太赫兹波段速调管调谐系统的制作方法

本发明涉及微波电子真空器件结构，具体地涉及太赫兹波段速调管调谐系统。

背景技术：

扩展互作用速调管是一种可工作于太赫兹频段的辐射源，既具有慢波线的特点，又有谐振腔的特点，是一种既有高的增益和效率，又有足够带宽的新器件。对于低频段扩展互作用速调管来说，各个谐振腔之间有足够的距离能够安装波纹管作为调谐系统的形变原件，从而达到将各个谐振腔的谐振频点调节一致的目的。但是随着频段的提高，电真空器件尺寸越来越小，扩展互作用速调管各个谐振腔之间的距离越来越近，尤其对于本文中提到的340ghz扩展互作用速调管的慢波结构来说，谐振腔中心之间的最小尺寸只有1.42mm。即使是目前存在的最小波纹管也无法实现真空焊接。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种太赫兹波段速调管调谐系统，该太赫兹波段速调管调谐系统能够实现thz波段扩展互作用速调管谐振腔频点调节。

为了实现上述目的，本发明提供了一种太赫兹波段速调管调谐系统，该太赫兹波段速调管调谐系统包括调谐槽和调谐腔，所述调谐腔通过连接孔连接多个谐振腔；所述调谐腔位于每个所述谐振腔的一侧，所述调谐槽的槽底设置为无氧铜薄板，所述无氧铜薄板的两侧分别位于所述调谐腔和调谐槽内；所述调谐槽的槽口盖设有固定盖板，所述固定盖板上一字排列有多个螺纹孔，多个调谐杆组件自所述调谐槽的外部顺次贯穿所述螺纹孔、调谐槽、无氧铜薄板、调谐腔和谐振腔；其中，所述调谐杆组件位于所述螺纹孔的位置螺接于所述螺纹孔，位于所述无氧铜薄板的位置固接于所述无氧铜薄板上。

优选地，所述调谐杆组件包括：螺钉、连接件和钼杆，所述螺钉、连接件和钼杆顺次同轴连接；其中，所述连接件位于所述调谐槽内，所述螺钉自所述调谐槽的外部经过所述螺纹孔螺旋进入所述调谐槽内，所述螺钉能够自转地深入所述连接件的内部；所述钼杆的一端固接于连接件，另一端贯穿所述谐振腔并活动地深入所述谐振腔的壁面上，并且所述钼杆固接于所述无氧铜薄板。

优选地，所述连接件内设置有转动槽，所述螺钉的端部卡接于所述转动槽内。

优选地，所述螺钉位于所述调谐槽外部的一端端面上设置有一字口、十字口或内六角。

优选地，所述固定盖板、螺钉和连接件的材质均为1cr18ni9ti。

优选地，根据权利要求5所述的太赫兹波段速调管调谐系统，其特征在于，所述无氧铜薄板的材质为tu1无氧铜。

优选地，所述钼杆的材质为mo1。

优选地，所述钼杆的外表面镀镍。

根据上述技术方案，本发明中所述调谐腔通过连接孔连接多个谐振腔；所述调谐腔位于每个所述谐振腔的一侧，所述调谐槽的槽底设置为无氧铜薄板，所述无氧铜薄板的两侧分别位于所述调谐腔和调谐槽内；所述调谐槽的槽口盖设有固定盖板，所述固定盖板上一字排列有多个螺纹孔，多个调谐杆组件自所述调谐槽的外部顺次贯穿所述螺纹孔、调谐槽、无氧铜薄板、调谐腔和谐振腔；其中，所述调谐杆组件位于所述螺纹孔的位置螺接于所述螺纹孔，位于所述无氧铜薄板的位置固接于所述无氧铜薄板上。通过对调谐杆组件位于螺纹孔内的转动使得调谐杆组件拉动或挤压无氧铜薄板的形变，无氧铜薄板的形变促使谐振腔内的腔体体积的变化，从而改变该谐振腔的谐振频点。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明中太赫兹波段速调管调谐系统在初始状态时的一种优选实施方式的结构剖视图；

