基板处理系统及基板搬送方法与流程

本发明涉及一种基板处理系统及基板处理系统的基板搬送方法。

背景技术

显示装置的制造工艺包括彼此不同的多个单位工序，其中各个单位工序通常在彼此不同的空间内进行。因此，在利用基板制造显示装置的情况下，基板被移动至彼此隔离的各个空间而进行单位工序。

在如上所述进行各个单位工序的各个工序腔室(processingchamber)可以投入一个大型基板，并对大型基板执行沉积工序等。

最近，随着制造的显示装置的尺寸的多样化，投入到沉积工序的基板的尺寸也变得多样化。例如，可以使用相当于大型基板一半尺寸的基板来替代以往的大型基板。

然而，若将这种一半尺寸的基板投入到工序腔室，则会不必要地剩下工序腔室的空间，或者需要进行如制造针对一半尺寸的基板的新的工序腔室等的设计变更。

技术实现要素：

本发明提供一种利用以往的用于大型基板的工序腔室而能够在一个工序腔室中处理多个基板的多个基板处理系统。

并且，本发明提供一种将至少两个基板从运搬及保管基板的盒子搬送到腔室内部的基板搬送方法。

根据本发明的一实施例的基板处理系统可以包括：第一腔室，同时搬入或搬出至少两个基板；基板对齐单元，布置于所述第一腔室内，使所述至少两个基板以预定的间隔隔开的方式对齐；多个第二腔室，处理在所述第一腔室得到对齐的所述至少两个基板；以及基板搬送单元，将对齐的所述至少两个基板从所述第一腔室搬送至所述第二腔室，或从所述第二腔室搬送至所述第一腔室。

所述至少两个基板包括第一基板和第二基板，所述第一基板可以包括：第一侧面，与第一方向平行，且位于所述第一基板的上侧；第二侧面，与所述第一侧面平行，且位于所述第一基板的下侧；以及第三侧面及第四侧面，平行于与所述第一方向交叉的第二方向，所述第二基板可以包括：第五侧面，与所述第一方向平行，且位于所述第二基板的上侧；第六侧面，与所述第五侧面平行，且位于所述第二基板的下侧；第七侧面，平行于所述第二方向，且与所述第一基板的所述第三侧面面对，以及第八侧面，与所述第七侧面平行。

所述基板对齐单元可以包括：基板支撑台，支撑沿所述第一方向相互隔开布置的所述至少两个基板中的第一基板及第二基板；多个边角支撑部，支撑所述第一基板及所述第二基板的位于沿所述第一方向的两端部侧的边角；以及多个间隔调节部，能够沿所述第二方向移动，且插入所述第一基板与所述第二基板之间的空间，从而将所述第一基板及所述第二基板分别推向与所述第一基板及所述第二基板接触的所述多个边角支撑部侧。

所述多个间隔调节部可以包括：第一间隔调节部，能够沿所述第二方向从上至下插入所述第一基板与所述第二基板之间的所述空间；以及第二间隔调节部，能够沿所述第二方向从下至上插入所述空间。

所述第一间隔调节部可以包括：第一主体；第一基板侧面支撑台，沿所述第一方向相互隔开地布置于所述第一主体上，且能够分别与所述第一基板的第一侧面及所述第二基板的第五侧面接触；以及第一间隔扩张部，可旋转地结合于所述第一主体上，且能够同时推动所述第一基板的所述第三侧面和所述第二基板的所述第七侧面。

所述第二间隔调节部可以包括：第二主体；第二基板侧面支撑台，沿所述第一方向相互隔开地布置于所述第二主体上，且能够分别与所述第一基板的第二侧面及所述第二基板的第六侧面接触；以及第二间隔扩张部，可旋转地结合于所述第二主体上，且能够同时推动所述第一基板的所述第三侧面和所述第二基板的所述第七侧面。

