所述内部移载部位进行容器4在后述的内部运送装置3与移动装置84之间的移载。即，外部运送装置2被构成为将入库到保管装置10的容器4在所述外部移载部位传递给移动装置84，并且在所述外部移载部位从移动装置84接受从保管装置10出库的容器4。从外部运送装置2传递给移动装置84的容器4由移动装置84运送至保管装置10的内部，之后由内部运送装置3运送至收纳部11。另外，由内部运送装置3从收纳部11运送至移动装置84的容器4由移动装置84运送至保管装置10的外部，之后由外部运送装置2接受。
[0035]在本实施方式中，保管设备I设置在清洁空气从天花板侧向底板侧向下流通的下流式的无尘室内。无尘室的底板部88由下部底板82、配设在下部底板82的上侧的上部底板81构成，在上部底板81与天花板部87之间形成操作空间92，在上部底板81与下部底板82之间形成底板下空间93。上部底板81是栅格底板，形成多个在上下方向V(厚度方向)贯穿的通气孔。下部底板82是没有通气孔的底板，在本实施方式中，由无孔状的混凝土构成。
[0036]从天花板部87向底板部88流动的空气经由上部底板81流动到底板下空间93，之后，经由设在操作空间92的外部的连接流路(未图示)供给到天花板部87。供给到天花板部87的空气从设在天花板部87的排放口(未图示)向下侧吹出。通过这样，无尘室内的空气进行循环。省略了细节，但从底板下空间93向连接流路流动的空气被空气过滤器等净化，该空气过滤器配设在直到天花板部87的排放口的路径上。
[0037]无尘室内的操作者在操作空间92的内部，例如以站在上部底板81的状态进行操作(例如维护操作等)。在本实施方式中，操作者在操作空间92的内部进行的操作包含容器4相对于保管装置10的出入库操作。如图4所示，在保管装置10包括操作者在进行容器4相对于保管装置10的出入库操作时利用的载放装置86。虽然图示省略了，但在壁体14中的载放装置86的配设部位设有:操作者使容器4通过的操作者用开口部、将该操作者用开口部开关的开关部件(例如闸门等)。该开关部件被构成为基本上切换为关闭状态，在关闭状态下将操作者用开口部气密地关闭。操作者在将容器4入库到保管装置10时，即在将容器4传递给载放装置86时，对开关部件进行打开操作，之后，经由操作者用开口部使容器4从保管装置10的外部移动至内部。另外，操作者在将容器4从保管装置10出库时，SP从载放装置86接受容器4时，对开关部件进行打开操作，之后经由操作者用开口部使容器4从保管装置10的内部移动至外部。
[0038]载放装置86也可以构成为包括贯穿操作者用开口部而配设的输送机，容器4在操作者与载放装置86之间的移载在该输送机的位于保管装置10的外部的部分进行。在该情况下，可以是不设有对操作者用开口部进行开关的开关部件，操作者用开口部始终开放的构成。
[0039]在本实施方式中，如图4所示，保管装置10包括多个移动装置84和多个载放装置86。具体而言，保管装置10包括2个移动装置84和2个载放装置86。在这样设有多个移动装置84的情况下，一部分移动装置84可以为入库用的移动装置，另一部分移动装置84可以为出库用的移动装置。同样，在设有多个载放装置86的情况下，一部分载放装置86可以为入库用的载放装置，另一部分载放装置86可以为出库用的载放装置。
[0040]2.保管装置的构成
如图1所示，保管装置10包括规则地排列有多个收纳部11的收纳架6。在本实施方式中，保管装置10还包括:在保管装置10的内部运送容器4的内部运送装置3。如图2所示，收纳架6所包括的多个收纳部11沿着排列方向A排列。此处，排列方向A是沿着水平面的方向。若设与沿着水平面的方向的排列方向A垂直的方向为排列垂直方向B,则在本实施方式中，后述的开口方向O如图2和图3所示，设定为与排列垂直方向B平行的方向。在本实施方式中，如图1所示，收纳架6所包括的多个收纳部11除了排列方向A外还沿着上下方向V(铅垂方向)排列。
[0041]内部运送装置3的行驶路径如图2所示，沿着排列方向A延伸而形成。关于收纳架6，若设容器4相对于收纳部11的出入侧为架前表面侧，则收纳架6固定在底板部88，使得架前表面侧与内部运送装置3的行驶路径侧(换言之为内部运送装置3的移动空间侧)一致。在本实施方式中，如图1所示，以收纳架6的底部7经由支柱9被下部底板82支撑的状态，收纳架6相对于下部底板82固定。即，在本实施方式中，收纳架6的底部7配置在从下部底板82向上方离开的位置，在底部7与下部底板82之间形成沿着水平面延伸的间隙。
[0042]在本实施方式中，内部运送装置3是堆垛起重机，包括:行驶体3a，沿着配设在底板部88的轨道83行驶移动；立柱3b，竖直设置在行驶体3a ;以及升降体3c，以被立柱3b引导的状态进行升降移动。在本实施方式中，轨道83配设在下部底板82。升降体3c包括移载装置3d，移载装置3d用于在升降体3c与收纳部11之间移载容器4。在本实施方式中，移载装置3d被构成为能在升降体3c与移动装置84之间、升降体3c与载放装置86之间移载容器4。省略了详细说明，但本实施方式所涉及的移载装置3d中具有对容器4进行载放支撑的载放支撑体，其能够在向收纳部11 一侧突出的突出位置和向升降体3c —侧退避的退避位置之间突出和退避。而且，堆垛起重机通过使位于突出位置的载放支撑体上升移动，进行从收纳部11抓起容器4并载放在载放支撑体的抓取处理，并且通过使位于突出位置的载放支撑体下降移动，进行将载放在载放支撑体的容器4放下到收纳部11的放下处理。
