TDDB渗透电流诱导电熔丝结构及其编程方法与流程

本文中所揭示的发明主题涉及自触发半导体电熔丝。尤其，本文中所述的各种态样涉及时间相关介电击穿(time-dependentdielectricbreakdown；tddb)渗透电流诱导电熔丝结构及其编程方法。

背景技术：

传统上，电可编程熔丝(或电熔丝；e-fuse)被集成于半导体集成电路(integratedcircuit；ic)中作为各端子访问垫之间的导电材料(例如，金属、多晶硅等)链(或条)。熔丝的电阻初始为低，且在电路术语中通常被称为“闭合”。当在第一端子与第二端子之间施加足够大的电流(ifuse)时，链(link)中的金属元素被电迁移走或链被热破坏，从而将电熔丝的电阻改变至较高的水平，在电路术语中通常被称为“断开(open)”。此技术通常被称为编程电熔丝。传统上，通过使用独立的感测电路来确定熔丝是否已被编程。

在先进技术中，例如，在20纳米节点及以下，通常利用标准鳍式场效应晶体管(fin-shapedfieldeffecttransistor；finfet)流程中的后端工艺(back-end-of-line；beol)或中间工艺(middle-of-line；mol)薄金属膜或过孔结构结合额外的掩膜及制程步骤来形成电熔丝。这些传统电熔丝使用自对准硅化物材料(也称为自对准硅化物)。此自对准硅化物完全由通过使用前驱体金属及退火步骤被转化为硅化物的硅基材料形成。不过，此自对准硅化物需要高电流水平来编程(或熔断)该电熔丝。而且，编程(或熔断)该电熔丝所需的这些高电流水平通常由附加至包含该电熔丝的结构的熔断电流供应器提供。因此，若在现场的装置中发生电熔丝电路故障，则该装置通常需要被退回给制造商进行修理。

技术实现要素：

本发明揭示时间相关介电击穿(tddb)渗透电流诱导电熔丝结构及其编程方法。在本发明的第一态样中，一种电熔丝结构包括：电路，包括可操作地耦接该电路至电源的电熔丝；以及冗余电路，响应该电熔丝的断开而可操作地耦接该电源；其中，该电熔丝响应迁移穿过该电熔丝的邻近该电路的时间相关介电击穿(tddb)渗透电流而断开。

本发明的第二态样包括一种编程电熔丝结构的方法，该方法包括：响应迁移穿过电熔丝的邻近电路的时间相关介电击穿(tddb)渗透电流而断开该电路的该电熔丝，该电熔丝可操作地耦接该电路至电源；以及响应该电熔丝的该断开而耦接冗余电路至该电源。

附图说明

从下面结合附图所作的关于本发明的各种态样的详细说明将更容易理解本发明的这些及其它特征，该些附图显示本发明的各种实施例，其中：

图1显示具有含电熔丝电路及冗余电路(该两个电路都与电源供应耦接)的电熔丝结构。

图2显示从缺陷点至电熔丝的时间相关介电击穿(tddb)渗透电流的行进路径。

图3显示零过孔层过孔v0未对准，以减小形成断路所需的阈值功率(pthres)。

图4显示具有多个含电熔丝冗余电路的电熔丝结构。

要注意的是，本发明的附图并一定按比例绘制。该些附图意图仅显示本发明的典型态样，因此不应当被视为限制本发明的范围。在该些附图中，类似的附图标记表示该些附图之间类似的元件。

具体实施方式

本文中所揭示的发明主题涉及自触发半导体电熔丝。更具体地说，本文中所述的各种态样涉及时间相关介电击穿(tddb)渗透电流诱导电熔丝结构及其编程方法。

如上所述，传统电熔丝需要高电流水平来编程(或熔断)该电熔丝，且这样的电流通常由附加至包含该电熔丝的结构的熔断电流供应器提供。因此，若在现场的装置中发生电熔丝电路故障，则该装置通常需要被退回给制造商进行修理。

与这样的传统电熔丝结构相反，依据本发明的实施例的电熔丝结构使用直接由该电熔丝结构本身内的tddb事件供应的熔断电流。这样的“自激活”或“自触发”电熔丝可被设计成单独的逻辑及存储器单元(memorycell)，从而电路内的缺陷单元可被关闭，而仍允许其余的及/或冗余的单元继续它们的功能。因此，依据本发明的实施例的电熔丝结构既不需要辅助熔断电流供应器来编程(或断开)该电熔丝，也不需要辅助感测电路来确定该电熔丝是否已被编程(或断开)，以及是否需要激活一个或多个冗余单元。而且，对于本发明的电熔丝结构，由于缺陷单元可被自动关闭，因此无需制造商修理故障部分。此外，且有点令人惊讶的是，本发明的此类电熔丝结构也从电路故障率减小获益。