所述第一间隔扩张部及所述第二间隔扩张部可以包括以预定间隔隔开的一对杆型部件。

所述一对杆型部件可以包括橡胶、硅胶或聚氨酯。

各个所述边角支撑部可以具有与所述第一基板及所述第二基板的所述边角对应的形状。

所述基板搬送单元可以包括：第一支撑杆，支撑所述至少两个基板；以及第一驱动部，结合有所述第一支撑杆，且移动所述第一支撑杆。

所述基板处理系统还可以包括：盒子，保管搬送到所述第一腔室的所述至少两个基板；以及搬送部，将所述至少两个基板从所述盒子搬送到所述第一腔室。

所述搬送部可以包括：多个第二支撑杆，支撑相互平行布置的所述至少两个基板，且沿一方向延伸；以及第二驱动部，结合有所述多个第二支撑杆，且移动所述多个第二支撑杆。

各个所述第二支撑杆可以具有安置所述至少两个基板的安置槽。

所述多个边角支撑部可以与所述第一基板及所述第二基板的所述边角接触或分离。

所述第一腔室可以与所述多个第二腔室沿环形状的虚拟线排列。

根据本发明的一实施例的基板搬送方法，同时将两个基板从包括多个收纳槽的盒子搬送到第一腔室，可以包括如下步骤：确认在所述多个收纳槽中的一个收纳槽是否布置有所述两个基板；在所述一个收纳槽布置有所述两个基板的情况下，将所述两个基板放置于搬送部的支撑杆上，进而将所述两个基板搬送至所述第一腔室；以及在所述一个收纳槽布置有一个基板的情况下，在所述一个收纳槽布置另一个基板之后，将所述两个基板放置于所述支撑杆上，进而将所述两个基板搬送至所述第一腔室。

在所述一个收纳槽布置所述另一个基板的步骤可以包括如下步骤：确认所述一个基板位于所述一个收纳槽的内侧还是位于所述一个收纳槽的外侧。

在所述一个收纳槽布置所述另一个基板的步骤可以包括如下步骤：在所述一个基板位于所述一个收纳槽的内侧的情况下，将所述另一个基板布置于所述收纳槽的外侧。

在所述一个收纳槽布置所述另一个基板的步骤可以包括如下步骤：在所述一个基板位于所述一个收纳槽的外侧的情况下，将布置于所述外侧的所述一个基板移动至所述一个收纳槽的内侧，并将所述另一个基板布置于所述收纳槽的外侧。

在所述一个收纳槽布置有所述一个基板的情况下，所述一个基板可以是用于沉积的基板，追加的另一个基板可以是虚拟基板。

通过同上所述的基板处理系统，可以在以往的用于大型基板的工序腔室内同时处理多个基板。

并且，通过基板搬送方法，同时将至少两个基板从盒子搬送到腔室内部。

附图说明

图1是示意性图示了根据本发明的一实施例的基板处理系统的图。

图2是图1的盒子及搬送部的示意性的立体图。

图3是图示了在图1的搬送部放置有两个基板的状态的图。

图4至图8是对通过搬送部将两个基板从盒子搬送至第一腔室的过程进行说明的图。

图9至图15是对将两个基板从盒子搬送至第二腔室的过程进行说明的图。

图16至图19是对两个基板通过基板对齐单元而得到对齐的过程进行说明的图。

图20是示意性地图示图16的间隔调节部的立体图。

图21是示意性地图示图16的边角支撑部的图。

图22是对放置有对齐的两个基板的基板支撑台被搬移的过程进行说明的图。

图23及图24是在放置有对齐的两个基板的基板支撑台设置有阻挡部的图。

符号说明

100：盒子300：搬送部

500：处理空间510：第一腔室

520、530、540、560、570：第二腔室

511：基板支撑台

710、720、730、740：多个边角支撑部

750：第一间隔调节部751：第一主体

753：第一间隔扩张部755：第一基板侧面支撑台

760：第二间隔调节部

具体实施方式

以下，为了使本发明所属技术领域中具有一般知识的人员可以容易地实施，参考附图对本发明的实施例进行详细的说明。本发明可以以多种不同的形态实现，而不限于本说明书中说明的实施例。为了对本发明进行明确的说明，附图中省略了与说明无关的部分，并且在说明书全文中，给相同或者类似的构成要素赋予了相同的附图符号。