[0043]如图2所示，收纳部11包括对容器4进行载放支撑的载放支撑部15。载放支撑部15为了形成移载装置3d的所述载放支撑体在上下方向V通过的空间，上下方向观察的形状形成为U形。载放支撑部15包括多个(本例中为3个)定位用的突出部15p，突出部15p形成为从载放支撑部15的上表面向上方突出。省略了图示，但在容器4的底面形成多个(本例中为3个)突出部15p进行卡合的卡合部(例如卡合槽)，在突出部15p与容器4的卡合部卡合的状态下，容器4相对于载放支撑部15定位。
[0044]在本实施方式中，保管装置10包括多个收纳架6。具体而言，如图1和图2所示，保管装置10包括夹着内部运送装置3的行驶路径沿排列垂直方向B对置配置的第一收纳架6a和第二收纳架6b。S卩，在第一收纳架6a与第二收纳架6b之间形成有内部运送装置3的移动空间。在本实施方式中，第一收纳架6a与第二收纳架6b的排列方向A的宽度设定为彼此相等，并且排列垂直方向B的宽度设定为彼此相等。而且，沿排列垂直方向B对置的第一收纳架6a与第二收纳架6b配置在排列方向A的彼此相同的位置。在本实施方式中，如图1所示，第一收纳架6a沿着无尘室的内壁配置，第二收纳架6b相对于第一收纳架6a配置在该内壁的相反侧。而且，如图4所示，所述外部运送装置2用的移动装置84、操作者用的载放装置86在第二收纳架6b中代替收纳部11而设。
[0045]在本实施方式中，如图3-图5所示，2个第一收纳架6a在排列方向A并列而设，并且，2个第二收纳架6b在排列方向A并列而设。在本实施方式中，2个第一收纳架6a在排列方向A互相离开而配置，并且2个第二收纳架6b在排列方向A互相离开而配置。若设包括沿排列垂直方向B对置配置的第一收纳架6a和第二收纳架6b的构成单位为保管部，则在本实施方式中，保管装置10如图2-图5所示，包括在排列方向A并列而设的第一保管部1a和第二保管部10b。第一保管部1a和第二保管部1b基本上是同样的构成，但如图4所示，在本实施方式中，第一保管部1a与第二保管部1b在如下几点具有不同的构成:第二收纳架6b中的移动装置84的配设位置(排列方向A的配设位置)不同；仅在第一保管部1a的第二收纳架6b设有载放装置86。
[0046]保管装置10的多个收纳部11配置在与外部划分形成的保管空间90的内部。在本实施方式中，保管空间90的与上下方向V垂直的截面形状沿着上下方向V —样形成。而且，在本实施方式中，如图3所示，该截面形状形成为具有与排列方向A平行的两边、与排列垂直方向B平行的两边的矩形。即，在本实施方式中，保管空间90形成为长方体状的空间。在本实施方式中，收纳架6包括多个收纳部11，并且保管装置10包括多个收纳架6 (具体而言为2个第一收纳架6a和2个第二收纳架6b),该多个收纳架6如图3所示,配置在同一保管空间90的内部。
[0047]保管装置10包括用于对保管空间90进行划分形成的壁体14。在本实施方式中，壁体14如图3所示,在上下方向V观察,包括包围多个收纳架6的周围的周壁部14a。周壁部14a形成为沿着上下方向V延伸的筒状，周壁部14a的与上下方向V垂直的截面的形状形成为具有与排列方向A平行的两边、和与排列垂直方向B平行的两边的矩形。如图3所示，周壁部14a的排列方向A的宽度设定得大于在排列方向A并列的2个收纳架6占据的排列方向A的区域。而且，收纳架6分别配置在从周壁部14a沿排列方向A离开的位置，使得在周壁部14a之间形成排列方向A的间隙。另外，周壁部14a的排列垂直方向B的宽度设定为与夹着内部运送装置3的移动空间对置的第一收纳架6a和第二收纳架6b占据的排列垂直方向B的范围一致。因此，收纳架6分别配置为架后表面侧(架前表面侧的相反侧)沿着周壁部14a的内表面。此外，周壁部14a的排列垂直方向B的宽度设定得大于夹着内部运送装置3的移动空间对置的第一收纳架6a和第二收纳架6b占据的排列垂直方向B的区域，收纳架6配置在从周壁部14a沿排列垂直方向B离开的位置，使得与周壁部14a之间形成排列垂直方向B的间隙。
[0048]如图1所示，在周壁部14a形成用于配设移动装置84的开口部70，并且在载放装置86(参照图4)的配设部位形成所述操作者用开口部。另外，细节后述，但在周壁部14a形成有外部连通部42 (参照图1、图3)。周壁部14a被构成为除了这些开口部70、操作者用开口部、和外部连通部42的形成部位外，气体不能沿水平方向流动地划分保管空间90的内部与外部。此外，在本实施方式中，如上所述，操作者用开口部基本上被气密地关闭。另一方面，在本实施方式中，开口部70始终开放。也可以构成为设有对开口部70进行开关的开关部件，仅在移动装置84使用时将开口部70开放。
[0049]在本实施方式中，如图1所示，保管装置10包括从保管空间90的上部向下侧送风的送风装置85。送风装置85吸进保管空间90的外部的空气并供给至保管空间90的内部。送风装置85设为塞住在周壁部14a的上端部形成的矩形的开口部。利用送风装置85的通风作用，在保管空间90的内部形成向下的气体流动。在本实施方式中，送风装置85由风扇过滤器单元构成，在本例中，多个风扇过滤器单元塞住周壁部14a的上侧的开口部地并列。此外，风扇过滤器单元是一体组装有送风风扇与除尘过滤器的送风单元。由送风装置85供给至保管空间90的内部的空气是由风扇过滤器单元(除尘过滤器)将无尘室内的空气净化了的空气。
