电子部件的退磁装置和退磁方法、电子部件串列制造装置与流程

本发明涉及电子部件的退磁装置、编带(taping)电子部件串列的制造装置、电子部件的退磁方法。

背景技术

以往，在片式电感器等电子部件的制造工序中，实施电阻值、阻抗值等特性检查，并将基于检查结果判定为合格的电子部件收容于例如载带。在这样的制造工序中，有电子部件带磁性的情况。例如，在包含磁性体的电子部件中，在该电子部件的检查工序中，有因在电子部件中流动的电流而电子部件带磁性的情况。电子部件中的磁性会影响该电子部件的电特性。因此，提出了各种使电子部件通过环状的螺线管来除去磁性的方法(例如，参照专利文献1、2)。

专利文献1：日本特开平4－239105号公报

专利文献2：日本特开平8－67329号公报

然而，在如上述那样通过环状的螺线管时，有因为电子部件的姿势不稳定，而电子部件的磁性很难降低的情况。因此，希望不管姿势如何都容易地减少磁性。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述问题点而完成的，其目的在于提供一种不管所输送的电子部件的姿势如何都能够减少该电子部件的磁性的电子部件的退磁装置、编带电子部件串列的制造装置、电子部件的退磁方法。

解决上述课题的电子部件的退磁装置具有：输送单元，输送电子部件；铁芯，与通过上述输送单元输送的电子部件相邻配置；以及线圈，卷绕于上述铁芯并被供给交流电流，通过上述铁芯和上述线圈，产生与上述电子部件的输送方向正交的第一交变磁场和与上述电子部件的输送方向平行的第二交变磁场。

根据该结构，对电子部件施加第一交变磁场和与该第一交变磁场正交的第二交变磁场。而且，随着电子部件的输送，第一交变磁场和第二交变磁场的磁力逐渐降低。通过像这样施加正交的2个方向的交变磁场并且交变磁场的磁力随着输送逐渐减弱，从而对于在残留磁场、通过的磁场具有方向性的电子部件，能够减少该电子部件的磁性。

在上述的电子部件的退磁装置中，优选上述铁芯具有沿着上述电子部件的输送方向排列的一对磁极，由上述一对磁极的每个磁极产生上述第一交变磁场，并在上述一对磁极之间产生上述第二交变磁场。

根据该结构，通过沿着电子部件的输送路径排列的一对磁极，形成与电子部件的输送方向正交的第一交变磁场。而且，在一对磁极之间，形成与电子部件的输送方向平行的第二交变磁场。

在上述的电子部件的退磁装置中，优选上述电子部件是层叠电感器，上述层叠电感器具有包含磁性材料的磁性体部和层叠导体图案而成的线圈导体，且上述线圈导体埋设于上述磁性体部以形成部件基体。

根据该结构，根据构成线圈导体的导体图案的层叠方向，通过的磁场不同。这样，对于层叠有线圈导体的层叠电感器，不管输送时的姿势如何，都能够减少磁性。

在上述的电子部件的退磁装置中，优选上述输送单元包含载带和盖带，其中，上述载带具有沿着长边方向拉开间隔地形成且收容上述电子部件的收容孔，上述盖带封闭上述收容孔。

根据该结构，能够将通过载带和盖带收容的电子部件容易地输送至退磁装置。

解决上述课题的编带电子部件串列的制造装置生成具有载带、电子部件以及盖带的编带电子部件串列，上述载带具有沿着长边方向拉开间隔地形成的多个收容孔，上述电子部件收容于上述收容孔，上述盖带封闭上述收容孔，上述编带电子部件串列的制造装置具有：输送部，将上述电子部件输送至上述载带；测量部，设置于上述输送部中的上述电子部件的输送路径，在用于与上述电子部件接触的一对测量端子之间施加偏置电压以使上述一对测量端子与上述电子部件接触，来测量上述电子部件的特性；卷绕部，卷绕上述编带电子部件串列；以及退磁装置，配设于上述输送部与上述卷绕部之间，上述退磁装置具有与上述编带电子部件串列相邻配置的铁芯、和卷绕于上述铁芯并被供给交流电流的线圈，通过上述铁芯和上述线圈，产生与上述电子部件的输送方向正交的第一交变磁场和与上述电子部件的输送方向平行的第二交变磁场。