并且，为了说明的便利，任意地示出了附图中的各个构成要素的大小以及厚度，所以本发明并不一定要受限于附图中所示出的内容。

为了更明确地表示附图中的各个层及区域，放大图示了厚度。并且在附图中，为了说明的便利，夸张地图示了一部分层及区域的厚度。当提到层、膜、区域、板等部分位于其他部分“上方”或“上”时，不仅包括“直接”位于其他部分的“上方”的情形，还包括其之间夹设有另一部分的情形。

并且，在说明书全文中，当提到某个部分“包括”某个构成要素时，在没有特殊相反记载的情况下，不排除其他构成要素，而意味着还可以包括其他构成要素。并且，说明书全文中，“在……上”意味着位于对象部分的上侧或者下侧，而并不意味着必须要位于以重力方向为基准的上侧。

以下，参照图1至图3对根据本发明的一实施例的基板处理系统进行说明。

图1是示意性图示了根据本发明的一实施例的基板处理系统的图，图2是图1的盒子及搬送部的示意性的立体图，图3是图示了在图1的搬送部放置有两个基板的状态的图。

参照图1至图3，本实施例的基板处理系统可以包括盒子100、搬送部300、第一腔室510、第二腔室520、530、540、560、570、基板对齐单元710、720、730、740、750、760(参照图16)及基板搬送单元580。在本实施例中，两个基板s1、s2可以同时从盒子100被搬送至作为装载锁定腔室(loadlockchamber)的第一腔室510，两个基板s1、s2在第一腔室510对齐后，两个基板s1、s2同时被搬送至作为工序腔室的第二腔室520、530、540、560、570。

参照图2及图3，盒子100保管多个基板，在盒子100具有放置各基板s1、s2的多个收纳槽，多个收纳槽可以沿垂直方向排列为一列。在本实施例中，在各收纳槽放置两个基板s1、s2。放置于各收纳槽的两个基板s1、s2可以通过搬送部300同时被搬送至第一腔室510。

此时，搬送部300是同时将两个基板s1、s2从盒子100搬送至第一腔室510的构成，可以包括多个第二支撑杆310及第二驱动部350。多个第二支撑杆310同时支撑两个基板s1、s2，多个第二支撑杆310可以是沿一方向延伸的杆(bar)形状的部件。多个第二支撑杆310可以以预定的间隔相互隔开而布置。

在多个第二支撑杆310分别形成有多个安置槽，使两个基板在移动中不活动。由于两个基板安置于多个安置槽内，从而两个基板在移动中不活动。

在本实施例中，结合于多个第二支撑杆310的多个凸起330、331、333、335可以具有阶梯形状的安置槽。此时，多个凸起330、331、333、335可以与多个第二支撑杆310形成为一体。

另外，第二驱动部350可以将放置有两个基板的第二支撑杆310从盒子100搬至第一腔室510。为了使第二支撑杆310向盒子100的期望的收纳槽移动，第二驱动部350可以使第二支撑杆310沿上下方向移动。并且，第二驱动部350也可以使第二支撑杆310旋转，或者使第二支撑杆310沿水平方向移动。

再次参照图1，通过搬送部300搬送的两个基板s1、s2可以向布置有第一腔室及第二腔室520、530、540、560、570的处理空间500移动。处理空间500可以是对从外部搬来的基板s1、s2执行沉积、蚀刻等多种工序的虚拟的空间。

处理空间500的第一腔室510可以是从外部搬入处理空间500的基板s1、s2所投入的腔室。此时，第一腔室510可以是装载锁定腔室。从外部搬入的基板s1、s2可以经过第一腔室510被搬至其他的作为工序腔室的第二腔室520、530、540、560、570。另外，第一腔室510也可以将在第二腔室520、530、540、560、570完成工序的基板s1、s2向外部搬出。在本实施例中，并不限定于此，第一腔室510可以使基板s1、s2仅从外部搬入，而从另外其他的腔室使基板s1、s2向外部搬出。