[0050]如图1所示，收纳架6的底部7与周壁部14a的下端部配置在上下方向V的相同位置。而且,如图4和图5所示，底部7由不能通气的无孔板45构成。具体而言，底部7是将板面沿着水平面朝向的2个无孔板45沿排列方向A并列而构成的。因此，在周壁部14a的下端部所形成的开口部限制上下方向V的气体经由底部7的流动。
[0051]另外，如图2-图5所示，在周壁部14a的下侧的开口部的收纳架6与周壁部14a之间的排列方向A的间隙区域中，配设限制该间隙区域的上下方向V的气体的流动的板状部件63。板状部件63是板面沿着水平面朝向配置的不能通气的无孔板，与底部7配置在上下方向V的相同位置。而且，板状部件63的上下方向观察的形状形成为与所述间隙区域一致的矩形。即，板状部件63的排列方向A的宽度设定得与所述间隙区域相等，并且排列垂直方向B的宽度设定得与底部7相等。
[0052]进一步，如图3-图5所示，沿排列方向A相邻的收纳架6彼此之间的架间区域中配设有沿上下方向V延伸的筒状部件61。筒状部件61包括不能通气的筒状的壁部，筒状部件61的与上下方向V垂直的截面的形状如图3所示，形成为与所述架间区域一致的矩形。即，筒状部件61的排列方向A的宽度设定得与所述架间区域相等，并且排列垂直方向B的宽度设定得与底部7相等。另外，筒状部件61的上端部与周壁部14a的上端部配置在上下方向V的相同位置。筒状部件61的下端部与周壁部14a的下端部配置在上下方向V的相同位置、或者与周壁部14a的下端部相比配置在下侧。在本实施方式中，如图4和图5所示，筒状部件61的下端部与周壁部14a的下端部相比配置在下侧，具体而言，配置在下部底板82上。
[0053]由于以上构成，因此在周壁部14a的下侧的开口部中，仅在排列垂直方向B的中央部形成的矩形区域、具体而言在排列垂直方向B的第一收纳架6a的底部7与第二收纳架6b的底部7之间形成的矩形区域，容许上下方向V的气体的流动。即，在本实施方式中，不阻塞周壁部14a的下侧的开口部，利用所述矩形区域形成气体能在上下方向V流动的流动开口部71(参照图1、图3)。而且，为了限制通过流动开口部71向下方流动的气体向保管装置10的外部流出，在保管装置10设有限制部16。
[0054]限制部16如图1、图4、图5所示，与在流动开口部71和底板面之间的间隙(本例中为底部7与下部底板82之间的间隙)具有相同的高度。另外，限制部16在上下方向观察，沿着流动开口部71的缘部配设。具体而言，在本实施方式中，流动开口部71是矩形的开口部，限制部16具有在排列方向A平行延伸的2个第一延伸部16a、在排列垂直方向B延伸的2个第二延伸部16b。分别在排列方向A的两侧，2个第一延伸部16a的端部彼此由I个第二延伸部16b连接。
[0055]具体而言，如图4和图5所示，第一延伸部16a的排列方向A的长度设定为与周壁部14a的排列方向A的宽度相等。而且，如图1所示，一个第一延伸部16a与第一收纳架6a的底部7的架前表面侧的端部配置在排列垂直方向B的相同位置，另一个第一延伸部16a与第二收纳架6b的底部7的架前表面侧的端部配置在排列垂直方向B的相同位置。如图4和图5所示，一个第二延伸部16b与周壁部14a的排列方向A的一侧的端部配置在排列方向A的相同位置，另一个第二延伸部16b与周壁部14a的排列方向A的另一侧的端部配置在排列方向A的相同位置。
[0056]3.惰性气体供给部的构成
惰性气体供给部50向收纳在收纳部11的容器4的内部供给惰性气体。此处，惰性气体是指与容纳在容器4的容纳物的反应性低(实际上不会产生成为问题的化学反应)的气体，在本实施方式中，使用氮气作为惰性气体。此外，也可以使用氩气、氪气等稀有气体作为惰性气体。
[0057]在本实施方式中，惰性气体供给部50被构成为向收纳在多个收纳部11所包含的对象收纳部12的容器4的内部供给惰性气体。即，在本实施方式中，保管装置10包括的多个收纳部11被分类为对象收纳部12、对象收纳部12以外的非对象收纳部13。在本实施方式中，如图1所示，第一收纳架6a包括的多个收纳部11为对象收纳部12，第二收纳架6b包括的多个收纳部11为非对象收纳部13。
[0058]如图2所示，对象收纳部12包括的载放支撑部15包括:用于向容器4的内部供给惰性气体的给气部53 ;用于从容器4的内部排出气体的排气部54。在本实施方式中，载放支撑部15包括3个给气部53和I个排气部54。给气部53构成为包括排放喷嘴。另外，排气部54包括端部在保管空间90的内部开放的排气管，被构成为将容器4的内部的气体排出到保管空间90的内部。省略了图示，但在容器4的底部设有给气口和排气口，在容器4载放支撑在载放支撑部15的状态下，给气部53与容器4的给气口连通，并且排气部54与容器4的排气口连通。在该状态下，惰性气体供给部50边经由排气部54使容器4的内部的气体排出到容器4的外部，边经由给气部53将惰性气体供给至容器4的内部。由此，容器4的内部的气体被替换为惰性气体。此外，在容器4的给气口和排气口分别设有开关阀，该开关阀被向着闭阀侧施力，并且在利用惰性气体供给部50供给惰性气体时通过气体的压力而开阀。
