本实用新型涉及晶元生产设备领域，特别涉及一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱。
背景技术：
随着社会科学的日益发展和进步，人们的生活水平得到了极大的提升。晶元是生产集成电路和各种芯片所用的载体，是半导体行业最为主要的原材料之一。普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。在生产过程中需要对其进行真空加热以剔除晶元中的气泡。
因此，发明一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱来解决上述问题很有必要。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱，包括箱体，所述箱体前侧设有单扇门，所述单扇门一侧设有控制箱，所述控制箱上设有操作面板，所述操作面板上设有显示屏，所述显示屏底部设有电阻真空计，所述箱体内腔设有工作室，所述工作室一侧设有手动调压阀，所述工作室外壁设有保温层，所述保温层外壁设有支撑肋，所述工作室一端设有密封条以及另一端设有抽气管，所述抽气管内设有进气电磁阀，所述工作室内腔设有压力传感器，所述压力传感器一侧设有管道，所述管道一端设有真空泵，所述管道内设有进气电磁阀，所述箱体底部设有移动脚轮，所述移动脚轮一侧设有水平支撑架。
优选的，所述单扇门与箱体铰接，所述工作室通过密封条密封设置，所述密封条由硅橡胶材料制成。
优选的，所述电阻真空计采用数字式，所述保温层由超细玻璃棉材料制成，所述工作室内壁厚度设置为3mm，所述工作室采用SUS3304 拉丝不锈钢板制成。
优选的，所述支撑肋的数量设置为多个，所述支撑肋顶端与箱体内壁固定连接以及底端贯穿保温层与工作室外壁固定连接，所述抽气管外接充氮设备。
优选的，所述移动脚轮和水平支撑架的数量均设置为多个，所述管道贯穿工作室端部，所述管道设置于抽气管底部，所述真空泵设置于工作室一侧。
优选的，所述电阻真空计型号设置为DZA1，所述压力传感器型号设置为HT19。
本实用新型的技术效果和优点：通过采用不锈钢材料的工作室，便于清洁卫生，使用空间大，采用硅橡胶材料制成的密封条，人性化的环保意识，保护使用人员的身体健康，设有进气电磁阀和手动调压阀气路辅助装置，同时利用抽气管进行氮气填充，利用氮气不活泼的化学性质，提升了使用时的安全性，通过采用数字式的电阻真空计配合压力传感器，利用工作室内气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化，从而提高了测量精度。
附图说明
图1为本实用新型前视结构示意图。
图2为本实用新型内部结构示意图。
图3为本实用新型工作室右视结构示意图。
图中：1箱体、2单扇门、3控制箱、4操作面板、5显示屏、6 电阻真空计、7工作室、8手动调压阀、9保温层、10支撑肋、11密封条、12抽气管、13压力传感器、14管道、15真空泵、16进气电磁阀、17移动脚轮、18水平支撑架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-3所示的一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱，包括箱体1，所述箱体1前侧设有单扇门2，所述单扇门2一侧设有控制箱3，所述控制箱3上设有操作面板4，所述操作面板上设有显示屏5，所述显示屏5底部设有电阻真空计6，所述箱体1内腔设有工作室7，所述工作室7一侧设有手动调压阀8，所述工作室 7外壁设有保温层9，所述保温层9外壁设有支撑肋10，所述工作室 7一端设有密封条11以及另一端设有抽气管12，所述抽气管12内设有进气电磁阀16，设有进气电磁阀16和手动调压阀8气路辅助装置，同时利用抽气管12进行氮气填充，利用氮气不活泼的化学性质，提升了使用时的安全性，所述工作室7内腔设有压力传感器13，所述压力传感器13一侧设有管道14，所述管道14一端设有真空泵15，所述箱体1底部设有移动脚轮17，所述移动脚轮17一侧设有水平支撑架18，通过采用数字式的电阻真空计6配合压力传感器13，利用工作室7内气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化，从而提高了测量精度。
所述单扇门2与箱体1铰接，所述工作室7通过密封条11密封设置，所述密封条11由硅橡胶材料制成，采用硅橡胶材料制成的密封条11，人性化的环保意识，保护使用人员的身体健康，所述电阻真空计6采用数字式，所述保温层9由超细玻璃棉材料制成，所述工作室7内壁厚度设置为3mm，所述工作室7采用SUS3304拉丝不锈钢板制成，通过采用不锈钢材料的工作室7，便于清洁卫生，使用空间大，所述支撑肋10的数量设置为多个，所述支撑肋10顶端与箱体1 内壁固定连接以及底端贯穿保温层9与工作室7外壁固定连接，所述抽气管12外接充氮设备，所述移动脚轮和水平支撑架18的数量均设置为多个，所述管道14贯穿工作室7端部，所述管道14设置于抽气管12底部，所述真空泵15设置于工作室7一侧，所述电阻真空计6 型号设置为DZA1，所述压力传感器13型号设置为HT19。
本实用新型工作原理：真空的工作室7为密闭的空间,通过管道 14与真空泵15和压力传感器13相连,真空泵15连续工作将工作室7 内的气体排出,工作室7内的压力将越来越小于大气压,变得越来越低,达到所需要的真空度，压力传感器13将工作室7内的气压传给电阻真空计6,显示和控制压力，单扇门2与工作室7由密封条11密封，工作室7端部有抽气管12，同时利用抽气管12进行氮气填充，利用氮气不活泼的化学性质，提升了使用时的安全性。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。