一种多功能石英花篮的制作方法

文档序号:15657592发布日期:2018-10-13 00:06阅读:1025来源:国知局

本实用新型涉及石英技术领域,特别涉及一种多功能石英花篮。



背景技术:

石英是地球表面分布最广的矿物之一,石英是硅石矿的主要矿物组分,含硅46.70%。有三方晶系的低温石英(α-石英)和六方晶系的高温石英(β-石英)之分。一般所称石英均指低温石英。三方晶系,晶体呈六方柱状,双晶很普遍。通常呈晶簇状、料状、块状集合体。呈多种颜色,无色透明者称为水晶,乳白色者称为乳石英,紫色者称为紫水晶,浅玫瑰色者称为蔷薇石英,烟色者称为烟水晶,褐色者称为茶晶等。玻璃光泽。硬度7,密度2.65g/cm3。不溶于除氢氟酸以外的任何酸。地壳中分布最广的矿物之一,为多种岩石和矿床的矿物组分。用于制造硅胶、水玻璃及各种硅化物和硅酸盐,用作塑料、橡胶的填料。还广泛用于玻璃、陶瓷、石油、冶金、铸造、建材等部门。

石英清洗花篮在半导体芯片制作时用来清洗原始晶圆芯片的载具,传统的石英花篮需要各种尺寸芯片对应需要一种清洗花篮,需要大量的清洗花篮来对应,浪费了材料,提高了半导体芯片的清洗成本。



技术实现要素:

针对上述石英清洗花篮在半导体芯片制作时用来清洗原始晶圆芯片的载具,传统的石英花篮需要各种尺寸芯片对应需要一种清洗花篮,需要大量的清洗花篮来对应,浪费了材料,提高了半导体芯片的清洗成本的问题,本实用新型要解决的技术问题是提供一种多功能石英花篮。

为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:

一种多功能石英花篮,包括篮筐、把手、支撑脚和开槽板,所述篮筐内设置有连接板,所述开槽板穿在连接板上,所述连接板内设置有移动杆,所述开槽板与移动杆连接,所述连接板上设置有固定板,所述固定板上设置有把手,所述篮筐的下方设置有支撑脚。

上述方案的优选方案为:所述移动杆上设置有拨动凸块,所述把手内设置有拨动杆,通过拨动杆驱动拨动凸块使移动杆来回移动,从而带动开槽板轻微的转动,开槽上的半导体芯片能够在清洗槽中转动,使半导体芯片被清洗的更彻底,减少半导体芯片表面异物的残留。

上述方案的优选方案为:所述开槽板上设置有夹紧装置,防止在清洗过程中半导体芯片从开槽板中掉落,增加清洗花篮的安全性。

上述方案的优选方案为:所述开槽板可拆卸式的设置在连接板上,可以根据不同的半导体芯片更换相应的开槽板,增加石英花篮的功能。

有益效果:本实用新型的一种多功能石英花篮在工作过程中,把半导体芯片放在开槽板上,然后把石英花篮放入到清洗槽中,一手捂住把手,一手操作拨动杆,通过拨动杆驱动拨动凸块使移动杆来回移动,从而带动开槽板轻微的转动,开槽上的半导体芯片能够在清洗槽中转动,使半导体芯片被清洗的更彻底,减少半导体芯片表面异物的残留。所述开槽板上设置有夹紧装置,防止在清洗过程中半导体芯片从开槽板中掉落,增加清洗花篮的安全性。所述开槽板可拆卸式的设置在连接板上,可以根据不同的半导体芯片更换相应的开槽板,增加石英花篮的功能。本实用新型所提供的一种多功能石英花篮,可同时放不同尺寸的半导体芯片,使半导体芯片清洗的更干净,节省了材料,降低了半导体芯片的清洗成本。

附图说明

图1为本实用新型一种多功能石英花篮的俯视图;

图2为本实用新型中把手位置的结构示意图;

图3为本实用新一种多功能石英花篮的整体结构示意图。

图中:1-篮筐,2-开槽板,3-夹紧装置,4-拨动凸块,5-把手,6-连接板,7-移动杆,8-固定板,9-拨动杆,10-支撑脚。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1、2、3所示,本实用新型提供了一种多功能石英花篮,包括篮筐1、把手5、支撑脚10和开槽板2,篮筐1内设置有连接板6,开槽板2穿在连接板6上,连接板6内设置有移动杆7,开槽板2与移动杆7连接,连接板6上设置有固定板8,固定板8上设置有把手5,篮筐1的下方设置有支撑脚10。

其中,移动杆7上设置有拨动凸块4,把手5内设置有拨动杆9,通过拨动杆9驱动拨动凸块4使移动杆来回移动,从而带动开槽板轻微的转动,开槽上的半导体芯片能够在清洗槽中转动,使半导体芯片被清洗的更彻底,减少半导体芯片表面异物的残留。

其中,开槽板2上设置有夹紧装置3,防止在清洗过程中半导体芯片从开槽板中掉落,增加清洗花篮的安全性。

其中,开槽板2可拆卸式的设置在连接板6上,可以根据不同的半导体芯片更换相应的开槽板,增加石英花篮的功能。

由上所述,本实用新型达到了如下技术效果:可同时放不同尺寸的半导体芯片,使半导体芯片清洗的更干净,节省了材料,降低了半导体芯片的清洗成本。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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