根据该结构，由于在测量电子部件的特性时对用于与电子部件接触的测量端子施加的偏置电压，电子部件被磁化。在将特性测量后的电子部件收容于载带而形成编带电子部件串列之后，通过退磁装置对该编带电子部件串列施加第一交变磁场和第二交变磁场，从而能够减少收容于编带电子部件串列的电子部件的磁性。

解决上述课题的电子部件的退磁方法，对所输送的电子部件形成与上述电子部件的输送方向正交的第一交变磁场和与上述电子部件的输送方向平行的第二交变磁场。

根据该结构，对电子部件施加第一交变磁场和与该第一交变磁场正交的第二交变磁场。而且，随着电子部件的输送，第一交变磁场和第二交变磁场的磁力逐渐降低。通过像这样施加正交的2个方向的交变磁场，并且交变磁场的磁力随着输送逐渐减弱，从而对于在残留磁场、通过的磁场具有方向性的电子部件，能够减少该电子部件的磁性。

根据本发明的电子部件的退磁装置、编带电子部件串列的制造装置、电子部件的退磁方法，能够不管所输送的电子部件的姿势如何都能够减少该电子部件的磁性。

附图说明

图1是编带电子部件串列的制造装置的示意性的俯视图。

图2是编带电子部件串列的制造装置的示意图。

图3(a)是编带电子部件串列的部分俯视图，(b)是编带电子部件串列的部分剖视图。

图4(a)(b)是编带的说明图。

图5是退磁装置的简要立体图。

图6(a)(b)是层叠电感器的简要立体图。

图7是退磁装置的作用的说明图。

图8(a)(b)是输送方向上的磁场强度的说明图。

图9是施加于被编带的层叠电感器的磁通的说明图。

图10是表示电子部件的特性测量的示意图。

图11(a)～(j)是表示其它的退磁装置的立体图。

具体实施方式

以下，对一个实施方式进行说明。

此外，为了容易理解，附图有放大构成要素来表示的情况。有构成要素的尺寸比率与实际的尺寸或者其它附图中的尺寸不同的情况。另外，在剖视图中，为了容易理解，有省略部分构成要素的剖面线的情况。

如图2所示，编带电子部件串列的制造装置10具有输送装置11、编带装置12、退磁装置13、控制装置14。控制装置14驱动控制输送装置11、编带装置12、退磁装置13。此外，在图2中，示出了一个控制装置14，但也可以对各装置设置控制装置。

输送装置11具有3个卷盘(reel)部21、22、23。卷盘部21供给载带31。卷盘部22供给盖带32。

载带31具有收容电子部件的收容孔。编带装置12将电子部件收容于载带31的收容孔，并利用盖带32封闭该收容孔。由此，形成在收容孔内收容有电子部件的编带电子部件串列33。卷盘部23卷绕编带电子部件串列33。卷盘部23输送编带电子部件串列33。卷盘部23和编带电子部件串列33构成输送电子部件的输送单元。而且，由被输送的编带电子部件串列33构成电子部件的移动路径。

退磁装置13被配设在编带装置12与卷盘部23之间。退磁装置13对被收容于由卷盘部23输送的编带电子部件串列33的电子部件进行退磁处理。

对电子部件进行说明。

如图6(a)所示，电子部件40具有部件基体41和外部电极42、43。部件基体41呈大致长方体状。例如，部件基体41是正四棱柱状。此外，“大致长方体”包含角部、棱线部被倒角后的立方体、角部、棱线部被倒圆的立方体。

在本实施方式中，电子部件40是层叠电感器。如图6(b)所示，部件基体41具有磁性体部51和线圈导体(导体部)52。线圈导体52被埋设于磁性体部51。在线圈导体52的两端形成有引出电极53、54。引出电极53、54与外部电极42、43电连接。

作为磁性体部51的材料，例如，能够使用作为主要成分含有铁(fe)、镍(ni)、锌(zn)以及铜(cu)各成分的铁素体材料。作为线圈导体52的材料，例如，能够使用以cu为主要成分的导电性材料。作为外部电极42、43的材料，例如，能够使用ni、cu、银(ag)、钯(pd)、金(au)、ag－pd合金等适当的导电材料。

