一种硅片测试定位装置的制作方法

本实用新型属于电子元器件技术领域，具体涉及一种硅片测试定位装置。

背景技术：

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，利用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展，硅片的应用非常广泛，涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。硅片的制作工艺复杂，对其质量要求较高，其中，硅片的电阻率是判断硅片导电性能优劣的一个重要指标，为保证硅晶片的电阻率能够满足技术指标，一般通过硅片电阻率测试仪对其进行检测，但现有电阻率测试仪不能对不同尺寸的硅片进行准确定位，导致电阻率测试精度较低，使用不便。

技术实现要素：

本实用新型的发明目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种硅片测试定位装置，能够对不同尺寸的硅片进行精确定位，从而提高硅片的电阻率测试精度。

本实用新型涉及的硅片测试定位装置，其主体结构包括基座、样品托盘和探头固定架；所述的基座上方固定设置有样品托盘；基座上位于样品托盘的一侧固定设置有探头固定架；探头固定架通过螺栓与横梁支撑一端连接；横梁支撑另一端与套筒固定连接；套筒内设有空腔；空腔内部设有中空结构的升降柱；升降柱的外直径与空腔的直径相同，升降柱与套筒上下滑动连接，升降柱底端固定设置有探头；探头位于样品托盘中心点正上方；样品托盘上设置有一级螺纹孔和二级螺纹孔；一级螺纹孔和二级螺纹孔分别位于两个不同直径大小、且圆心与样品托盘中心相同的圆周上；一级螺纹孔和二级螺纹孔内与定位销螺纹连接。

进一步的，所述的一级螺纹孔设置为三个，均匀分布在半圆周上；使用时，将三个定位销分别螺纹连接在三个一级螺纹孔中，三个一级螺纹孔均匀分布在半圆周上有利于硅片的定位，以防止硅片左右滑动，提高硅片电阻率的测试精度。

进一步的，所述的二级螺纹孔设置为三个，均匀分布在半圆周上；使用时，将三个定位销分别螺纹连接在三个二级螺纹孔中，三个二级螺纹孔均匀分布在半圆周上有利于硅片的定位，以防止硅片左右滑动，提高硅片电阻率的测试精度。

进一步的，所述的定位销上螺纹连接有橡胶压片，用于进一步固定硅片，防止硅片移动，橡胶材料能够防止对硅片表面造成挤压或损伤，螺纹连接能够防止橡胶压片在定位销上任意滑动，以更好地固定硅片。

进一步的，所述的探头通过导线与外部工控机电连接，所述导线从升降柱的中空结构穿过，工控机用于测试硅片的电阻率。

进一步的，所述的升降柱上设置有滚动齿；所述的套筒与横梁支撑连接处设置有开口，所述套筒与开口同侧的位置设置有用于滚动齿上下滑动的滑槽；横梁支撑靠近套筒的一端设置有工字型调节手柄，调节手柄的中央设置有与滚动齿匹配使用的齿轮；使用时通过开口使得滚动齿与齿轮相互啮合，通过旋转调节手柄，实现升降柱在套筒内的上下滑动。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：多级螺纹孔与定位销的螺纹连接，实现了对不同尺寸硅片的精确定位，提高了硅片电阻率的测试精度，通过螺纹连接能够防止定位销在螺纹孔中晃动；橡胶压片与定位销螺纹连接，不仅能够固定硅片，而且能够防止对硅片表面造成损伤；其整体结构设计合理，结构简单，易于操作，应用范围广。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构原理示意图；

图2为本实用新型的套筒结构放大图；

图3为本实用新型的升降柱结构放大图；

图4为本实用新型的调节手柄结构放大图；

图5为本实用新型的A部放大图；

其中，1基座、2样品托盘、3探头固定架、4螺栓、5横梁支撑、6套筒、7空腔、8升降柱、9探头、10一级螺纹孔、11二级螺纹孔、12定位销、13橡胶压片、14导线、15滚动齿、16开口、17滑槽、18手柄、19齿轮。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

