一种缺陷标记装置的制作方法

本实用新型涉及观察技术领域，特别是指一种缺陷标记装置。

背景技术：

柔性太阳能电池芯片中膜层缺陷常常使用聚焦离子束FIB、扫描电子显微镜SEM或能谱仪EDS进行失效分析。而在失效分析之前会使用带有标记功能的金相显微镜进行缺陷标记，或者在光学显微镜下手动进行缺陷标记。

然而，有些芯片缺陷属于微米级，手动标记不便操作，且容易污染或损坏缺陷点；同时，带有标记功能的金相显微镜的物镜边缘涂标记材料，通过下降物镜镜头压在样品上实现缺陷标记，因为物镜镜头尺寸固定不变，所以标记区域面积固定，无法对微小膜层缺陷进行精准定位。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种缺陷标记装置，以实现对于芯片缺陷进行更精准标记。

基于上述目的本实用新型提供的一种缺陷标记装置，包括：底座，标记探针以及位置调整机构；

所述底座具有一承载面，所述承载面上放置待标记光伏电池芯片；

所述标记探针通过所述位置调整机构与所述底座相连接，所述位置调整机构能够带动所述标记探针相对于所述承载面移动以使所述标记探针对准所述待标记光伏电池芯片的缺陷位置。

在其他的一些实施方式中，所述位置调整机构包括第一支架和X轴运动结构，所述标记探针与所述第一支架相连接，所述第一支架通过所述X轴运动结构与所述底座相连接，所述X轴运动结构用于使所述第一支架沿X轴方向运动以调节所述标记探针在X轴方向上的位置。

在其他的一些实施方式中，所述位置调整机构还包括第二支架和Y轴运动结构，所述第二支架通过所述Y轴运动结构与所述第一支架相连接，所述标记探针设置于所述第二支架上，所述Y轴运动结构用于使所述第二支架沿Y轴方向运动以调节所述标记探针在Y轴方向上的位置。

在其他的一些实施方式中，所述第一支架上设置有Z轴运动结构，所述Z轴运动结构用于使所述第一支架沿Z轴方向运动以调节所述标记探针在Z轴方向上的位置。

在其他的一些实施方式中，所述X轴运动结构包括：所述底座上设置的沿所述X轴方向延伸的第一凹槽，所述第一凹槽内设置的与所述第一凹槽相配合的移动块；所述移动块与所述第一支架相连接。

在其他的一些实施方式中，所述Z轴运动结构包括：所述移动块上设置的沿所述Z轴方向延伸的第二凹槽，所述第一支架通过连接块滑动设置在所述第二凹槽内；所述第二凹槽用于使所述第一支架沿所述Z轴方向运动。

在其他的一些实施方式中，所述X轴运动结构包括：所述底座上设置的沿所述X轴方向延伸的凸条，所述第一支架上设置的与所述凸条相配合的凹槽块。

在其他的一些实施方式中，所述Z轴运动结构包括：沿所述Z轴方向延伸设置且与所述第二支架相连接的伸缩杆。

在其他的一些实施方式中，所述Y轴运动结构包括：转动连接于所述第一支架的旋钮，与所述旋钮相连的齿轮，以及沿所述第二支架设置的且与所述齿轮啮合的齿条。

在其他的一些实施方式中，所述底座上设置有样品台，所述样品台用于放置所述待标记光伏电池芯片，所述样品台上设置有用于记录所述标记探针位移的刻度。

从上面所述可以看出，本实用新型提供的一种缺陷标记装置，通过设置位置调整机构驱动与标记探针相连的支架，进而调节标记探针的位置，使得标记探针能够标记不同位置的缺陷。本实用新型提供的一种缺陷标记装置，不仅能够通过调节探针的位置实现更精确缺陷位置标记，标记范围可以控制在1mm以内；而且可以拓展常规显微镜的使用范围，使得不具备缺陷标记功能的显微镜也能够在该装置的辅助下进行缺陷标记。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的结构示意图；

图2为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的第二支架结构示意图；

图3为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的探针结构示意图；

图4为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的第一支架结构示意图；

图5为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的第一支架与移动块连接的示意图；

图6为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的齿轮结构示意图；

图7为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的剖面示意图；

图8为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的底座结构示意图；

图9为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的样品台结构示意图；

图10为本实用新型一种缺陷标记装置实施例的连接组件结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。

需要说明的是，本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本实用新型实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。

