技术总结
本实用新型涉及鼓泡板及使用该鼓泡板的槽式多功能纳米绒面制备设备，鼓泡板包括上表面和下表面，鼓泡板上分布有若干通孔，并且该通孔从上表面到下表面的孔径逐渐变大；鼓泡板的下表面上安装有用于通入压缩空气的气管，所述气管具有进气口和出气口，气管背向下表面的管壁上排布有若干排气孔。槽式多功能纳米绒面制备设备，包括依次排列的多个工艺槽，全部或部分工艺槽内的底部安装有如上述的鼓泡板。工艺槽内的底部安装有鼓泡板，向气管中通入压缩空气，压缩空气从排气孔中排出，对工艺槽中的液体进行鼓泡，使得工艺槽中的药剂混合的更加均匀，提高药剂与硅片的反应效果，从而提高最终的硅片的绒面的细化度和均匀度。
技术研发人员：阮文娟;吉鑫;李鹏鲲;宫龙飞
受保护的技术使用者：苏州协鑫光伏科技有限公司
文档号码：201621254441
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.06.09