一种双出口平行透镜的制作方法

本发明涉及一种集成电路制造装备，即离子注入机，特别地涉及一种用于离子注入机的一种双出口平行透镜。

背景技术：

随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求；随着先进工艺制程的发展，对于离子注入晶圆的角度和平行度要求更高，对于离子注入产能要求也更高。

本发明提供一种双出口平行透镜，可以在保证通过束流平行度和偏转角度的情况下，为两个靶室提供平行化的注入束流，提高离子注入机的产能。

技术实现要素：

本发明公开了一种双出口平行透镜，在离子注入机工作过程中，平行透镜的作用是通过设计好的磁极形状，进入其中的离子束偏转不同的角度，从而保证离子束出射时角度一致。

一般的平行透镜只有一个入口与出口，其对应于一个靶台工作。本发明公开的一种双出口平行透镜，其磁极结构为左右对称设计，有一个入口和两个出口。通过改变电流方向，可以使离子束从中同的出口出射，从而同时服务于两个靶台工位，提高离子注入机的产能。

本发明通过以下技术方案实现：

1.一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)。平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线，当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度进入平行透镜，通过在磁场中路径长度不同，会以同一角度出射，达到离子束平行化的目的。磁极面两个出口，通过改变平行透镜电流方向，可以改变离子束的出口方向，从而实现两个方向离子束平行化。

2.如权利要求1所述的一种双出口平行透镜，其特征在于采用对称结构的磁极形状，磁极有一个入口边和两个出口边，通过改变平行透镜的电流，即可改变磁场的方向，从而使离子束分别从两个出口出射，达到不同的靶室区注入。

3.如权利要求1所述的一种双出口平行透镜，其特征在于入口边线形状为半径为r的圆弧。

4.如权利要求1所述的一种双出口平行透镜，其特征在于两个出口边线为曲线，曲线曲率经过特殊设计，可保证离子束经平行透镜后，以同一角度出射。

本发明具有如下显著优点：

1.体积小，重量轻。

2.具有两个出口，可同时对应2个靶台，产能是单出口平行透镜两倍。

附图说明

图1双出口平行透镜总装图

图2双出口平行透镜部件名称图

图3双出口平行透镜磁极示意图

图4双出口平行透镜加正向电流时数值仿真结果

图5双出口平行透镜加反向电流时数值仿真结果

具体实施方式

下面结合附图1、附图2、附图3、附图4、附图5对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

参见图1、图2、图3、图4、图5，一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)，平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线。当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度进入平行透镜，通过在磁场中路径长度不同，会以同一角度出射，达到离子束平行化的目的。磁极面两个出口，通过改变平行透镜电流方向，可以改变离子束的出口方向，从而实现两个方向离子束平行化。

在该实施方式中，采用对称结构的磁极形状，磁极有一个入口边和两个出口边，通过改变平行透镜的电流，即可改变磁场的方向，从而使离子束分别从两个出口出射，达到不同的靶室区注入。

在该实施方式中，平行透镜入口边线形状为半径为r的圆弧。

在该实施方式中，平行透镜两个出口边线为曲线，曲线曲率经过特殊设计，可保证离子束经平行透镜后，以同一角度出射。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

技术特征：

1.一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)。平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线。当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度进入平行透镜，通过在磁场中路径长度不同，会以同一角度出射，达到离子束平行化的目的。磁极面两个出口，通过改变平行透镜电流方向，可以改变离子束的出口方向，从而实现两个方向离子束平行化。

2.如权利要求1所述的一种双出口平行透镜，其特征在于采用对称结构的磁极形状，磁极有一个入口边和两个出口边，通过改变平行透镜的电流方向，即可改变磁场的方向，从而使离子束分别从两个出口出射，达到不同的靶室区注入。

3.如权利要求1所述的一种双出口平行透镜，其特征在于入口边线形状为半径为r的圆弧。

4.如权利要求1所述的一种双出口平行透镜，其特征在于两个出口边线为曲线，曲线曲率经过特殊设计，可保证离子束经平行透镜后，以同一角度出射。

技术总结
本发明公开了一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)。平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线。当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度由入口进入平行透镜，通过在磁场中路径长度不同，会以同一角度出射，达到离子束平行化的目的。磁极面两个出口，通过改变平行透镜电流方向，可以改变离子束的出口方向，从而实现两个方向离子束平行化。在离子注入机上，平行透镜的作用是通过磁场产生的磁场力，使带电离子在磁场中偏转不同的角度，从而使不同角度的离子束平行化，以同一角度注入晶圆。一般的平行透镜只有一个偏转方向，只能够对应一个靶室。本发明公开的平行透镜可以通过改变电流的方向，使离子束偏转进入不同的靶室，从而提高离子注入的产能。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

技术研发人员：张喻召;李晨冉;李士会
受保护的技术使用者：北京中科信电子装备有限公司
技术研发日：2018.12.03
技术公布日：2020.06.09