在本实用新型的一个实施例中，一种缺陷标记装置，参考图1，包括：底座1，标记探针2以及位置调整机构；

底座1具有一承载面，承载面上放置待标记光伏电池芯片；

标记探针2通过所述位置调整机构与底座1相连接，所述位置调整机构能够带动标记探针2相对于所述承载面移动以使标记探针2对准所述待标记光伏电池芯片的缺陷位置。

其中，在本实施例中，缺陷标记装置可操作标记探针2实现多个自由度的移动，从而能够更加精准的控制标记探针2标记缺陷位置，具体地，在本实用新型的一个较佳地实施例中，所述位置调整机构包括万向转动机构、支撑杆；所述万向转动机构与所述支撑杆相连接，所述支撑杆与标记探针2相连接；所述万向转动机构用于实现对所述支撑杆实现多个自由度的驱动，进而使得标记探针2在多个自由度上移动。

在本实施例中，参考图1，设定图中底座1上的凹槽延伸方向为X方向，当然，在其他的一些实施例中，也可重新设定X方向，而并不因所视图角度而限于上述。

参考图1，在本实施例中，所述位置调整机构包括第一支架3和X轴运动结构，标记探针2与第一支架3相连接，第一支架3通过所述X轴运动结构与底座1相连接，所述X轴运动结构用于使第一支架3沿X轴方向运动以调节标记探针2在X轴方向上的位置。

参考图1，在本实施例中，所述位置调整机构还包括第二支架4和Y轴运动结构，第二支架4通过Y轴运动结构与第一支架3相连接，标记探针2设置于第二支架4上，所述Y轴运动结构用于使第二支架4沿Y轴方向运动以调节标记探针2在Y轴方向上的位置。

参考图1，在本实施例中，第一支架3上设置有Z轴运动结构，所述Z轴运动结构用于使第一支架3沿Z轴方向运动以调节标记探针2在Z轴方向上的位置。

参考图1，在本实施例中，底座1的两端对称均设置有第一支架3和第二支架4，因而用于缺陷标记的标记探针2设置有两个。在本实用新型的一些其他的实施例中，第一支架3、第二支架4和标记探针2设定方式并不必然图中显示为对称设置，还可不对称设置，所述设定方式依具体缺陷标记的设置而定；第一支架3与对应的第二支架4和标记探针2设定个数并不仅仅限制为设置为如图中所设置的两组标记结构，亦可设置为一个或者三个等，所述设定个数依据不同缺陷标记装置所需要标记缺陷的多少或者前述设置方式而定。

参考图1，第一支架3平行于底座1的侧面设置，第二支架4平行于底座1的上表面设置，第一支架3与第二支架4垂直连接设置，在本实用新型其他的一些实施例中，第一支架3、第二支架4相对于底座1的设置方向也可不设置为上述，只要能够调节标记探针2在X轴方向、Y方向以及Z方向的位置即可。较佳地，参考图3，前述所述的标记探针2，在本实施例中，标记探针2与第二支架4呈一定角度倾斜连接。第二支架4平行于底座1，标记探针2与第二支架4倾斜的设置方式能够更好地使得标记探针2与待标记缺陷接触而进行标记。

具体地，调节标记探针2在X轴方向、Z方向以及Y方向的位置的具体方式包括：

参考图1和图4，在本实施例中，在调节标记探针2在X轴方向上的位置的过程中，其中，所述X轴运动结构包括：底座1上设置的沿所述X轴方向延伸的第一凹槽5，第一凹槽5内设置的与第一凹槽5相配合的移动块6；移动块6与第一支架3相连接。操作人员操作移动块6，移动块6沿第一凹槽5运动，移动块6驱动与其连接的第二支架4沿X轴方向，第二支架4驱动与其相连接的第一支架3运动，进而调节标记探针2在X轴方向上的位置。

具体地，参考图1和图5，在本实施例中，第一凹槽5的截面形状为梯形，使得不需要额外其他固定件即可防止移动块6从第一凹槽5内掉落出来。移动块6与第一凹槽5相配合其截面也设置为梯形。在本实用新型的一些其他的实施例中，第一凹槽5的截面形状也可为长方形等形状，移动块6的截面形状仍与第一凹槽相配合以实现移动块6能够沿第一凹槽5运动。

