本实用新型涉及一种容器，特别是涉及一种用于容置晶圆的晶圆运载盒及用于晶圆运载盒的下保持件。
背景技术：
随着半导体制程技术的发展，晶圆的厚度也日趋薄型化，例如直径尺寸125毫米的晶圆，现有的标准厚度是625微米，而新型的薄化晶圆却可能只有不大于100微米的厚度。
然而，现有的晶圆运载器，包含有一底座、一顶盖、一设于底座的下衬垫、一设于顶盖的上衬垫，及一卡匣盒，通过上、下衬垫及卡匣盒的多个限位槽以将多片晶圆分隔固持。由于其各部位的结构与尺寸都必须与原有的各种自动化设备兼容，因此其用以限制晶圆位置的限位槽的间隔宽度也必须对应标准尺寸晶圆的厚度，故当薄化晶圆被放入现有的晶圆运载器后，在薄化晶圆与运载器的限位槽壁面间的间隙会较标准晶圆与限位槽壁面间的间隙大上许多，因而会使得限位槽的宽度相对于薄化晶圆而言会太宽，导致薄化晶圆会在限位槽内发生较大幅度的倾斜或晃动。
虽然，现有的晶圆运载器通常在上、下衬垫上多会形成有V形凹槽，通过将晶圆的上、下缘抵靠于V形凹槽内以在运载器盖合的状态下限制晶圆的位置，使其不致发生倾斜或晃动。但是当现有运载器的顶盖被移除后，薄化晶圆会在相对宽松的限位槽内产生较大幅度的倾斜，甚至是相邻的薄化晶圆同时朝向彼此倾斜，导致相邻两晶圆的顶侧相对靠近甚而紧靠在一起，而造成取放片设备不易伸入其间以进行取/放片作业。严重时甚至会因此与薄化晶圆发生擦撞而造成薄化晶圆受损甚至破片等状况。
技术实现要素：
本实用新型的其中一目的在于提供一种可以使薄化晶圆之间具有固定间距的晶圆运载盒。
本实用新型的其中另一目的，在提供一种用于晶圆运载盒的下保持件。
本实用新型的晶圆运载盒在一些实施态样中，是包含一外壳及一限位单元。该外壳包括一底座及一可分离地盖合于该底座的盖体，该底座与该盖体共同界定出一容置空间。该限位单元位于该容置空间内，并包括一设于该底座的下保持件、一设于该盖体的上保持件，及一位于该下保持件与该上保持件之间的卡匣件，该卡匣件具有两个彼此相对且在一左右方向上相间隔的固持壁，且所述固持壁形成多个各自在一上下方向上延伸且彼此在一前后方向上并排的侧限位槽，各该侧限位槽的上、下两端均呈开放状，该上保持件形成多个分别对应所述侧限位槽的上限位槽，该下保持件形成多个分别对应所述侧限位槽的下限位槽，各该下限位槽由两个在顶侧相间隔而在底侧相接的壁面所界定并于该两壁面的相接处形成一槽底，且该槽底的位置相对于其上方对应的该侧限位槽的中心位置较往该前后方向上的一侧偏离，且所述下限位槽的所述槽底往同一侧偏离对应的所述侧限位槽的中心位置。
在一些实施态样中，界定各该下限位槽的其中一该壁面于侧视时为一直立面且其中另一该壁面于侧视时为一倾斜面。
在一些实施态样中，该下保持件具有一底板部及两个由该底板部的左右两侧往上延伸的支撑部，所述下限位槽形成于所述支撑部顶端且朝上并互相远离的方向斜向延伸。
在一些实施态样中，该卡匣件还具有一连接于该两固持壁的前缘且呈H形的前壁，及一连接于该两固持壁的后缘且与该前壁相对的后壁。
在一些实施态样中，各该下限位槽的该槽底的位置相对于对应的该侧限位槽的中心位置较往后侧偏离。
在一些实施态样中，各该下限位槽的该槽底的位置对齐对应的该侧限位槽的后侧边。
在一些实施态样中，各该下限位槽的该槽底的位置相对于对应的该侧限位槽的后侧边较往后侧偏离。
在一些实施态样中，界定各该下限位槽的该两壁面中较靠近该前壁者为倾斜面且较靠近该后壁者为直立面。
在一些实施态样中，各该下限位槽的该槽底的位置相对于对应的该侧限位槽的中心位置较往前侧偏离。
在一些实施态样中，各该下限位槽的该槽底的位置对齐对应的该侧限位槽的前侧边。
在一些实施态样中，各该下限位槽的该槽底的位置相对于对应的该侧限位槽的前侧边较往前侧偏离。
在一些实施态样中，界定各该下限位槽的该两壁面中较靠近该后壁者为倾斜面且较靠近该前壁者为直立面。