第二腔室520、530、540、560、570作为工序腔室，可以执行对从第一腔室510搬来的基板s1、s2沉积沉积物质，并以预定的图案进行蚀刻而形成预定的图案的工序等。

此时，基板搬送单元580可以执行将基板s1、s2从第一腔室510搬到第二腔室520、530、540、560、570的过程。基板搬送单元580可以包括第一支撑杆582及第一驱动部581。第一支撑杆582是沿一方向延伸的杆(bar)形状的部件，可以同时支撑在第一腔室510对齐的两个基板s1、s2。第一驱动部581可以将放置有两个基板的第一支撑杆582从第一腔室510搬至布置于特定位置的第二腔室520、530、540、560、570。第一驱动部581可以沿上下方向及水平方向移动，并且也可以旋转。

下文中，参照图4至图8，对将两个基板s1、s2同时从盒子100搬送至第一腔室510的过程进行说明。

图4至图8是对通过搬送部将两个基板从盒子搬送至第一腔室的过程进行说明的图。

搬送部300的第二支撑杆310(参照图3)可以在盒子100(参照图1)的收纳槽同时支撑两个基板s1、s2，将两个基板s1、s2搬至第一腔室510。然而，在盒子100(参照图1)的收纳槽内未放置有两个基板s1、s2的情况下，即，在收纳槽内仅放置有一个基板的情况下，向收纳槽追加投入一个基板，之后，第二支撑杆310(参照图3)同时搬动两个基板。

盒子100(参照图1)的各收纳槽放置有欲搬入到第一腔室510(参照图1)的基板，根据情况，存在在一个收纳槽仅放置有一个基板而并非两个基板的情况。

此时，若第二支撑杆310(参照图3)仅将布置于收纳槽内的一个基板搬至第一腔室510(参照图1)，则仅有一个基板被搬送至第二腔室520、530、540、560、570(参照图1)。应该放置两个基板而执行沉积工序等的第二腔室520、530、540、560、570(参照图1)内仅被放置一个基板。最终，第二腔室520、530、540、560、570(参照图1)有可能在空余一个基板位置的状态下，执行沉积工序等。

同上所述，若在第二腔室520、530、540、560、570(参照图1)内产生空余位置，则可能对沉积物质的流动(flow)造成影响，从而也对放置在第二腔室520、530、540、560、570(参照图1)内的基板的沉积造成影响。

在本实施例中，为了防止一个基板搬入第二腔室520、530、540、560、570(参照图1)，即，为了使两个基板s1、s2投入第二腔室520、530、540、560、570(参照图1)，在向第一腔室510(参照图1)搬入基板前，将两个基板布置到盒子100(参照图1)的各收纳槽。

为此，在本实施例中，首先确认在盒子100(参照图1)的收纳槽是否布置有两个基板。

如图4所示，在盒子100(参照图1)的收纳槽放置有一个基板s的情况下，追加布置另一个基板，之后，将两个基板搬送至第一腔室510(参照图1)。

在追加布置另一个基板之前，确认放置于盒子100(参照图1)的收纳槽的基板s位于收纳槽的内侧i还是位于外侧ii。在此，对于内侧i及外侧ii而言，靠近向收纳槽投入基板的入口的位置相当于外侧ii，远离收纳槽的入口的位置相当于内侧i。

参照图4及图5，在基板s布置于收纳槽的内侧i的情况下，向收纳槽的外侧ii追加布置另一个基板d。此时，追加于外侧ii的基板d可以是与布置于内侧i的基板相同的用于沉积的基板，也可以是虚拟(dummy)基板。

与图4不同，在基板放置于收纳槽的外侧ii的情况下，不直接向收纳槽的内侧i布置追加的基板d。如图7所示，若直接向收纳槽的内侧i布置追加的基板d，则在放置基板d的过程中，搬送部300的第二支撑杆310(参照图3)可能使放入外侧ii的基板s发生破损。

