一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器的制作方法

文档序号:12276433阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,包括半导体光放大器芯片(1)、体布拉格光栅(4),所述半导体光放大器芯片(1)、体布拉格光栅(4)形成谐振腔,其中,所述体布拉格光栅(4)作为窄线宽半导体激光器的外腔选频元件,所述半导体光放大器芯片(1)提供增益,且所述体布拉格光栅(4)为高衍射效率、窄带宽的布拉格光栅以使激光器输出窄线宽激光。

2.根据权利要求1所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,还包括用于补偿温度变化导致谐振腔长偏移的相位补偿片(3),所述相位补偿片(3)位于半导体光放大器芯片(1)与体布拉格光栅(4)光路之间。

3.根据权利要求2所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,所述半导体光放大器芯片(1)后端面镀有高反膜作为激光器谐振腔的后腔镜,所述半导体光放大器芯片(1)前端面镀有增透膜,所述体布拉格光栅(4)作为激光器谐振腔的前腔镜,所述半导体光放大器芯片(1)前端面输出光信号经过相位补偿片(3)后进入体布拉格光栅(4),一部分衍射光经滤波后反射回半导体光放大器芯片(1)形成激光谐振,另一部分光作为激光输出。

4.根据权利要求3所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,还包括输出准直透镜(2)、光隔离器(5),所述半导体光放大器芯片(1)、输出准直透镜(2)、相位补偿片(3)、体布拉格光栅(4)、光隔离器(5)依次排列,所述半导体光放大器芯片(1)前端面输出光信号经过输出准直透镜(2)准直以及相位补偿片(3)后,进入体布拉格光栅(4),一部分衍射光经滤波后反射回半导体光放大器芯片(1)形成激光谐振,另一部分光通过光隔离器(5)作为激光输出。

5.根据权利要求4所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,所述体布拉格光栅(4)的衍射效率不低于50%,带宽不高于0.1nm。

6.根据权利要求2所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,所述体布拉格光栅(4)作为激光器谐振腔的后腔镜,所述半导体光放大器芯片(1)后端面镀有增透膜,所述半导体光放大器芯片(1)前端面镀有部分反射膜作为激光器谐振腔的前腔镜,所述体布拉格光栅(4)的衍射光经相位补偿片(3)后进入所述半导体光放大器芯片(1),经所述半导体光放大器芯片(1)前端面将一部分光反射回体布拉格光栅(4),另一部分光从所述半导体光放大器芯片(1)前端面输出。

7.根据权利要求6所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,还包括输出准直透镜(2)、光隔离器(5)及外腔准直器透镜(6),所述体布拉格光栅(4)、相位补偿片(3)、外腔准直器透镜(6)、半导体光放大器芯片(1)、输出准直透镜(2)、光隔离器(5)依次排列,其中,所述体布拉格光栅(4)、相位补偿片(3)、外腔准直器透镜(6)、半导体光放大器芯片(1)构成外腔部分,所述输出准直透镜(2)、光隔离器(5)构成耦合输出部分,所述体布拉格光栅(4)的衍射光经相位补偿片(3)、外腔准直器透镜(6)后进入所述半导体光放大器芯片(1),经所述半导体光放大器芯片(1)前端面将一部分光反射回体布拉格光栅(4),另一部分光从所述半导体光放大器芯片(1)前端面出射后经过输出准直透镜(2)、光隔离器(5)输出激光。

8.根据权利要求7所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,所述体布拉格光栅(4)的衍射效率不低于95%,带宽不高于0.1nm。

9.根据权利要求2所述的一种基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器,其特征在于,所述相位补偿片(3)是正温度系数或者负温度系数的透光材料;

如果激光谐振腔是随环境温度的升高而缩短,则选用正温度系数的相位补偿片(3),如果激光谐振腔随环境温度的升高而增长,则选用负温度系数的相位补偿片(3)。

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