部件基体41例如层叠板状的磁性体而形成。具体而言，制作由铁素体等磁性材料构成的片材(例如，生片)，并在片材的规定位置形成了导通孔(viahole)之后，在片材的上表面利用铜(cu)等导电性材料形成线圈图案(导体图案)52a。对形成有规定的线圈图案52a的片材和未形成线圈导体的片材进行层叠，以规定的压力进行压接，并切割成规定尺寸而得到层叠体。以规定温度(例如，900度)对该层叠体进行烧制以得到部件基体41。在部件基体41的两端面涂覆导电材料，并在规定温度(例如700度)下进行烧结而形成外部电极42、43。

在这样形成的电子部件40中，将层叠方向(层叠有构成线圈导体52的多个线圈图案52a的方向)设为厚度方向t，将与层叠的片材的面平行的短边方向设为宽度方向w。而且，将与厚度方向t以及宽度方向w正交的方向，换句话说，大致长方体状的电子部件40的长边方向设为长度方向l。

对编带电子部件串列33进行说明。

如图3(a)以及图3(b)所示，编带电子部件串列33包含具有收容孔31a的载带31、配设于载带31的上表面的盖带32以及被收容于各收容孔31a的电子部件40。本实施方式的载带31具有贯通收容孔31a而形成的基带31b和安装于基带31b的下表面的底带31c。此外，也可以使用使基带31b和底带31c一体的载带。

如图3(a)以及图3(b)所示，收容孔31a沿着载带31的长边方向(图3(a)的左右方向)隔着间隔地形成。收容孔31a形成为沿载带31的宽度方向(图3(a)的上下方向)延伸。该编带电子部件串列33被向长边方向的一个方向(例如，图3(a)的左方)输送。从编带电子部件串列33的主面(上表面)观察，收容孔31a形成为沿与编带电子部件串列33的输送方向正交的方向延伸。

对编带装置12进行说明。

如图1所示，编带装置12具有球型送料器(ballfeeder)61、线形送料器(linear)62、输送机构63。

球型送料器61中收容多个电子部件40。球型送料器61通过振动将电子部件40依次供给至线形送料器62。线形送料器62通过振动，将从球型送料器61供给的电子部件40供给至输送机构63。

输送机构63具有以中心轴c为中心旋转的输送台64。输送机构63通过输送台64将电子部件40输送至载带31。

输送台64具有多个凹部65。输送台64是圆板状，多个凹部65分别设置于输送台64的径向外侧端部。多个凹部65沿着输送台64的周向隔着间隔设置。例如，多个凹部65沿着输送台64的周向等间隔设置。各凹部65从输送台64的外周面朝向中心轴c延伸。各凹部65在俯视(从输送台64的中心轴c的方向观察)时形成为矩形状。各凹部65形成得比电子部件40稍大。

在位置p1，将电子部件40从线形送料器62转移到输送台64的凹部65。在位置p1，被转移到凹部65的电子部件40通过输送台64旋转，而以中心轴c为中心沿着周向被输送。电子部件40被输送到位置p5。电子部件40在该位置p5，从输送台64收容于载带31的收容孔31a。

在位于从位置p1到位置p5的输送路径上的位置p2，设置有电阻值测量部66。在该电阻值测量部66中，测量被收容于凹部65的电子部件40的电阻值。测量出的电子部件40的电阻值被输出至图2所示的控制装置14。

在输送路径上，在位于位置p2与位置p5之间的位置p3设置有阻抗测量部67。在该阻抗测量部67中，测量被收容于凹部65的电子部件40的阻抗值。测量出的电子部件40的阻抗值被输出至图2所示的控制装置14。

图10是表示电子部件40的特性测量的示意图。

如图10所示，以规定的按压力使测量端子t1、t2与电子部件40的外部电极42、43接触，来测量电子部件40的特性值。此时，实施电清洗处理。电清洗处理是用于使测量端子t1、t2与电子部件40的外部电极42、43之间的接触性稳定的处理。若在测量端子t1、t2的表面、外部电极42、43的表面存在异物的附着、氧化膜等膜，则测量端子t1、t2与外部电极42、43的接触性不稳定。因此，若在测量端子t1、t2之间施加了偏置电压的状态下，使测量端子t1、t2与外部电极42、43接触，则在测量端子t1、t2与外部电极42、43之间产生放电现象。通过该放电现象，除去表膜(例如，镀锡氧化膜)、附着于表面的异物。由此，测量端子t1、t2与外部电极42、43之间的接触性稳定化。