[0059]惰性气体供给部50包括:与惰性气体的供给源(例如气瓶等)连接的第一配管51a ;将第一配管51a与给气部53连接的第二配管51b。如图1、图2、图5所示，第一配管51a沿上下方向V延伸而配设，第二配管51b从第一配管51a分岔并沿水平方向延伸而配设。第二配管51b与对象收纳部12的上下方向V的排列数设为相同数量，多个第二配管51b在上下方向V的多个对象收纳部12分别对应的位置分开配置。
[0060]如图2和图5所示，第一配管51a在形成于第一收纳架6a的配管空间17的内部沿上下方向V延伸而配设。在本实施方式中，通过将在第一收纳架6a的排列方向A的一部分的区域(本例中为端部区域)，在上下方向V的所有的位置不利用为对象收纳部12，从而形成配管空间17。即，在本实施方式中，配管空间17在第一收纳架6a的排列方向A的端部的区域(排列方向A的宽度与对象收纳部12相等的区域)，形成沿上下方向V连续的空间。因此，如图2所示，第一收纳架6a的收纳部11的排列方向A的排列数(本例中为3个)比第二收纳架6b少I个。即，第一收纳架6a中，对象收纳部12沿着排列方向A配置多个，在本实施方式中，沿着排列方向A配置3个对象收纳部12。
[0061]如图2和图5所示，第二配管51b经由流量调节装置52，与供给对象的对象收纳部12 (本例中为3个对象收纳部12)的给气部53连接。流量调节装置52是调节向给气部53一侧的惰性气体的供给流量的装置，分别对于多个对象收纳部12分别设置。流量调节装置52将供给流量调整为从流量控制装置指示的目标流量。流量控制装置根据规定了目标流量与供给时间的供给模式，对于流量调节装置52指示目标流量。
[0062]在向收纳在对象收纳部12的容器4的内部供给惰性气体时，使用保管用供给模式作为供给模式。保管用供给模式例如是如下模式:从容器4完成向对象收纳部12的收纳的时间点开始的设定时间期间，将目标流量设定为第一流量，在经过设定时间后，将目标流量设定为比第一流量少的第二流量。此外，也可以是在经过设定时间后，间歇地供给惰性气体的模式。这样，在根据保管用供给模式向容器4的内部供给惰性气体时，包含惰性气体供给部50所供给的惰性气体的容器4的内部的气体经由载放支撑部15的排气部54，排出到保管空间90的内部。另外，在本实施方式中，尽管容器4是能将内部空间封闭为气密状态的容器，但在供给惰性气体时，由于容器4的内部压力提高，包含惰性气体供给部50所供给的惰性气体的容器4的内部的气体会经由主体部与盖部之间的间隙，排出到保管空间90的内部。
[0063]在本实施方式中，作为供给模式，除了所述保管用供给模式以外，还准备了喷嘴净化用供给模式和管线净化用供给模式。喷嘴净化用供给模式是对于容器4被收纳预定时间内的对象收纳部12，在将给气部53的排放喷嘴净化时使用的。管线净化用供给模式是在保管装置10设置时等，除了给气部53的排放喷嘴外还将流量调节装置52与给气部53之间的配管净化时使用的。在使用这些喷嘴净化用供给模式、管线净化用供给模式时，由于容器4未支撑在载放支撑部15，因此惰性气体供给部50向载放支撑部15的给气部53供给的惰性气体原样排出到保管空间90的内部。
[0064]4.气体排出部的构成
如上所述，在惰性气体供给部50向收纳在对象收纳部12的容器4的内部供给惰性气体时,包含惰性气体供给部50所供给的惰性气体的容器4的内部的气体排出到保管空间90的内部。而且，包含这样从容器4排出的气体的保管空间90的内部的气体由保管装置10包括的气体排出部40，排出到保管空间90的外部。
[0065]气体排出部40如图1和图4所示，包括与收纳部11的配置区域相比形成在下侧的节流开口部41。节流开口部41作为限制气体的流量的节流部起作用。在本实施方式中，如图1所示，沿上下方向V排列为多个的收纳部11中配置在最下侧的收纳部11与底部7之间设有划分部8，节流开口部41在上下方向V形成于划分部8与底部7之间。在保管空间90的与划分部8相比的上侧形成有收纳部11的配置区域，在保管空间90的与划分部8相比的下侧形成有不配置收纳部11的下部空间。
[0066]如图1、图4、图5所示，在本实施方式中，划分部8的排列方向A的宽度设定得与底部7相等，并且排列垂直方向B的宽度设定得与底部7相等。而且，如图3-图5所示，在相同收纳架6所包括的底部7与划分部8之间形成的空间的排列方向A的一侧被筒状部件61划分为排列方向A的气体不能流动，该空间的排列方向A的另一侧被无孔板45划分为排列方向A的气体不能流动。该无孔板45配设为将底部7与划分部8的各自排列方向A的相同侧的端部彼此连接。另外，该无孔板45以板面沿着与排列方向A垂直的面的朝向配置，排列垂直方向B的宽度设定得分别与底部7和划分部8相等。
[0067]如图3和图5所示，在本实施方式中，第一收纳架6a的划分部8由多孔板44构成。此处，多孔板44是指形成多个贯穿厚度方向的通气孔的板状体，例如使用网格板(网板)、穿孔板等。具体而言，第一收纳架6a的划分部8将板面沿着水平面朝向的2个多孔板44在排列方向A并列而构成。由此，在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间的上侧被划分为上下方向V的气体能流动。另外，在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间的下侧被底部7划分为上下方向V的气体不能流动。