在一些实施态样中，该上保持件与该盖体一体连接。
本实用新型用于晶圆运载盒的下保持件，在一些实施态样中，该晶圆运载盒包括一底座、一可分离地盖合于该底座的盖体及一卡匣件，该底座与该盖体共同界定出一容置空间，该卡匣件设置于该容置空间并包含两个彼此相对且在一左右方向上相间隔的固持壁及多个形成于所述固持壁并各自在一上下方向上延伸且彼此在一前后方向上并排的侧限位槽，各该侧限位槽的上、下两端均呈开放状，其中，该下保持件形成有多个下限位槽，各该下限位槽分别对应一该侧限位槽并由两个在顶侧相间隔而在底侧相接的壁面所界定并于该两壁面的相接处形成一槽底，且该槽底的位置相对于其上方对应的该侧限位槽的中心位置较往该前后方向上的一侧偏离，且所述下限位槽的所述槽底往同一侧偏离对应的该侧限位槽的中心位置。
本实用新型具有以下功效：通过所述下限位槽的槽底往同一侧偏离对应侧限位槽的中心位置，以使位于卡匣件内的多个晶圆能够朝同一侧倾斜，而使晶圆之间保持等间距以方便机器夹取并降低破片的风险。
附图说明
本实用新型的其它的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：
图1是本实用新型晶圆运载盒的一实施例的一立体图；
图2是该实施例的一立体分解图；
图3是该实施例的另一视角的立体分解图；
图4是该实施例的一立体剖视示意图；
图5是对应图4的剖面侧视示意图；
图6是说明晶圆在该实施例中与限位单元的作用关系的示意图；及
图7是说明晶圆在该实施例的一卡匣件的位置关系的示意图。
具体实施方式
参阅图1至图4，本实用新型晶圆运载盒的一实施例，包含一外壳1及一限位单元2。
该外壳1包括一底座11及一可分离地盖合于该底座11的盖体12，该底座11与该盖体12共同界定出一容置空间13。
该限位单元2位于该容置空间13内，并包括一设于该底座11的下保持件21、一设于该盖体12的上保持件22，及一位于该下保持件21与该上保持件22之间的卡匣件23。
该卡匣件23具有两个彼此相对且在一左右方向D1上相间隔的固持壁231、一连接于该两固持壁231的前缘且呈H形的前壁232，及一连接于该两固持壁231的后缘且与该前壁232相对的后壁233。
所述固持壁231形成多个各自在一上下方向D2上延伸且彼此在一前后方向D3上并排的侧限位槽234，且各该侧限位槽234的上、下两端均呈开放状。该上保持件22形成有多个分别对应所述侧限位槽234的上限位槽221。该下保持件21则形成有多个分别对应所述侧限位槽234的下限位槽211。
由于各该侧限位槽234的上、下两端均呈开放状，因此当晶圆3被放置于卡匣件23的所述侧限位槽234中时，其上、下两端是分别凸露出于所述侧限位槽234的上、下端的。因而使得所述侧限位槽234、上限位槽221及下限位槽211的位置相对应以共同固持多个晶圆3。
该下保持件21具有一底板部212及两个由该底板部212的左右两侧往上延伸的支撑部213，所述下限位槽211形成于所述支撑部213顶端且朝上并互相远离的方向斜向延伸。
在本实施例中，支撑部213不仅只是由底板部212往上方延伸，而且是与所述下限位槽211朝向该下保持件21外侧上方的相同或相近的方向延伸。如此可使所述下限位槽211在受到来自其中所放置的晶圆3的下压力时能够与支撑部213一同向外侧下方弹性变形而提供更好的缓冲效果以保护晶圆3。
另外，在本实施例中，该底板部212在靠近中间位置形成有一定位穿槽212a，又在前后两侧缘各形成一内凹的定位缺口212b。该底座11形成有一穿设于该定位穿槽212a的第一凸片111，及两个分别穿设于所述定位缺口212b的弹性卡勾112，以将该下保持件21固定。
该底座11的内部形状与该卡匣件23的外形相配合且该底座11还形成两个第二凸片113以将该卡匣件23限位。该卡匣件23的固持壁231底侧各自形成一对位凹口231a以对应卡置于该底座11的第二凸片113。