图1显示电熔丝电路100，包括：电路110，包括可操作地耦接电路110至电源105的电熔丝115；以及冗余电路120，用于响应电熔丝115的断开而可操作地耦接电源105。电熔丝115响应迁移穿过电熔丝115的邻近电路110的时间相关介电击穿(tddb)渗透电流而断开。冗余电路120可包括电熔丝125。

本发明的电熔丝结构可包括任意数目n(或多个)冗余电路。当存在多个冗余电路时，该些冗余电路响应顺序的电熔丝断开而被顺序激活。

图2显示电熔丝结构200，以显示从缺陷点210至过孔层v0中的电熔丝的该时间相关介电击穿(tddb)渗透电流的行进路径(箭头)。更具体地说，该tddb渗透电流产生于缺陷点210，在所示例子中，其邻近栅极220，迁移至栅极220，沿栅极220流动并流至毗邻接触230，接着沿接触230流动并流至该电熔丝。当该tddb渗透电流迁移穿过该电熔丝时，该电熔丝断开。在图2中，栅极220两侧具有沟槽硅化物240，接触230通过过孔层v0与第一金属层m1连接，且m1与第一过孔层v1接触。

所述tddb渗透电流具有值(单位为安培)ipercolation(或iperc)。ipercolation与断开该电熔丝(也就是，形成断路)所需的阈值功率(pthres)相关，传统上将该关系表示如下

pthres＝v*ipercolation＝v²/r

或者表示如下

ipercolation＝pthreshold/v

其中，pthres以瓦为单位，v是以伏为单位的电压，且r是以欧姆(ω)为单位的电阻。在本发明的一些实施例中，pthres在从约0.00001瓦至约0.01瓦的范围内。在本发明的各种实施例中，v在从约0.3伏至约6.5伏的范围内。在本发明的其它实施例中，pthres在从约0.0001瓦至约0.001瓦的范围内。在本发明的其它实施例中，v在从约0.8伏至约1.9伏的范围内。

从上面的等式可确定，随着电阻增加，pthres减小。还要注意的是，电阻随着关键尺寸在每个新的技术节点(见例如技术节点10纳米(nm)、技术节点7纳米等)中降低而增加。因此，本发明的电熔丝结构的适用性随着技术节点进步而增加。不过，在较老的技术节点中，用于降低pthres的机制是可取的。

图3中显示用于降低pthres的一种机制。更具体地说，图3显示零过孔层(例如，v0)过孔的故意未对准。通过故意未对准，该过孔覆盖面积可显着较小，因此更容易使tddb渗透电流引起断路(需要较小的功率来熔化该过孔)。不过，应当注意的是，在此情况下必须使用电迁移短长度效应，以防止未对准过孔的电性/机械故障。与图2类似，340表示沟槽硅化物，320表示栅极，330表示接触，v0表示零过孔层、v1表示第一过孔层，以及m1表示第一金属层。

如上所述，本发明的电熔丝结构可包括任意数目冗余电路。不同于图1至图3，图4显示具有多个含电熔丝冗余电路450/460/470的电熔丝结构400。冗余电路450/460/470分别通过第一过孔层v1与第二金属层m2耦接。v0与m1如上面关于图2所定义那样。冗余电路450/460/470分别包含栅极420、接触430以及位于栅极420两侧的沟槽硅化物440。

除本发明的电熔丝结构的适用性随着技术节点进步而增加的优点以外，发明人发现了另外的优点，例如改进的相继击穿时间及电压等。

更具体地说，依据本发明的电熔丝结构具有改进的变化性。换句话说，依据本发明的电熔丝结构由于相继较低的变化性而呈现相继改进的击穿时间。这意味着可获得多个量级的生命周期提升。

要注意的是，依据本发明的电熔丝结构不仅改进故障时间，而且也改进击穿电压。这使该电熔丝结构的该冗余电路与该电路相比具有较大的tddb可靠性，其中，该冗余电路包括多个冗余电路，各后续冗余电路与先前冗余电路相比将具有较大的tddb可靠性。

依据上述，使用本发明的电熔丝结构的装置领域的故障率应当被显着减小，即使在每个tddb故障没有100％电熔丝编程(或断开)成功率。而且，即使仅部分实例导致该电熔丝被tddb渗透电流触发，产品故障率仍会被显着减小。换句话说，tddb故障率可仅通过采用本发明的电熔丝结构来降低。

依据本发明的实施例的电熔丝结构使装置获得低于百万分之一(1ppm；partpermillion)的故障率。因此，针对本发明的实施例的电熔丝结构的可能应用是在对可靠性具有极高要求的中央处理单元(centralprocessingunit；cpu)及加速处理单元(acceleratedprocessingunit；apu)(例如，包括cpu及图像处理单元(graphicsprocessingunit；gpu)的apu)中。对可靠性也具有极高要求的另一种可能应用是自主汽车(autonomousautomobile)。