[0068]如图5所示，板面沿着与排列垂直方向B垂直的面朝向的2个多孔板44在排列方向A并列配设，以将第一收纳架6a的划分部8与底部7的各架前表面侧的端部彼此连接。由此，在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间的架前表面侧被划分为排列垂直方向B的气体能流动。另外，在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间的架后表面侧被周壁部14a划分为排列垂直方向B的气体不能流动。
[0069]另一方面，如图3和图4所示，在本实施方式中，第二收纳架6b的划分部8由无孔板45构成。具体而言，第二收纳架6b的划分部8将板面沿着水平面朝向的2个无孔板45在排列方向A并列而构成。由此，在第二收纳架6b的底部7与划分部8之间形成的空间的上侧被划分为上下方向V的气体不能流动。另外，在第二收纳架6b的底部7与划分部8之间形成的空间的下侧被底部7划分为上下方向V的气体不能流动。
[0070]配设板面沿着与排列垂直方向B垂直的面朝向的无孔板45，以将第二收纳架6b的划分部8与底部7的各架前表面侧的端部彼此连接。该无孔板45配设为仅在排列方向A的一部分的区域，将划分部8与底部7的各架前表面侧的端部彼此连接，在不配设无孔板45的部分形成作为节流开口部41起作用的开口部。在本实施方式中，在节流开口部41配设有板面沿着与排列垂直方向B垂直的面朝向的多孔板44。因此，关于在第二收纳架6b的底部7与划分部8之间形成的空间的架前表面侧，在无孔板45的配置区域被划分为排列垂直方向B的气体不能流动，在节流开口部41的配置区域被划分为排列垂直方向B的气体能流动。另外，在第二收纳架6b的底部7与划分部8之间形成的空间的架后表面侧除了后述外部连通部42的形成部位外，被周壁部14a划分为排列垂直方向B的气体不能流动。
[0071]在本实施方式中，节流开口部41的开口方向O设定为与排列垂直方向B平行的方向。在本实施方式中，节流开口部41的上下方向V的宽度设定得与底部7与划分部8的上下方向V的间隔相等。另外，在本实施方式中，节流开口部41的排列方向A的宽度设定得比第二收纳架6b的排列方向A的宽度窄，窄的程度是将划分部8与底部7的各架前表面侧的端部彼此连接的无孔板45的排列方向A的宽度，由此，节流开口部41作为限制气体的流量的节流部起作用。在本实施方式中，该无孔板45配置在包含排列方向A的一侧(图3中的下侧、图4中的右侧)的端部的排列方向A的区域，节流开口部41形成于包含排列方向A的另一侧(图3中的上侧、图4中的左侧)的端部的排列方向A的区域。另外，在本实施方式中，该无孔板45的排列方向A的宽度设定为第二收纳架6b的排列方向A的宽度的一半，节流开口部41的排列方向A的宽度为第二收纳架6b的排列方向A的宽度的一半。
[0072]在本实施方式中，节流开口部41的至少一部分在排列方向A配置在与对象收纳部12不同的位置。此外，在本申请说明书中，关于2个部位“在某方向的位置不同”是指2个部位的各该方向的配置区域没有互相重叠的部分。在本实施方式中，如图2所示，节流开口部41的排列方向A的一侧(图2中的上侧)的部分配置在与对象收纳部12在排列方向A不同的位置，节流开口部41的排列方向A的另一侧(图2中的下侧)的部分配置在与对象收纳部12在排列方向A的相同位置。即，在本实施方式中，节流开口部41与对象收纳部12配置为在排列方向A的配置区域互相重叠。
[0073]具体而言，如图2所示，在本实施方式中，3个对象收纳部12与配管空间17相比配置在排列方向A的另一侧，以在排列方向A的一侧的端部形成配管空间17。节流开口部41在配管空间17和与配管空间17邻近的I个对象收纳部12占据的排列方向A的范围(本实施方式中为第二收纳架6b的排列方向A的宽度的一半的范围)形成。因此，节流开口部41的与排列方向A的中央部相比的一侧的部分与配管空间17配置在排列方向A的相同位置，节流开口部41的排列方向A的另一侧的部分与对象收纳部12配置在排列方向A的相同位置。这样，在本实施方式中，节流开口部41的排列方向A的配置区域、在排列方向A并列的多个(本例中为3个)对象收纳部12的排列方向A的配置区域在排列方向A互相偏离地形成，使得各一部分彼此互相重叠。
[0074]在本实施方式中，如上所述，在周壁部14a的下侧的开口部形成有流动开口部71，但通过流动开口部71向下方流动的气体向保管空间90的外部的气体流出被限制部16限制。即，该限制部16在收纳部11的配置区域的下侧，限制气体不经由气体排出部40向保管空间90的外部的排出。因此，在本实施方式中，在保管空间90中的划分部8的下侧形成的下部空间形成为能将从上侧(即、收纳部11的配置区域侧)流入的气体仅经由气体排出部40排出到保管空间90的外部。即，被构成为从上侧流入下部空间的气体如果不通过节流开口部41就不会排出到保管空间90的外部。此处，由于节流开口部41作为限制气体的流量的节流部起作用，因此在保管空间90的内部，流量被节流开口部41限制，促进了保管空间90的内部的气体的混合。由此，能够将惰性气体供给部50所供给的惰性气体在排出到保管空间90的外部期间，与保管空间90的内部的气体适当混合，能够抑制由气体排出部40排出的气体中的惰性气体的浓度。