该上保持件22可与该盖体12一体连接，也就是说，该上保持件22与该盖体12为一体成型，且由左右间隔的两部分组成，图3中因视角的关系只有露出其中一部分。这样的结构可以省去组装的步骤而使制程简化，但本实施例并不以此为限。
参阅图5至图7，各该下限位槽211由两个在顶侧相间隔而在底侧相接的壁面211a、211b所界定，并于该两壁面211a、211b的相接处形成一槽底211c，而使得各该下限位槽211的剖面造型形成一V字形的结构。
该槽底211c的位置相对于在该上下方向D2上与其对应的侧限位槽234的中心位置C来说，是较往该前后方向D3上的一侧偏离的，且所述下限位槽211的槽底211c全部皆往同一侧偏离各自对应的侧限位槽234的中心位置C。如此一来，可以使位于卡匣件23内的多个晶圆3朝向同一侧倾斜，借此使晶圆3之间保持等间距。
具体而言，在本实施例中，界定各该下限位槽211的两壁面中较靠近该前壁232的壁面211a于侧视时为一倾斜面，而较靠近该后壁233的壁面211b于侧视时则为一直立面，且直立的壁面211b的位置靠近或重合于对应的侧限位槽234的后侧边的延伸线/面，也就是说各该下限位槽211的槽底211c的位置相对于其上方对应的侧限位槽234的中心位置C较往后侧偏离。
如此，当各晶圆3进入对应的下限位槽211时其底缘可由倾斜的壁面211a导引靠向直立壁面211b以进入槽底211c，而晶圆3的顶缘则会往前侧倾斜，也就是说晶圆3在侧限位槽234内会由下往上朝前侧倾斜。
如图7所示，由于晶圆3为圆形，只有一部分侧缘会在侧限位槽234内。图6中所示的P点位置即对应于图7中所示的P点位置。
通过所述下限位槽211的槽底211c皆往后侧偏离对应的侧限位槽234中心位置C的设计，而使所有晶圆3在各侧限位槽234内都由下往上朝前侧倾斜，进而使得所有晶圆3的顶缘之间保持相等间距，而能避免相邻晶圆3发生一个往后倾、一个往前倾而使其顶缘相互靠近、甚至紧贴的情况。本实施例尤其适合容置薄化晶圆3，能使薄化晶圆3之间保持等间距以方便机器夹取并降低破片的风险。
在变化的实施例，各该下限位槽211的槽底211c的位置相对于对应的该侧限位槽234的后侧边较往后侧偏离。如此可迫使晶圆3必须往前侧倾斜，以进一步确保晶圆3的顶缘保持等间距。
除了让槽底211c的位置较往后侧偏离于对应的该侧限位槽234的中心位置C外，在变化的实施例也可采用让所述下限位槽211的槽底211c一同相对于对应侧限位槽234的中心位置C较往前侧偏离的设计。
具体例如：界定各该下限位槽211的两壁面211a、211b中较靠近该后壁233者为倾斜面且较靠近该前壁232者为直立面，使各该下限位槽211的槽底211c的位置对齐其上方对应的该侧限位槽234的前侧边、或各该下限位槽211的槽底211c的位置相对于对应的该侧限位槽234的前侧边较往前侧偏离，而使晶圆3一起往后侧倾斜，只要能使晶圆3维持一定间距即可，并不以本实施例为限。
请再同时参阅图2至图4，由于各下限位槽211的形状并不是前后对称的，因此，定位穿槽212a及第一凸片111的形状也可以是采取在前后方向上不对称的造型以避免组装时发生错误。又或者是可以将底板部212前后侧缘的定位缺口212b及底座11上分别与该两定位缺口212b对应的弹性卡勾112设计成不同的宽度或造型，也一样可以达到相同的功效。本实施例并不对此有所限制。
综上所述，通过所述下限位槽211的槽底211c往同一侧偏离对应侧限位槽234的中心位置C，以使位于卡匣件23内的多个晶圆3能够朝同一侧倾斜，而使晶圆3之间保持等间距以方便机器夹取并降低破片的风险。
以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。