图2是本发明中调谐杆组件的一种优选实施方式的整体结构示意图；

图3是本发明中太赫兹波段速调管调谐系统在调节后状态时的一种优选实施方式的结构剖视图。

附图标记说明

1固定盖板2调谐杆组件

3无氧铜薄板4螺钉

5连接件6钼杆

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

在本发明中，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制。

参见图1-3所示的太赫兹波段速调管调谐系统，该太赫兹波段速调管调谐系统包括调谐槽和调谐腔，所述调谐腔通过连接孔连接多个谐振腔；所述调谐腔位于每个所述谐振腔的一侧，所述调谐槽的槽底设置为无氧铜薄板3，所述无氧铜薄板3的两侧分别位于所述调谐腔和调谐槽内；所述调谐槽的槽口盖设有固定盖板1，所述固定盖板1上一字排列有多个螺纹孔，多个调谐杆组件2自所述调谐槽的外部顺次贯穿所述螺纹孔、调谐槽、无氧铜薄板、调谐腔和谐振腔；其中，所述调谐杆组件2位于所述螺纹孔的位置螺接于所述螺纹孔，位于所述无氧铜薄板3的位置固接于所述无氧铜薄板3上。

通过上述技术方案的实施，所述调谐腔通过连接孔连接多个谐振腔；所述调谐槽位于每个所述谐振腔的一侧，所述调谐槽的槽底设置为无氧铜薄板3，所述无氧铜薄板3的两侧分别位于所述调谐腔和调谐槽内；所述调谐槽的槽口盖设有固定盖板1，所述固定盖板1上一字排列有多个螺纹孔，多个调谐杆组件2自所述调谐槽的外部顺次贯穿所述螺纹孔、调谐槽、无氧铜薄板、调谐腔和谐振腔和谐振腔；其中，所述调谐杆组件2位于所述螺纹孔的位置螺接于所述螺纹孔，位于所述无氧铜薄板3的位置固接于所述无氧铜薄板3上。通过对调谐杆组件2位于螺纹孔内的转动使得调谐杆组件2拉动或挤压无氧铜薄板3的形变，无氧铜薄板3的形变促使谐振腔内的腔体体积的变化，从而改变该谐振腔的谐振频点。为了在调节单个谐振腔时相邻谐振不至于受到联动的影响，相邻螺钉4的调节方向顺次正、反间隔旋转，对无氧铜薄板3的压力和拉力间隔交替进行。为了能够定量的调节扩展互作用速调管各个谐振腔的谐振频点，具体操作时应配合功率计与频谱仪使用。根据仪器显示参数确定调谐系统的最佳位置。该太赫兹波段速调管调谐系统实现了小间距谐振腔之间的独立调节，能够满足现有大多数太赫兹波段扩展互作用速调管的调谐要求。

在该实施方式中，为了进一步避免调谐杆组件2在活动的过程中对谐振腔的密封性造成影响，优选地，所述调谐杆组件2包括：螺钉4、连接件5和钼杆6，所述螺钉4、连接件5和钼杆6顺次同轴连接；其中，所述连接件5位于所述调谐槽内，所述螺钉4自所述调谐槽的外部经过所述螺纹孔螺旋进入所述调谐槽内，所述螺钉4能够自转地深入所述连接件5的内部；所述钼杆6的一端固接于连接件5，另一端贯穿所述调谐腔并活动地深入所述谐振腔的壁面上，并且所述钼杆6固接于所述无氧铜薄板3。通过螺旋转动螺钉4使得螺钉4驱动连接件5移动，连接件5带动钼杆6移动，从而调节无氧铜薄板3的形变，由于钼杆6和螺钉4为分离式的结构，螺钉4的转动对钼杆6不造成影响，因此钼杆6可以直接焊接在无氧铜薄板3上，对谐振腔的密封性不造成影响。

在该实施方式中，为了进一步提高螺钉4位于连接件5内的转动效果，优选地，所述连接件5内设置有转动槽，所述螺钉4的端部卡接于所述转动槽内。

在该实施方式中，为了方便对螺钉4的转动调节，优选地，所述螺钉4位于所述调谐箱外部的一端端面上设置有一字口、十字口或内六角。

在该实施方式中，为了保证固定盖板1、螺钉4和连接件5的连接强度，优选地，所述固定盖板1、螺钉4和连接件5的材质均为1cr18ni9ti。

在该实施方式中，为了进一步保证无氧铜薄板3的韧性，提高调节精度，优选地，根据权利要求5所述的太赫兹波段速调管调谐系统，其特征在于，所述无氧铜薄板3的材质为tu1无氧铜。

在该实施方式中，为了增加钼杆6与无氧铜薄板3的焊接强度，优选地，所述钼杆6的材质为mo1。

在该实施方式中，为了进一步增加钼杆6的强度，优选地，所述钼杆6的外表面镀镍。

以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。