[0075]在本实施方式中，为了进一步抑制由气体排出部40排出的气体所包含的惰性气体的浓度，气体排出部40被构成为将通过节流开口部41的气体经由连通空间91和外部连通部42，排出到保管空间90的外部。此处，连通空间91是保管空间90的内部中形成在收纳部11的配置区域下侧的空间，是经由节流开口部41与收纳部11的配置区域连通的空间。在本实施方式中，利用在第二收纳架6b的底部7与划分部8之间形成的空间形成连通空间91。在本实施方式中，连通空间91经由节流开口部41和该连通空间91的架前表面侧的保管空间90的部分，与收纳部11的配置区域连通。
[0076]气体排出部40如图1、图3、图4所示，包括将连通空间91与保管空间90的外部连通的外部连通部42。连通空间91的节流开口部41和外部连通部42以外的部分被划分为气体不能流动。而且，气体排出部40将经由节流开口部41导入至连通空间91的气体，经由外部连通部42排出到保管空间90的外部。外部连通部42与节流开口部41同样，排列方向A的宽度设定得比第二收纳架6b的排列方向A的宽度窄，作为限制气体的流量的节流部起作用。在本实施方式中，外部连通部42的排列方向A的宽度设定得比第二收纳架6b的排列方向A的宽度的一半窄。因此，在连通空间91中也能够促进气体的混合，其结果是，能够抑制从外部连通部42排出的气体中惰性气体的浓度。此外，在图4中，为了易于理解发明，用点划线示出配置在纸面外侧的外部连通部42。
[0077]如图1和图3所示，在本实施方式中，外部连通部42由开口部构成，该开口部沿排列垂直方向B贯穿壁体14的周壁部14a而形成。因此，外部连通部42的开口方向与节流开口部41的开口方向O同样,是与排列垂直方向B平行的方向。而且,如图3和图4所不，在本实施方式中，节流开口部41与外部连通部42在与上下方向V和开口方向O分别垂直的方向(本实施方式中与排列方向A—致)，配置在互不相同的位置。即，节流开口部41与外部连通部42配置为排列方向A的配置区域不互相重叠。具体而言，节流开口部41配置在连通空间91的排列方向A中与中央部相比的排列方向A的一侧的区域，外部连通部42配置在与该中央部相比的排列方向A的另一侧的区域。进一步，在本实施方式中，如图1和图4所示，外部连通部42与节流开口部41配置在上下方向V的相同位置。
[0078]如图3和图4所示，在本实施方式中，外部连通部42包括在排列方向A并列配置的第一外部连通部42a和第二外部连通部42b。第一外部连通部42a与第二外部连通部42b在排列方向A互相离开形成。第二外部连通部42b在排列方向A的第一外部连通部42a与节流开口部41之间，排列方向A的配置区域与节流开口部41的排列方向A的配置区域不重叠地配置。这样，在本实施方式中，外部连通部42由在排列方向A互相离开而形成的多个连通部的集合构成。
[0079]可是，保管空间90中在划分部8的上侧形成的空间在开口部70与保管空间90的外部连通。另外，保管空间90中在划分部8的上侧形成的空间在载放装置86(参照图4)的配设部位形成的操作者用开口部开放的状态下，经由该操作者用开口部与保管空间90的外部连通。在本实施方式中，为了抑制保管空间90的内部的气体经由这些开口部70、操作者用开口部排出到保管空间90的外部，在保管装置10包括排出促进部18，促进利用气体排出部40排出气体。
[0080]在本实施方式中，气体排出部40包括朝向保管空间90的外部送风的风扇43，排出促进部18由风扇43构成。风扇43如图3所示安装在外部连通部42，被构成为将经由外部连通部42吸进的连通空间91的气体吹出到保管空间90的外部。如上所述，在本实施方式中，外部连通部42包括第一外部连通部42a和第二外部连通部42b，在第一外部连通部42a和第二外部连通部42b分别安装有风扇43。在本实施方式中，风扇43配设为从周壁部14a向保管空间90的外部沿水平方向突出。在本实施方式中，风扇43的风量的大小被设定为，在所述开口部70、操作者用开口部形成朝向保管空间90的内部方向的气流。
[0081]可是，在本实施方式中，如图1所示，在连通空间91配置控制装置5，控制保管装置10的工作。在本实施方式中，进一步在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间也配置有控制装置5。在本实施方式中，在保管装置10除了控制所述流量调节装置52的流量控制装置外，包括控制内部运送装置3的工作的运送控制装置、管理保管装置10中容器4的在库状态等的管理装置。而且，这些流量控制装置、运送控制装置和管理装置中的至少一个装置的至少一部分在连通空间91中配置作为控制装置5，并且在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间中配置作为控制装置5。此外，也可以是在连通空间91不配置控制装置5的构成。
[0082]5.其他实施方式
最后，说明本发明所涉及的其他实施方式。此外，由以下的各实施方式公开的构成只要不产生矛盾，就可以与由其他实施方式公开的构成组合适用。