为防止上述情况，将放置于收纳槽的外侧ii的基板s搬至收纳槽的内侧i之后，在收纳槽的外侧ii追加布置追加的基板d。经过同上所述的过程，基板s、d将全部被放置于收纳槽的内侧i及外侧ii。之后，将布置于收纳槽的两个基板搬送至第一腔室510(参照图1)。

如果，在确认在盒子100(参照图1)的收纳槽是否布置有两个基板的过程中，在收纳槽的内侧i及外侧ii分别放置有基板s1、基板s2，则如图8所示，不经历追加基板的过程，搬送部300的第二支撑杆310(参照图3)将两个基板同时搬至第一腔室510(参照图1)。

参照图9至图12，若两个基板s1、s2全部放置于收纳槽，则两个基板s1、s2通过搬送部300被搬送至第一腔室510。在图9至图12中，图示了基板s1、s2全部为用于沉积的基板的情形。然而，并不限定于此，两个基板中的一个基板也可以是虚拟基板。

接下来，如图12所示，若两个基板s1、s2被放置于第一腔室510，则基板对齐单元710、720、730、740、750、760(参照图16)可以在第一腔室510内使两个基板s1、s2对齐。基板对齐单元710、720、730、740、750、760(参照图16)布置于第一腔室510内，以使两个基板s1、s2以预定的间距隔开的方式对齐。对于基板对齐单元710、720、730、740、750、760(参照图16)对齐两个基板s1、s2的过程，将参照图16至图21而在下文中进行描述。

若两个基板s1、s2在第一腔室510完成对齐，则如图13至图15所示，两个基板s1、s2可以同时搬送到第二腔室520、530、540、560、570。在此，第二腔室520、530、540、560、570是执行同上所述的沉积或蚀刻工序等的工序腔室。在本实施例中，可以向以往对一个大型基板执行沉积工序的第二腔室520、530、540、560、570内投入两个基板s1、s2而执行沉积工序。在本实施例中所应用的基板s1、s2可以是现有的大型基板尺寸的一半。即，根据本实施例，曾使用于一个大型基板的第二腔室520、530、540、560、570可以使用于小于大型基板的尺寸的多个基板的沉积工序。

另外，多个第二腔室520、530、540、560、570可以布置于处理空间500内。在布置于处理空间500内的第二腔室520、530、540、560、570可以分别进行互不相同的工序。此时，多个第二腔室520、530、540、560、570与第一腔室510可以在处理空间500内沿环形状的虚拟的线排列。

此时，布置于处理空间500内的基板搬送单元580可以将两个基板s1、s2搬送至第二腔室520、530、540、560、570。基板搬送单元580可以包括多个第一支撑杆582及第一驱动部581。多个第一支撑杆582可以同时支撑两个基板s1、s2，多个第一支撑杆582是沿一方向延伸的杆(bar)形状的部件。多个第一支撑杆582可以以预定的间隔相互隔开而布置。此时，多个第一支撑杆582将两个基板s1、s2搬送至第二腔室520、530、540、560、570时，多个第一支撑杆582可以将放置有对齐的两个基板s1、s2的基板支撑台511(参照图16)提起而搬送基板s1、s2，或者可以由多个第一支撑杆582直接将两个基板s1、s2提起而搬送基板s1、s2。

另外，第一驱动部581可以将放置有两个基板的第一支撑杆582从第一腔室510搬至第二腔室520、530、540、560、570。与搬送部300的第二驱动部350相同地，第一驱动部581可以使第一支撑杆582沿上下方向或水平方向移动，并且也可以使第一支撑杆582旋转。

以下，参照图16至图21，对第一腔室510内的基板对齐单元710、720、730、740、750、760对齐两个基板s1、s2的过程进行具体的说明。

图16至图19是对两个基板通过基板对齐单元而得到对齐的过程进行说明的图，图20是示意性地图示图16的间隔调节部的立体图，图21是示意性地图示图16的边角支撑部的图。

