技术特征：
技术总结
本发明提供一种传输腔室及半导体加工设备，其包括机械手吹扫装置，用于传输被加工工件的机械手在处于闲置状态时，位于传输腔室内的待命位置，且该机械手包括用于承载被加工工件的承载面，以及环绕在该承载面周边的边缘区域。机械手吹扫装置包括多个出气口，多个出气口环绕分布在与边缘区域相对的位置处，用以在机械手处于待命位置时，朝向边缘区域输送吹扫气体。本发明提供的传输腔室，其不仅可以避免机械手上的颗粒污染被加工工件，而且还可以减少因机械手的颗粒问题进行维护的时间，从而可以提高产能。
技术研发人员：金春吉
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2016.05.04
技术公布日：2017.11.14