一种新型独立式检选机的制作方法

本发明属于晶圆检选设备技术领域，具体涉及一种新型独立式检选机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆检选机对8英寸和12英寸的晶圆进行筛分。现有的晶圆检选机在使用过过程中，检选机内部透气设备维护难度大，同时维护人员观察部件损坏情况耗费时间，增加检选机维护时间，降低晶圆检选机有效的工作时间，增加晶圆生产周期，提高晶圆生产成本的问题，为此我们提出一种新型独立式检选机。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种新型独立式检选机，以解决上述背景技术中提出的晶圆检选机在使用过过程中，检选机内部透气设备维护难度大，同时维护人员观察部件损坏情况耗费时间，增加检选机维护时间，降低晶圆检选机有效的工作时间，增加晶圆生产周期，提高晶圆生产成本的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型独立式检选机，包括检选机本体，所述检选机本体的表面设置有透气框，所述透气框固定在检选机本体的表面，所述透气框的内部开设有移杆槽，所述移杆槽的内部设置有移动杆，所述移动杆的两端均安装在移杆槽的内部，所述移动杆的表面开设有限位槽，所述限位槽的内部设置有限位杆。

优选的，所述限位杆为环形结构，所述限位杆的两端均固定在限位槽的内部，且所述限位杆两端的限位槽分别位于两根移动杆的表面。

优选的，所述移动杆的表面设置有拉杆，所述拉杆的一端固定在移动杆的表面，所述拉杆的一侧设置有限位块，所述限位块的一端固定在移动杆的表面，所述限位块的表面开设有定位槽，所述限位块的内部镶嵌设置有磁铁。

优选的，所述透气框上端的内部设置有固定槽，所述固定槽的内部设置有定位杆，所述定位杆的一端镶嵌在固定槽的内部，所述定位杆的另一端设置有定位块，所述定位块的一端固定在定位杆的一端，所述定位块的另一端贯穿固定槽的表面。

优选的，所述限位块和固定槽均为工字形结构，且所述限位块通过定位槽、磁铁、定位杆和定位块固定在固定槽的内部。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：采用透气框、移动杆、限位槽和限位杆，移动杆通过移动使限位杆的两端在限位槽内部移动，同时移动杆的两端在移杆槽内部移动，增加透气框开合的便捷性，降低工人维护检选机的时间，提高检选机维护的便捷性，增加检选机工作的效率，采用限位块、定位槽、磁铁、固定槽、定位杆和定位块，限位块通过磁铁吸附在固定槽的内部，同时定位杆通过外表面的弹簧使定位块镶嵌在定位槽的内部，增加限位块固定在固定槽内部的牢靠性，提高透气框闭合的稳定性。

附图说明

图1为本发明的检选机本体侧视结构示意图；

图2为本发明的检选机本体主视结构示意图；

图3为本发明的透气框闭合结构示意图；

图4为本发明的透气框打开结构示意图；

图5为本发明的移动杆、限位槽和限位杆放大结构示意图；

图6为本发明的移动杆、限位槽和限位杆剖面结构示意图；

图7为本发明的限位块和固定槽结构示意图；

图8为本发明的限位块结构示意图；

图中：1、检选机本体；2、透气框；3、移动杆；4、限位槽；5、限位杆；6、拉杆；7、限位块；8、定位槽；9、磁铁；10、固定槽；11、定位杆；12、定位块；13、移杆槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一:

请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7和图8，本发明提供一种技术方案：一种新型独立式检选机，包括检选机本体1，检选机本体1的表面设置有透气框2，透气框2通过螺栓固定在检选机本体1的表面，透气框2的内部开设有移杆槽13，移杆槽13的内部设置有移动杆3，移动杆3的两端均安装在移杆槽13的内部，移动杆3的表面开设有限位槽4，限位槽4的内部设置有限位杆5。

为了增加限位杆5在限位槽4内部移动的便捷性，增加移动杆3间距调节的灵活性，本实施例中，优选的，限位杆5为环形结构，限位杆5的两端均固定在限位槽4的内部，且限位杆5两端的限位槽4分别位于两根移动杆3的表面。

为了增加透气框2开合的便捷性，本实施例中，优选的，移动杆3的表面设置有拉杆6，拉杆6的一端通过焊接固定在移动杆3的表面，拉杆6的一侧设置有限位块7，限位块7的一端通过焊接固定在移动杆3的表面，限位块7的表面开设有定位槽8，限位块7的内部镶嵌设置有磁铁9。

为了提高定位块12在固定槽10内部移动的灵活性，本实施例中，优选的，透气框2上端的内部设置有固定槽10，固定槽10的内部设置有定位杆11，定位杆11的一端镶嵌在固定槽10的内部，定位杆11的另一端设置有定位块12，定位块12的一端固定在定位杆11的一端，定位块12的另一端贯穿固定槽10的表面。

为了增加限位块7固定在固定槽10内部的稳定性，提高透气框2闭合的牢靠性，本实施例中，优选的，限位块7和固定槽10均为工字形结构，且限位块7通过定位槽8、磁铁9、定位杆11和定位块12固定在固定槽10的内部。

实施例二:

请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7和图8，本发明提供一种技术方案：一种新型独立式检选机，包括检选机本体1，检选机本体1的表面设置有透气框2，透气框2通过焊接固定在检选机本体1的表面，透气框2的内部开设有移杆槽13，移杆槽13的内部设置有移动杆3，移动杆3的两端均安装在移杆槽13的内部，移动杆3的表面开设有限位槽4，限位槽4的内部设置有限位杆5。

为了增加限位杆5在限位槽4内部移动的便捷性，增加移动杆3间距调节的灵活性，本实施例中，优选的，限位杆5为环形结构，限位杆5的两端均固定在限位槽4的内部，且限位杆5两端的限位槽4分别位于两根移动杆3的表面。

为了增加透气框2开合的便捷性，本实施例中，优选的，移动杆3的表面设置有拉杆6，拉杆6的一端通过焊接固定在移动杆3的表面，拉杆6的一侧设置有限位块7，限位块7的一端通过焊接固定在移动杆3的表面，限位块7的表面开设有定位槽8，限位块7的内部镶嵌设置有磁铁9。

为了提高定位块12在固定槽10内部移动的灵活性，本实施例中，优选的，透气框2上端的内部设置有固定槽10，固定槽10的内部设置有定位杆11，定位杆11的一端镶嵌在固定槽10的内部，定位杆11的另一端设置有定位块12，定位块12的一端固定在定位杆11的一端，定位块12的另一端贯穿固定槽10的表面。

为了增加限位块7固定在固定槽10内部的稳定性，提高透气框2闭合的牢靠性，本实施例中，优选的，限位块7和固定槽10均为工字形结构，且限位块7通过定位槽8、磁铁9、定位杆11和定位块12固定在固定槽10的内部。

本发明的工作原理及使用流程：使用时，把检选机本体1放置在适当的位置，当检选机本体1需要检修时，用户单手下移拉杆6，此时移动杆3在拉杆6的作用下移动，同时限位块7由固定槽10的内部脱离，此时限位块7的外表面挤压定位块12的一端，并使定位块12挤压定位杆11，使定位杆11外表面的弹簧压缩，同时限位槽4内部的限位杆5的一端由限位槽4的一端移动的另一端，此时移动杆3之间相互靠近。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。