技术特征:
技术总结
一种双面红外/紫外双波段探测器制作方法,通过红外探测区以及紫外探测区的结构和位置的设置,紫外探测区域在正面入射光探测时使用正面入光p-i-n结构,在背面入射光探测时使用背面入光p-i-n结构,红外探测区域分别使用衬底正面和背面的探测结构进行探测,使制作的双面红外/紫外双波段探测器,能够对于正面/背面入射的红外/紫外光都能够进行探测,并且红外和紫外光探测区域互不干扰,从而实现了双面探测的功能。
技术研发人员:张清
受保护的技术使用者:张清
技术研发日:2017.03.25
技术公布日:2017.07.21