[0083](I)在上述实施方式中，以节流开口部41与外部连通部42配置在排列方向A的互不相同的位置的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成可以是外部连通部42的一部分与节流开口部41配置在排列方向A的不同位置，外部连通部42的其余的一部分与节流开口部41配置在排列方向A的相同位置。例如，图3中构成可以是将第二外部连通部42b向图中上侧偏移配置，第二外部连通部42b的排列方向A的配置区域的一部分或者全部包含在节流开口部41的排列方向A的配置区域。另外，构成也可以是外部连通部42在与第二外部连通部42b相比的排列方向A的第一外部连通部42a的相反侧包括第三外部连通部，该第三外部连通部的排列方向A的配置区域的一部分或者全部包含在节流开口部41的排列方向A的配置区域。这样，与上述实施方式不同，构成可以是节流开口部41与外部连通部42配置为排列方向A的配置区域互相重叠。此外，构成可以是外部连通部42不具有与节流开口部41配置在排列方向A的不同的位置的部分，外部连通部42的排列方向A的配置区域包含在节流开口部41的排列方向A的配置区域。
[0084](2)在上述实施方式中，以节流开口部41的一部分在排列方向A与对象收纳部12配置在不同位置的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成也可以是节流开口部41的全部与对象收纳部12配置在排列方向A的不同的位置。例如，在图2所示的构成中，构成可以是不设有相对于配管空间17在排列方向A邻近的对象收纳部12，或者构成可以是节流开口部41的排列方向A的配置区域包含在配管空间17的排列方向A的配置区域。另外，构成也可以是节流开口部41的全部与对象收纳部12配置在排列方向A的相同位置。即，构成可以是节流开口部41的排列方向A的配置区域包含在I个对象收纳部12的排列方向A的配置区域、可以是包含在排列方向A并列的多个对象收纳部12的排列方向A的配置区域。例如，在图2所示的构成中，构成可以是替换将第二收纳架6b的划分部8与底部7的各架前表面侧的端部彼此连接的无孔板45和多孔板44 (配设在节流开口部41的多孔板44)。
[0085](3)在上述实施方式中，以节流开口部41由I个开口部构成的情况为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。即，也可以是节流开口部41由在排列方向A互相离开形成的多个(例如2个或者3个)开口部的集合构成。
[0086](4)在上述实施方式中，以收纳部11的配置区域下侧的构成(在划分部8与底部7之间形成的空间的构成)在第一保管部1a与第二保管部1b为共通的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成可以是在第一保管部1a与第二保管部10b，节流开口部41的排列方向A的宽度设定为互不相同的大小。另外，构成也可以是在第一保管部1a与第二保管部10b，将第二收纳架6b的划分部8与底部7的各架前表面侧的端部彼此连接的无孔板45和多孔板44(配设在节流开口部41的多孔板44)的排列方向A的并列顺序相反。例如，在图3所示的构成中，构成可以是仅对于第二保管部10b，替换将第二收纳架6b的划分部8与底部7的各架前表面侧的端部彼此连接的无孔板45与多孔板44。此外，保管装置10的构成可以是仅包括I个保管部、可以是包括在排列方向A并列的3个以上的保管部。
[0087](5)在上述实施方式中，以排出促进部18由安装在外部连通部42的风扇43构成的情况为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，也可以是气体排出部40包括安装在节流开口部41并向连通空间91的内部送风的风扇，使用该风扇来构成排出促进部18。另外，也可以使用设在保管空间90的上部的送风装置85来构成排出促进部18。在该情况下，送风装置85的风量被设定为能够促进利用气体排出部40排出气体的大小。这样，在使用安装在外部连通部42的风扇43以外的部件来构成排出促进部18的情况下，构成也可以是气体排出部40不包括该风扇43。
[0088](6)在上述实施方式中，以在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间的架后表面侧被周壁部14a划分为排列垂直方向B的气体不能流动的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成也可以是在周壁部14a形成开口部，在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间在架后方侧经由该开口部与保管空间90的外部连通。另外，构成也可以是该开口部如第二收纳架6b的外部连通部42那样起作用，即，构成是在第一收纳架6a的底部7与划分部8之间形成的空间形成为第二收纳架6b的连通空间91。在该情况下，构成也可以是在该开口部配置或不配置有相当于风扇43的风扇。