参照图16，基板对齐单元可以包括基板支撑台511、多个边角支撑部710、720、730、740、第一间隔调节部750及第二间隔调节部760。

基板支撑台511可以支撑从盒子100搬送来的两个基板s1、s2。基板支撑台511可以是具有四边形的平面的板状形状。

在本实施例中，两个基板s1、s2相互隔开地布置于基板支撑台511上，维持收纳槽内两个基板s1、s2之间的间隔而布置于基板支撑台511上。在以下说明中，为了说明的便利，将从平面上观察图16时布置于第一方向(x轴方向)的左侧的基板称为第一基板s1，将布置于第一方向(x轴方向)的右侧的基板称为第二基板s2。

另外，在第一基板s1及第二基板s2的边角可以布置有多个边角支撑部710、720、730、740。更具体而言，如图16所示，可以在第一基板s1的左侧边角布置有边角支撑部710、720，在第二基板s2的右侧边角布置有边角支撑部730、740。

此时，第一间隔调节部750及第二间隔调节部760向左侧推动第一基板s1时，边角支撑部710、720能够防止第一基板s1向左侧活动，并且使第一基板s1的左侧边角固定于预定的位置。第一间隔调节部750及第二间隔调节部760向右侧推动第二基板s2时，边角支撑部730、740能够防止第二基板s2向右侧活动，并且使第二基板s2的右侧边角固定于预定的位置。

参照图17，多个边角支撑部710、720、730、740可以移动至预定的位置。在此，预定的位置可以表示当完成第一基板s1及第二基板s2的间隔调节时，第一基板s1及第二基板s2的边角应该所处的位置。另外，在图17中，虽然图示了多个边角支撑部710、720、730、740与第一基板s1及第二基板s2的边角相互接触的情形，但是也可以互不接触。

如图17所示，若多个边角支撑部710、720、730、740被放置于预定的位置，则直到完成第一基板s1及第二基板s2的间隔调节为止，多个边角支撑部710、720、730、740被固定。

参照图18及图19，若多个边角支撑部710、720、730、740放置于预定的位置，则第一间隔调节部750及第二间隔调节部760可以插入相互面对的第一基板s1与第二基板s2之间的空间。此时，第一间隔调节部750及第二间隔调节部760可以将第一基板s1及第二基板s2分别推向第一基板s1的边角侧及第二基板s2的边角侧。更具体而言，第一间隔调节部750及第二间隔调节部760可以将第一基板s1推向左侧，将第二基板s2推向右侧。进而，第一基板s1的左侧边角紧贴于边角支撑部710、720，第二基板s2的右侧边角紧贴于边角支撑部730、740。

在本实施例中，第一间隔调节部750可以沿第二方向(y方向)从上至下插入第一基板s1与第二基板s2之间的空间。并且，第二间隔调节部760可以沿第二方向(y方向)从下至上插入第一基板s1与第二基板s2之间的空间。

另外，第一间隔调节部750可以包括第一主体751、第一基板侧面支撑台755及第一间隔扩张部753。并且，第二间隔调节部760可以包括第二主体761、第二基板侧面支撑台765及第二间隔扩张部763。

第一基板侧面支撑台755结合于第一主体751，并可以与第一基板s1的第一侧面p1与第二基板的第五侧面p5接触。并且，第二基板侧面支撑台765结合于第二主体761，并可以与第一基板s1的第二侧面p2与第二基板的第六侧面p6接触。第一间隔调节部750及第二间隔调节部760启动时，第一基板侧面支撑台755及第二基板侧面支撑台765可以防止第一基板s1及第二基板s2沿第二方向(y方向)向上侧或下侧活动。本说明书中为了说明的便利，以从平面上观察图18时第一基板s1包括位于上侧的第一侧面p1、位于下侧的第二侧面p2、位于右侧的第三侧面p3及位于左侧的第四侧面p4。并且，以第二基板s2包括位于上侧的第五侧面p5、位于下侧的第六侧面p6、位于左侧的第七侧面p7及位于右侧的第八侧面p8的情形进行说明。

