束流自适应校正器件及校正电极板的制作方法

文档序号:15097459发布日期:2018-08-04 14:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种束流自适应校正电极板,包括:

绝缘基板;

校正电极阵列,分布于绝缘基板之上,包含多个校正电极,多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起;以及

吹风电极阵列,包含多个吹风电极,每个吹风电极分布于校正电极之间,所述多个吹风电极上可分别加载正负电压,形成空间上排布的正负电场。

2.根据权利要求1所述的束流自适应校正电极板,还包括:

接地电极阵列,包含多个接地电极,每个接地电极分布于所述吹风电极和所述校正电极之间,隔断所述吹风电极和所述校正电极之间的漏电流。

3.根据权利要求1所述的束流自适应校正电极板,其中,所述电阻串的两端分别接地。

4.根据权利要求1所述的束流自适应校正电极板,其中,所述吹风电极阵列中,所述多个吹风电极按照正、负电压依次间隔排布的方式加载电压,形成空间上排布的正负电场。

5.根据权利要求4所述的束流自适应校正电极板,其中,所述加载电压的场强介于10V/cm~10000V/cm之间。

6.一种束流自适应校正器件,包括:

第一校正电极板和第二校正电极板,该第一校正电极板与第二校正电极板正对设置;

其中,所述第一校正电极板与第二校正电极板均包括:

绝缘基板;

校正电极阵列,分布于绝缘基板之上,包含多个校正电极,多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起;以及

吹风电极阵列,包含多个吹风电极,每个吹风电极分布于校正电极之间,所述多个吹风电极上可分别加载正负电压,形成空间上排布的正负电场。

7.根据权利要求6所述的束流自适应校正器件,其中,所述第一校正电极板与第二校正电极板还包括:

接地电极阵列,包含多个接地电极,每个接地电极分布于所述吹风电极和所述校正电极之间,隔断所述吹风电极和所述校正电极之间的漏电流。

8.根据权利要求6所述的束流自适应校正器件,其中,所述电阻串的两端分别接地。

9.根据权利要求6所述的束流自适应校正电极板,其中,所述第一校正电极板的吹风电极阵列中的多个吹风电极按照正、负电压依次间隔排布的方式加载电压,对应的,所述第二校正电极板的吹风电极阵列中的多个吹风电极按照负、正电压依次间隔排布的方式加载电压,形成空间上排布的正负电场。

10.根据权利要求6至9任一项所述的束流自适应校正器件,还包括:

第一支架和第二支架,分别垂直固定于第一校正电极板和第二校正电极板的两侧,与第一校正板及第二校正板形成束流腔体供束流通过。

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