[0089](7)在上述实施方式中，以第一收纳架6a包括的收纳部11是对象收纳部12，第二收纳架6b包括的收纳部11是非对象收纳部13的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。即，构成可以是第一收纳架6a包括的收纳部11是非对象收纳部13，并且第二收纳架6b包括的收纳部11是对象收纳部12 ;或者也可以是第一收纳架6a包括的收纳部11和第二收纳架6b包括的收纳部11这两者都是对象收纳部12。此外，构成也可以是第二收纳架6b包括的收纳部11为对象收纳部12的情况下，保管装置10仅包括第二收纳架6b作为收纳架6。
[0090](8)在上述实施方式中，以保管装置10包括限制部16的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成可以是在底部7与下部底板82之间不形成间隙的情况下、即使在底部7与下部底板82之间形成间隙的情况下也能够实际上忽视经由该间隙的气体的流动的情况下等，保管装置10不包括限制部16。
[0091](9)在上述实施方式中，以在周壁部14a的下侧的开口部形成流动开口部71的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成也可以是设有将周壁部14a的下侧的开口部阻塞的板状部件，轨道83配设在该板状部件的上表面。
[0092](10)在上述实施方式中，以送风装置85由风扇过滤器单元构成的情况为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成可以是送风装置85是将清洁干燥空气(CDA)供给至保管空间90的内部的装置。另外，构成也可以是保管装置10不包括送风装置85，无尘室内的空气从壁体14中形成的开口部、间隙等，流入保管空间90的内部。
[0093](11)在上述实施方式中，以气体排出部40包括与节流开口部41不同的外部连通部42的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。即，构成也可以是气体排出部40不包括外部连通部42，通过了节流开口部41的气体原样排出到保管空间90的外部。例如，构成可以是在周壁部14a的下侧的开口部形成的流动开口部71作为节流开口部41起作用。此时，节流开口部41的大小例如能够利用底部7的排列垂直方向B的宽度来调节。另外，构成也可以是利用在底部7与下部底板82之间形成的间隙，形成作为节流开口部41起作用的开口部。
[0094](12)在上述实施方式中，以内部运送装置3是堆垛起重机的构成为例进行了说明。但是，本发明的实施方式不限于此。例如，构成也可以是内部运送装置3包括:升降移动的升降体；相对于该升降体能在排列方向A移动地被支撑的移载装置。
[0095](13)关于其他构成，本说明书中公开的实施方式在所有的方面都是例举，本发明的实施方式不限于此。即，关于本申请的权利要求中没有记载的构成，可以在不脱离本发明目的的范围内适当改变。
【权利要求】
1.一种保管设备，包括: 保管装置，在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部； 惰性气体供给部，向收纳在所述收纳部的容器的内部供给惰性气体， 其特征在于， 所述保管装置包括气体排出部，将包含从所述容器排出的气体的所述保管空间的内部的气体排出到所述保管空间的外部， 所述气体排出部包括节流开口部，作为限制气体的流量的节流部起作用， 所述节流开口部形成在所述收纳部的配置区域的下侧。
2.如权利要求1所述的保管设备，其特征在于， 所述保管装置在所述保管空间的内部的所述收纳部的配置区域的下侧，包括经由所述节流开口部与所述配置区域连通的连通空间， 所述气体排出部包括将所述连通空间与所述保管空间的外部连通的外部连通部。
3.如权利要求2所述的保管设备，其特征在于， 在所述连通空间配置有控制所述保管装置的工作的控制装置。
4.如权利要求2或3所述的保管设备，其特征在于， 所述节流开口部与所述外部连通部在与上下方向和所述节流开口部的开口方向分别垂直的方向，配置在互不相同的位置。
5.如权利要求1至4的任一项所述的保管设备，其特征在于， 所述保管装置包括排出促进部，促进由所述气体排出部排出气体。
6.如权利要求5所述的保管设备，其特征在于， 所述气体排出部包括向所述保管空间的外部送风的风扇， 所述排出促进部由所述风扇构成。
7.如权利要求1至6的任一项所述的保管设备，其特征在于， 所述惰性气体供给部被构成为:向收纳在多个所述收纳部所包含的对象收纳部的所述容器的内部供给惰性气体， 所述对象收纳部沿着排列方向配置多个，所述排列方向沿着水平面， 所述节流开口部的至少一部分在所述排列方向与所述对象收纳部配置在不同的位置。
8.如权利要求1至7的任一项所述的保管设备，其特征在于， 所述保管装置包括限制部，在所述收纳部的配置区域的下侧，限制气体不经由所述气体排出部向所述保管空间外部的排出。
【文档编号】H01L21/67GK104253076SQ201410287316
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2014年6月25日 优先权日:2013年6月26日
【发明者】大塚洋, 河村真辅, 吉本忠浩 申请人:株式会社大福