挂钩承载上镀膜载板的制作方法

文档序号:12736536阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种挂钩承载上镀膜载板,具有用于装载硅片的槽,其特征在于:在槽的边沿上安装有挂钩,所述挂钩具有用于托住上镀膜硅片底面边沿的钩尖。

2.根据权利要求1所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:所述槽的边沿上布设有用于卡接挂钩的缺口。

3.根据权利要求2所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:所述缺口分布在槽的四周。

4.根据权利要求3所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:槽的每条边上具有两个缺口。

5.根据权利要求1所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:所述钩尖与载板上表面具的间距为0.2-2mm。

6.根据权利要求5所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:所述载板的中部安装有中部挂钩,边缘安装有边缘挂钩,所述中部挂钩的两侧均设有钩尖,所述边缘挂钩在载板内的一侧具有钩尖。

7.根据权利要求6所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:所述中部挂钩两侧的钩尖相互对称。

8.根据权利要求2所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:所述缺口的顶部和底部安装有垫片。

9.根据权利要求1所述的挂钩承载上镀膜载板,其特征在于:所述槽在载板上呈网格状分布。

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