使用本发明的电熔丝结构的其它可能最终产品可为包括集成电路芯片的任意产品，涉及范围从玩具及其它低端应用直至具有显示器、键盘或其它输入装置以及中央处理器的先进电脑产品。制造者可以原始晶圆形式(也就是，作为具有多个未封装芯片的单个晶圆)、作为裸芯片，或者以封装形式分配集成电路芯片。在后一种情况中，该芯片设于单芯片封装件中(例如塑料承载件，其具有附着至母板或其它更高层次承载件的引脚)或者多芯片封装件中(例如陶瓷承载件，其具有单面或双面互连或嵌埋互连)。在任何情况下，接着将该芯片与其它芯片、分立电路元件、和/或其它信号处理装置集成，作为(a)中间产品例如母板的部分，或者作为(b)最终产品的部分。

除了本文中所揭示的电熔丝结构以外，本发明还涉及编程电熔丝结构的方法。本发明的一种方法包括响应迁移穿过电熔丝的邻近电路的时间相关介电击穿(tddb)渗透电流而断开该电路的该电熔丝，该电熔丝可操作地耦接该电路至电源，以及响应该电熔丝的该断开而耦接冗余电路至该电源。

本发明的方法中所述的tddb渗透电流具有如上定义的值ipercolation(iperc)。依据本发明的方法中所述的冗余电路可包括多个冗余电路。若存在多个冗余电路，则本发明的方法还可包括响应顺序的电熔丝断开而顺序耦接该冗余电路至该电源。

如上关于本发明的电熔丝结构所述，当该冗余电路仅包括一个电路时，该冗余电路与该电路相比具有较大的tddb可靠性，以及当该冗余电路包括多个冗余电路时，该多个冗余电路的后续冗余电路与该多个冗余电路的先前电路相比具有较大的tddb可靠性。

本发明的方法还可包括，在所述通过该tddb渗透电流断开该电熔丝之前，通过向该电熔丝结构施加足以引起该电熔丝结构内的多个电路的故障的电压来向该电熔丝结构施加应力。换句话说，包含依据本发明的电熔丝结构的装置还可在制造设备经历“预烧(burn-in)”过程。尽管这样的预烧可促进通过beol或mol薄金属膜所形成的电熔丝的tddb可靠性，但可能降低通过前端工艺(front-end-of-line；feol)薄金属膜所形成的电熔丝的tddb可靠性。

不过，本发明的方法既不需要向电路施加辅助熔断电流来断开电熔丝，也不需要采用辅助感测电路来确定电熔丝是否已被断开。这里没有辅助熔断电流及辅助感测电路的原因是该电熔丝结构的上述“自触发”或“自激活”本质。更具体地说，依据本发明的实施例编程电熔丝结构的方法使用直接由该电熔丝结构本身内的tddb事件供应的熔断电流。这意味着不需要辅助熔断电流来断开(或熔断)缺陷单元的电路的电熔丝，从而关闭该缺陷单元，因为tddb渗透电流执行此工作。这也意味着不需要辅助感测电路来确定电熔丝是否已被断开以及冗余电路是否需要被激活，因为该冗余电路经配置以响应该电熔丝断开而自动激活。

依据上述特征，在tddb击穿后，无需将装置退回给制造商进行修理，从而允许本发明的编程方法发生于该装置本身内(也就是，自我修复)，同时仍允许装置的其余部分操作。

本文中所使用的术语仅是出于说明特定实施例的目的，并非意图限制本发明。除非上下文中另外明确指出，否则本文中所使用的单数形式“一”、“一个”以及“该”也意图包括复数形式。另外，应当理解，术语“包括”、“包含”用于本说明书中时表明所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或组件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件，和/或其群组。

这里在说明书及权利要求书各处所使用的近似语言可用以修饰任意量化表达，可允许该量化表达变动而不会导致与其相关的基本功能的改变。因此，由一个或多个术语例如“约”及“基本上”修饰的值不限于所指定的精确值。在至少一些情况下，该近似语言可对应用以测量该值的仪器的精度。在这里以及说明书及权利要求书各处，范围限制可组合和/或互换，这样的范围被识别并包括包含于其中的所有子范围，除非上下文或语言另外指出。应用于一范围的特定值的“约”适用于两个值，且除非另外依赖于测量该值的仪器的精度，否则可表示所述值的+/-10％。

随附的权利要求中的所有方式或步骤加功能元素的相应结构、材料、动作及等同意图包括结合具体请求保护的其它请求保护的元素执行该功能的任意结构、材料或动作。本发明的说明用于示例及说明目的，而非意图详尽无遗或限于所揭露形式的揭露。许多修改及变更将对于本领域的普通技术人员显而易见，而不背离本发明的范围及精神。该些实施例经选择及说明以最佳解释本发明的原理及实际应用，并使本领域的普通技术人员能够理解本发明针对各种实施例具有适合所考虑的特定应用的各种变更。