下面通过具体实施例并结合附图对本实用新型作进一步说明。

实施例：

本实施例所述的硅片测试定位装置，其主体结构包括基座1、样品托盘2和探头固定架3；所述的基座1上方固定设置有样品托盘2；基座1上位于样品托盘2的一侧固定设置有探头固定架3；探头固定架3通过螺栓4与横梁支撑5一端连接；横梁支撑5另一端与套筒6固定连接；套筒6内设有空腔7；空腔7内部设有中空结构的升降柱8；升降柱8的外直径与空腔7的直径相同，升降柱8与套筒6上下滑动连接，升降柱8底端固定设置有探头9；探头9位于样品托盘2中心点正上方；样品托盘2上设置有一级螺纹孔10和二级螺纹孔11；一级螺纹孔10和二级螺纹孔11分别位于两个不同直径大小、且圆心与样品托盘2中心相同的圆周上；一级螺纹孔10和二级螺纹孔11内与定位销12螺纹连接。

本实施例所述的一级螺纹孔10设置为三个，均匀分布在半圆周上；使用时，将三个定位销12分别螺纹连接在三个一级螺纹孔10中，三个一级螺纹孔10均匀分布在半圆周上有利于硅片的定位，以防止硅片左右滑动，提高硅片电阻率的测试精度。

本实施例所述的二级螺纹孔11设置为三个，均匀分布在半圆周上；使用时，将三个定位销12分别螺纹连接在三个二级螺纹孔11中，三个二级螺纹孔11均匀分布在半圆周上有利于硅片的定位，以防止硅片左右滑动，提高硅片电阻率的测试精度。

本实施例所述的定位销12上螺纹连接有橡胶压片13，用于进一步固定硅片，防止硅片移动，橡胶材料能够防止对硅片表面造成挤压或损伤，螺纹连接能够防止橡胶压片13在定位销12上任意滑动，以更好地固定硅片。

本实施例所述的探头9通过导线14与外部工控机电连接，所述导线14从升降柱7的中空结构穿过，工控机用于测试硅片的电阻率。

本实施例所述的升降柱8上设置有滚动齿15；所述的套筒6与横梁支撑5连接处设置有开口16，所述套筒6与开口16同侧的位置设置有用于滚动齿15上下滑动的滑槽17；横梁支撑5靠近套筒6的一端设置有工字型调节手柄18，调节手柄18的中央设置有与滚动齿15匹配使用的齿轮19；使用时通过开口15使得滚动齿15与齿轮19相互啮合，通过旋转调节手柄18，实现升降柱8在套筒6内的上下滑动。

本实施例在使用时，根据硅片尺寸的大小，将一级螺纹孔10或二级螺纹孔11内插入定位销12，例如，当对尺寸为三英寸的硅片进行电阻率测试时，将三个定位销12分别与三个一级螺纹孔10螺纹连接，然后将硅片放置在三个定位销12之间的样品托盘2上，使硅片的边缘均与三个定位销12接触，对硅片进行定位，通过旋转橡胶压片13，使橡胶压片13下降至接触硅片上表面，对硅片进行固定，此时，硅片的中心点恰好与探头9处于同一竖直线上，然后通过旋转调节手柄7，使升降柱8下降直至探头9接触硅片，通过探头9和工控机测试硅片的电阻率；当对尺寸为四英寸的硅片进行电阻率测试时，将三个定位销12分别与三个二级螺纹孔11螺纹连接，其他操作步骤与上述步骤相同；本实施例所述的硅片测试定位装置能够设置多级螺纹孔，不仅限于对三英寸和四英寸的硅片进行测试，还能够适用于其他尺寸的硅片，应用广泛。

上述具体实施方式仅是本实用新型的具体个案，本实用新型的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样，任何符合本实用新型权利要求书且任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本实用新型的专利保护范围。