此外，在图10中示出了2根测量端子t1、t2，但测量端子的数量可根据所测量的特性来变更。例如，在电阻值测量部66中，通过使用了4根测量端子的4端子法来测量电阻值。另外，在阻抗测量部67中，如图10所示，使用2根测量端子t1、t2来测量阻抗值。

如图1所示，在输送路径上，在位于位置p3与位置p5之间的位置p4设置有筛选部68。筛选部68与图2所示的控制装置14连接。筛选部68基于控制装置14的指示来筛选电子部件40。

控制装置14基于从电阻值测量部66输出的电阻值和从阻抗测量部67输出的阻抗值，来判定电子部件40的优劣。控制装置14基于该判定结果，使筛选部68筛选判定为合格的电子部件40，保持原样继续输送，并通过筛选部68将判定为不合格的电子部件40从输送台64除去。

例如，筛选部68具有未图示的抽吸泵。抽吸泵与形成于输送台64的抽吸孔连接。由此，输送台64吸附保持电子部件40。筛选部68在位置p4持续进行判定为合格的电子部件40的吸附保持。另一方面，筛选部68在位置p4停止判定为不合格的电子部件40的吸附保持，并对抽吸孔赋予正压。由此，将电子部件从凹部65排除。因此，通过位置p4被输送至位置p5的电子部件40全部是判定为合格的产品。

由输送台64输送的电子部件40在位置p5被收容于载带31的收容孔31a。在载带31，沿着长边方向拉开间隔设置有多个收容孔31a。载带31被定位成当输送台64的凹部65位于位置p5时，该凹部65与收容孔31a重叠。在该状态下，电子部件40从输送台64的凹部65被收容于载带31的收容孔31a。

之后，载带31沿着长边方向在图1中向左方移动，被配置为未收容有电子部件40的其它凹部65与位于位置p5的凹部65重叠，将电子部件40收容于收容孔31a。通过反复进行这些工序，将电子部件40依次收容于载带31的多个收容孔31a。

在所输送的载带31的下方配设有磁轨69。磁轨69通过磁力吸引收容于载带31的收容孔31a的电子部件40。

如图4(a)所示，电子部件40被磁轨69磁吸引，而紧贴于收容孔31a的底面。换句话说，磁轨69使收容孔31a内的电子部件40的姿势稳定。在图4(a)中，在载带31的上方配设有输送盖70。因此，能够不像图4(b)所示那样电子部件40的姿势倾斜或从收容孔31a飞出而与输送盖70接触地使载带31移动。另外，磁轨69抑制收容孔31a中电子部件40的移动。由此，能够抑制电子部件40、载带31的损害(损伤)，并抑制编带电子部件串列33的品质降低。

之后，在载带31上配设覆盖多个收容孔31a的盖带32。此外，在图1中，为了容易理解载带31和电子部件40，而省略了盖带32。盖带32例如通过加热等紧贴于载带31。其结果，生成具有载带31、盖带32以及收容于收容孔31a的电子部件40的编带电子部件串列33。

被输送的载带31通过退磁装置13的上方，并被图2所示的卷盘部23卷绕。退磁装置13对被收容于载带31的收容孔31a的电子部件40进行退磁处理。如上所述，电子部件40的部件基体41具有磁性体部51。磁性体部51通过上述测量中的电清洁处理被流过部件基体41(参照图6(b))的电流、磁轨69的磁力等磁化。磁性体部51的磁化，换句话说磁性体部51中残留的磁场使电子部件40的特性(阻抗值)变化。例如，作为电子部件40在层叠电感器中，阻抗值因磁性体部51的磁化而降低。例如，若在出厂后磁性体部51的磁场由于一些重要因素而降低，则阻抗值升高。换句话说，导致电子部件40中的特性(阻抗值)的变化。因此，利用退磁装置13减少磁性体部51的磁场，抑制特性(阻抗值)的变化。