在本实施例的一些其他的实施方式中，所述X轴运动结构还可包括：底座1上设置的沿所述X轴方向延伸的凸条，第一支架3上设置的与所述凸条相配合的凹槽块。而在其他的一些实施例中，用于调节标记探针2在X轴方向上的位置的X轴运动结构并不必然限制为第一凹槽5和移动块6，还可设置为滑轨和滑块等可驱动第一支架3沿X轴方向运动的结构。

在本实施例中，参考图5，在调节标记探针2在Z方向上的位置的过程中，其中，所述Z轴运动结构包括：移动块6上设置的沿所述Z轴方向延伸的第二凹槽7，第一支架3通过连接块8滑动设置在第二凹槽7内；第二凹槽7用于使第一支架3沿所述Z轴方向运动。操作人员操作连接块8沿第二凹槽7运动，驱动移动块6运动，移动块6带动与其连接的第一支架3沿Z轴方向，第一支架3驱动与其相连接的第二支架4运动，进而调节调节标记探针2在Z方向上的位置。

在本实施例的一些其他的实施方式中，所述Z轴运动结构还可包括：沿所述Z轴方向延伸设置且与第一支架3相连接的伸缩杆。

当然，在其他的一些实施例中，用于调节标记探针2在Z方向上的位置的设置方式并不限于上述，还可为其他能够使得第二支架2在Z方向上运动的结构。显而易见地是，第一凹槽5还可设置为Z轴方向，此时，第二凹槽7的设置方向设置为X轴方向。第一凹槽5和第二凹槽7的长度依据不同缺陷标记装置所需调节的缺陷长度范围而定。

在本实施例中，参考图1和图6，在调节标记探针2在Y方向上的位置的过程中，其中，所述Y轴运动结构包括：转动连接于第一支架3的旋钮9，与旋钮9相连的齿轮，以及沿第二支架4设置的且与所述齿轮啮合的齿条。转动旋钮9，所述齿轮运动以驱动所述齿条使得第二支架4在Y方向上运动，进而使得设置在第二支架4上的标记探针2在Y方向上的位置发生改变。参考图1可知，在本实施例中，标记探针2设置在第二支架4的一端，在其他的一些实施例中，标记探针2还可设置在第二支架4的中间位置等其他位置，该位置仍能调节标记探针2在Y方向上的位置。

在其他的一些实施例中，也可通过其他方式来使得第二支架4进行Y方向的运动，例如，在第二支架4内设置伸缩套管，通过伸缩套管长度的改变而使得第二支架4进行Y方向的运动。

需要注意地是，前述调节标记探针2在X轴方向、Z方向以及Y方向的位置的具体操作可同时进行，也可分步进行，也可两者结合进行，进而调节标记探针2所需要标记缺陷的精确位置。

在本实用新型的一些较佳地实施例中，底座1上设置有样品台10，样品台10用于放置所述待标记光伏电池芯片。其中，底座1与样品台10螺纹连接。

具体地，参考图7、图8、图9以及图10，底座1的形状为正方体，样品台10的形状为圆柱体；底座1上方设置用于承载样品台10的四根支撑柱，所述四根支撑柱在底座1中心形成一个比样品台10截面半径略大的圆形。底座1的内壁设置有螺纹，样品台10的内部也设置有螺纹，通过一个带螺纹的连接组件11与底座1和样品台10内的螺纹相配合以改变样品台10与底座1之间的距离，即改变样品台10相对于底座1的高度。在其他的一些实施例中，也可通过其他方式来调节样品10相对于底座1的高度，例如，直接在样品台与底座1相配合的一端设置与底座1内螺纹相配合的螺杆。

在本实施例中，样品台10上设置有用于记录标记探针2位移的刻度。所述刻度能够使得标记缺陷的过程中，调整探针位置更加精准，以及便于对所述标记装置的调整数据进行记录而后续操作过程中使用。其中，所述刻度包括：分别记录X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向探针位移的刻度。当然，在本实用新型的一些其他的实施例中，刻度的设置位置并不限于样品台10，还可为其他可供显示调节的位置，例如也可直接设置在底座1上。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。