此时，第一间隔扩张部753可旋转地结合于第一主体751，从而可以同时推动第一基板的第三侧面p3与第二基板s2的第七侧面p7。并且，与此相同，第二间隔扩张部763可旋转地结合于第二主体761，从而可以同时推动第一基板的第三侧面p3与第二基板s2的第七侧面p7。即，第一间隔扩张部753及第二间隔扩张部763可以将第一基板的第三侧面p3推向左侧，将第二基板s2的第七侧面p7推向右侧。

在本实施例中，第一间隔扩张部753及第二间隔扩张部763可以包括以预定的间隔隔开的一对杆型部件。在第一间隔扩张部753最初插入第一基板的第三侧面p3与第二基板s2的第七侧面p7之间的空间时，一对杆型部件与第二方向(y方向)平行地排列为一列。接着，如图19所示，第一间隔扩张部753及第二间隔扩张部763旋转，从而一对杆型部件与第一方向(x方向)平行地排列。进而，第一间隔扩张部753及第二间隔扩张部763可以同时推动第一基板的第三侧面p3及第二基板s2的第七侧面p7。

参照图20，第一基板侧面支撑台755可以包括一对杆型部件。然而，第一基板侧面支撑台755并不限定于此，也可以利用一个延伸的板材形状形成。

另外，第一间隔扩张部753的一对杆型部件可以布置于第一旋转板753c上。根据第一旋转板753c的旋转，一对杆型部件可以与第一方向(x方向)平行地布置，或者与第二方向(y方向)平行地布置。此时，第一旋转板753c可以通过马达控制。本实施例所应用的马达可以是伺服马达。然而，第一旋转板753c并不限定于此，第一旋转板753c与马达之间也可以结合有连杆(link)部件。

第一间隔扩张部753的一对杆型部件可以包括橡胶、硅胶或聚氨酯。然而，一对杆型部件的材料并不限定于此，也可以利用柔软(soft)的材料形成，以避免与一对杆型部件接触的第一基板s1及第二基板s2破损。另外，第二间隔扩张部763包括与第一间隔扩张部753相同的构成，因此，省略对此的具体说明。

参照图21，边角支撑部730可以具有与接触的第二基板s2的边角对应的形状。在本实施例中，边角支撑部730可以具有对应于接触的第二基板s2的边角而呈90度弯曲的形状。另外，边角支撑部730可以结合于多个连杆部件820、830及驱动部810。如图16所示，第一腔室510的基板支撑台511上放置第一基板s1及第二基板s2之后，边角支撑部730移动，进而移动至预定的位置。如上所述，多个连杆部件820、830及驱动部810可以使边角支撑部730向预定的位置移动。

另外，若第一基板s1及第二基板s2在第一腔室510内通过基板对齐单元710、720、730、740、750、760(参照图16)完成对齐，则如图22所示，可以通过基板搬送单元580以对齐的状态向第二腔室520、530、540、560、570搬送。

参照图23及图24，在本实施例中，对齐的第一基板s1及第二基板s2被搬送至第二腔室520、530、540、560、570之前，在第一基板s1及第二基板s2的周围可以布置有阻挡部610、611、613。从平面上观察图23时，阻挡部610、611、613可以沿第一基板s1及第二基板s2的周围布置。在第一基板s1及第二基板s2在第二腔室520、530、540、560、570(参照图13)内执行利用等离子体的沉积工序时，第一基板s1及第二基板s2的侧面可能受到等离子体的影响。由于这样的等离子体，第一基板s1及第二基板s2可能发生损伤。即，在本实施例中，在第一基板s1及第二基板s2的周围布置阻挡部610、611、613，从而能够最小化由等离子体造成的第一基板s1及第二基板s2的侧面的损伤。

如上所述，通过限定的实施例和附图对本发明进行了说明，但是本发明不限于此，并且本发明所属技术领域中具有一般知识的人可以在本发明的技术思想和权利要求书的等同范围内加以多种修改以及变形。