如图5所示，退磁装置13具有铁芯81和线圈91。铁芯81配置于所输送的编带电子部件串列33(载带31)的下方。此外，在图5中，为了示出电子部件40，而省略了盖带。铁芯81具有2个磁极82、83，例如形成为u字状。详细而言，铁芯81具有平行延伸的一对磁极部84、85和连结一对磁极部84、85的下端的连结部86。线圈91卷绕于一对磁极部84、85中的一个磁极部85。此外，也可以将线圈91卷绕于磁极部84。而且，一对磁极部84、85的前端面(上端面)成为铁芯81的磁极82、83。

铁芯81配置为沿着载带31的输送方向排列2个磁极82、83。在本实施方式中，铁芯81配置为2个磁极82、83与载带31的主面(下表面)对置。铁芯81的磁极82、83与载带31之间的距离例如能够为5～10mm的范围。2个磁极82、83之间的距离(磁极82、83的中心间距离)例如能够为70mm。

铁芯81上缠绕有线圈91。线圈91与未图示的电源装置连接，由该电源装置供给交流电流。被供给交流电流的线圈91使铁芯81的2个磁极82、83之间产生交变磁场。电源装置例如包含于图2所示的控制装置14。此外，也可以与控制装置14分立地具备电源装置。

如图7所示，与载带31对应配置的2个磁极82、83分别形成在载带31的厚度方向上通过该载带31的交变磁场(垂直磁场、第一磁场)。另外，与载带31分离规定距离配置的2个磁极82、83形成与载带31的输送方向平行的交变磁场(水平磁场、第二磁场)。换句话说，如上述那样构成的退磁装置13形成垂直于载带31方向上的交变磁场(垂直磁场)和与载带31平行的交变磁场(水平磁场)。

例如，作为电源装置能够使用单相200v、60hz的交流电源。通过这样的交流电源，退磁装置13产生磁通密度为0～90mt(毫特斯拉)的磁场。此外，在载带31中，优选产生30～75mt的范围的磁通密度的磁场。进一步，优选具有45mt以上的磁通密度，更为优选具有60mt的磁通密度。作为载带31的输送速度，例如，能够为40～140mm/sec。

(作用)

退磁装置13形成相对于载带31垂直的交变磁场和水平的交变磁场。

图8(a)以及图8(b)示出了在载带31的输送方向，由退磁装置13产生的磁场的强度。

图8(a)示出了在载带31的移动方向上，相对于载带31水平地形成的交变磁场的强度。所谓的交变磁场的强度意味着施加了交流时的最大的磁场的大小。在图8(a)中，实线表示从缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面发出，并收敛于未缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面的交变磁场的强度。在图8(a)中，虚线表示从未缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面发出，并收敛于缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面的交变磁场的强度。

图8(b)是表示在载带31的移动方向上，相对于载带31垂直地形成的交变磁场的强度。在图8(b)中，实线表示从缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面发出，并收敛于未缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面的交变磁场的强度。在图8(b)中，虚线表示从未缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面发出，并收敛于缠绕有线圈91侧的铁芯81的磁极面的交变磁场的强度。

如图8(a)以及图8(b)所示，交变磁场的强度随着使载带31沿着输送方向远离退磁装置13的铁芯81的2个磁极82、83(在图中用竖的虚线表示)而变弱。由此，构成电子部件40的磁性体部51的磁性随着交变磁场的变化而反复反转并且衰减。

然而，如本实施方式的电子部件40那样，在包含所层叠的多个导体图案的电子部件中，根据多个导体图案的层叠方向，通过电子部件的磁力不同。因此，在使电子部件通过环状的线圈的退磁装置的情况下，存在受到电子部件的姿势影响的磁力不同，磁性难以衰减的情况。

如图9所示，在载带31的收容孔31a中，收容有电子部件40。电子部件40具有由所层叠的线圈图案52a形成的线圈导体52。在图9中，用直线示出线圈导体52(线圈图案52a)。在图9中左侧所示的电子部件40的线圈导体52(线圈图案52a)沿着载带31的厚度方向(图9的上下方向)收容于收容孔31a。另一方面，在图9中右侧所示的电子部件40的线圈导体52(线圈图案52a)沿着与载带31的表面平行的方向(图9的左右方向)收容于收容孔31a。此外，在图9中省略盖带。

