技术特征：
技术总结
本发明通过提供一种修调电阻，其包括衬底、形成在衬底上的介质层、形成在介质层上表面的金属丝、在金属丝长度方向上位于金属丝两侧上方的修调窗口，金属丝包括第一金属层、间隔形成在第一金属层上表面的第二金属层及间隔形成在第二金属层上表面的第三金属层，修调电阻还包括位于第一金属层上方的熔丝窗口、形成在第三金属层及介质层上表面的钝化层及穿过钝化层、金属丝形成在介质层上的沟槽，在垂直于衬底的方向上位于沟槽内的第一金属层高于沟槽的底部。本发明还提供一种修调电阻的制备方法，制备方法简单，缩小所述修调电阻的尺寸，提高所述修调电阻的修调效率和精度，降低制造成本。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：深圳市南硕明泰科技有限公司
技术研发日：2018.08.01
技术公布日：2018.12.18