一种具有强极化空穴注入层的氮化物半导体发光二极管的制作方法

文档序号:18816793发布日期:2019-10-09 00:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有强极化空穴注入层的氮化物半导体发光二极管,依次包括衬底、第一导电型半导体,量子阱,V-pits和第二导电型半导体,在V-pits侧壁上生长强极化空穴注入层,在强极化空穴注入层之间生长V-pits填充层,其特征在于:所述强极化空穴注入层为BxAl1-xN/SczIn1-zN、BxInyGa1-x-yN/SczAlkGa1-z-kN、BxSczGa1-x-zN/InyAlkGa1-y-kN、BxAlkGa1-x-kN/SczInyGa1-y-zN超晶格的任意一个或任意组合,其中1>x>0,1>y>0,1>z>0,1>k>0,超晶格的周期数为L≥1,强极化空穴注入层形成强极化系数m≥3.0cm-2,m大于GaN的0.65cm-2和AlN的1.55cm-2,形成V-pits侧壁高空穴浓度p>1018cm-3

2.根据权利要求1所述一种具有强极化空穴注入层的氮化物半导体发光二极管,其特征在于:所述的强极化空穴注入层的厚度为1埃~500埃。

3.根据权利要求1所述一种具有强极化空穴注入层的氮化物半导体发光二极管,其特征在于:所述的强极化空穴注入层掺杂Mg元素,使Mg激活能降低至100meV以下。

4.根据权利要求1所述的一种具有强极化空穴注入层的氮化物半导体发光二极管,其特征在于:所述的V-pits存在量子阱中,V-pits的开口尺寸为20~500nm。

5.根据权利要求1所述的一种具有强极化空穴注入层的氮化物半导体发光二极管,其特征在于:所述的强极化空穴注入层位置沉积在V-pits的斜侧壁,V-pits的开口角度为50~70度。

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