这样，在正四棱柱状、接近正四棱柱状(厚度方向lt的长度和宽度方向lw的长度大致相等)的电子部件40中，由于难以判定厚度方向lt和宽度方向lw，所以很难统一电子部件40的姿势地收容于载带31。

如上述那样，本实施方式的退磁装置13形成与载带31垂直的交变磁场和与载带31平行的交变磁场。换句话说，在图9所示的2个电子部件40的每一个中，施加与线圈导体52平行的磁场和与线圈导体52垂直的磁场。因此，不管被收容于载带31的电子部件40的姿势如何，磁性都衰减。因此，对于根据姿势而磁性的影响不同的电子部件40，无需调整姿势，就能够容易地收容于载带31，换句话说容易地生成编带电子部件串列33。

如以上叙述的那样，根据本实施方式，起到以下的效果。

(1)编带电子部件串列的制造装置10具有配设在编带装置12与输送装置11(卷盘部23)之间的退磁装置13。编带装置12向载带31的收容孔31a内收容电子部件40，并将该收容孔31a封闭于盖带32来生成编带电子部件串列33。卷盘部23输送编带电子部件串列33。

退磁装置13具有铁芯81和卷绕于铁芯81的线圈91，并向线圈91供给交流电流。铁芯81配置于被输送的编带电子部件串列33(载带31)的下方。退磁装置13形成垂直于载带31方向上的交变磁场(垂直磁场、第一交变磁场)和与载带31平行的交变磁场(水平磁场、第二交变磁场)。因此，对电子部件40施加第一交变磁场和与该第一交变磁场正交的第二交变磁场。而且，随着电子部件40的输送，第一交变磁场和第二交变磁场的磁力逐渐降低。通过像这样施加正交的2个方向的交变磁场并且随着输送交变磁场的磁力逐渐减弱，从而不管电子部件40的姿势如何，都能够减少该电子部件40的磁性。

(2)退磁装置13的铁芯81具有一对磁极82、83，这一对磁极82、83沿着编带电子部件串列33的输送方向排列。因此，若对线圈91施加交流电流，则能够在一对磁极82、83的各自的位置产生与编带电子部件串列33垂直的交变磁场，并且在一对磁极82、83之间产生与编带电子部件串列33平行的交变磁场。

(3)电子部件40具有层叠多个线圈图案(导体图案)52a而形成的线圈导体52。该电子部件40根据线圈导体52(线圈图案52a)的层叠方向，通过的磁力不同。对该电子部件40施加相互正交的交变磁场(垂直磁场和水平磁场)。其结果，对于在残留磁场、通过的磁场具有方向性的电子部件40，能够减少该电子部件40的磁性。

(变形例)

此外，上述实施方式也可以通过以下的方式来实施。

·对于上述实施方式，也可以适当地变更铁芯的形状。

图11(a)示出上述实施方式的铁芯81以及线圈91的概要。与此相对，如图11(b)所示，也可以使用具有一对磁极部102、103和连结磁极部102、103的连结部104且形成为h字状的铁芯101。

如图11(c)以及图11(d)所示，也可以在连结部86、104卷绕线圈91。

如图11(e)所示，也可以使用一对磁极部112、113相互连接且不具有连结部的v字状的铁芯111。

另外，如图11(f)～图11(j)所示，成为磁极的端面也可以使用圆形的铁芯121～125。此外，成为磁极的端面并不局限于圆形，也可以为三角形、五边形以上的多边形状。

·对于上述实施方式，也可以使卷绕于铁芯的线圈的数量成为2个以上。

·在上述实施方式中，在编带电子部件串列33的下方配设了退磁装置13，但也可以在编带电子部件串列33的上方配设退磁装置13。

附图标记说明

10…编带电子部件串列的制造装置，11…输送装置，12…编带装置，13…退磁装置，14…控制装置，33…编带电子部件串列，40…电子部件，81…铁芯，82、83…磁极，91…线圈。