一种硅片放置固定机构的制作方法

文档序号:12369920阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片放置固定机构,其特征在于:所述硅片放置固定机构包括平移套筒、平移板、平移液压缸、调节套筒、调节板和固定机构,所述平移套筒设置有两根,两根平移套筒内分别水平设置有平移通道,平移套筒两侧分别水平对称设置有与平移通道相适配的平移板,平移液压缸水平设置在平移套筒下侧,平移液压缸为双活塞杆液压缸,平移液压缸两侧输出端分别与平移套筒两侧的平移板下侧连接固定,平移套筒两侧的平移板上侧分别对称设置有固定机构,所述两根平移套筒中的一根平移套筒一侧两端分别水平设置有调节套筒,另一根平移套筒一侧两端分别水平设置有与调节套筒相适配的调节板,调节套筒上沿水平方向依次均匀设置有多个安装孔,调节套筒与调节板之间竖直设置有锁紧栓;所述固定机构包括固定底座、转动支架、压紧气缸、固定支架和压紧丝杆,固定底座水平设置在平移板上侧,转动支架为L型支架,转动支架中部两侧分别铰连接于固定底座上方一侧,固定支架倾斜向上设置在固定底座上方另一侧,固定支架上端设置有连接板,连接板中部两侧分别铰连接于固定支架上侧,压紧气缸设置在连接板一侧,压紧气缸输出端铰连接于转动支架上端,转动支架另一侧竖直设置有压紧丝杆,转动支架上下两侧的压紧丝杆上分别螺纹连接有固定螺母,压紧丝杆下端设置有压紧块,所述压紧块下侧的平移板上水平设置有承料板。

2.根据权利要求1所述的一种硅片放置固定机构,其特征在于:所述平移套筒上侧水平设置有软质橡胶层。

3.根据权利要求1所述的一种硅片放置固定机构,其特征在于:所述两根平移套筒下侧的两个平移液压缸采用同一路油路并联驱动。

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