具有超薄GaAs发射层的变Al组分透射式GaAlAs光电阴极的制作方法

文档序号:15644489发布日期:2018-10-12 22:25阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种具有超薄GaAs发射层的变Al组分透射式GaAlAs光电阴极,该阴极自下而上由Corning 7056#玻璃基底、SiO2保护层、Si3N4增透层、Ga1‑x1Alx1As窗口层、变Al组分Ga1‑x2Alx2As吸收层、超薄GaAs发射层以及Cs/O激活层组成,采用超高真空Cs/O激活技术获得负电子亲和势表面。制备得到的具有超薄GaAs发射层的变Al组分GaAlAs光电阴极的光谱响应对蓝绿光敏感,结合微通道板构成蓝绿光响应像增强器,可应用于海洋探测、水下通信、水下搜救等领域。

技术研发人员:陈鑫龙;唐光华;杨杰;杨佩佩;刘昌春
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第五十五研究所
技术研发日:2018.05.15
技术公布日:2018.10.12
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