压粉磁芯的制造方法以及压粉磁芯与流程

本发明涉及一种使用软磁性材料粉构成的压粉磁芯以及压粉磁芯的制造方法。
背景技术：
：以往以来，在家电设备、工业设备、车辆等各种各样的用途中，使用着感应器、变换器、扼流圈等线圈部件。线圈部件由磁芯(磁心：magneticcore)和在该磁芯的周围卷绕的线圈构成。作为该磁芯，广泛利用着磁性特性、形状自由度、价格优异的铁氧体(ferrite)。近年来，随着电子设备等的电源装置向小型化的推进，对小型、低高度且大电流下也能够使用的线圈部件的要求越来越强烈，相比于铁氧体，更趋向采用使用了饱和磁通密度更高的金属系磁性粉末的压粉磁芯作为该磁芯。作为金属系磁性粉末，例如，可使用fe-si系、fe-ni系、fe-si-al系等。另外，对fe-si系等金属系的磁性合金粉末实施压密化而得到的压粉磁芯，虽然其饱和磁通密度高，但由于是金属系磁性粉末，因此电阻率低。为此，采用在磁性粉末表面形成绝缘性被覆之后实施成型等提高磁性粉末间的绝缘性的方法。另外，专利文献1公开了作为磁性粉末使用了fe-cr-al系的磁性粉末的例子，该磁性粉末能够自我生成成为绝缘性被覆的高电阻物质。专利文献1中，通过对磁性粉末进行氧化处理，在磁性粉末的表面生成高电阻的氧化薄膜，并对该磁性粉末实施放电等离子烧结而使其固化成型，由此获得压粉磁芯。另外，专利文献2公开了下述构成，在含有铁、铬以及硅的软磁性合金粒子的表面生成将该粒子氧化而形成的氧化层，该氧化层含有的铬比该合金粒子多，粒子之间通过该氧化层而结合。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-220438号公报；专利文献2：日本特开2011-249836号公报。技术实现要素：作为线圈部件，当采用在加压成型而得到的小型的压粉磁芯上卷装线圈的结构时，压粉磁芯的强度不足而在卷线时压粉磁芯容易破损。为了提高压粉磁芯的强度则需要大的成型压力，但是存在着用于产生高压的装置大型化、由于采用高压而导致成型用的模具容易破损等的制造设备上的问题。因此，实际所获得的压粉磁芯的强度受到限制。另外，在如上所述的合金粉末表面形成绝缘性被覆之后实施成型时，虽然得到的成型体的形状自由度比较高，但是存在为了提高成型体强度而提高成型压力时磁性粉末间的绝缘性被覆损坏、绝缘性下降的问题。另一方面，专利文献1所述的构成虽不需要如上所述的高压，但是，其是需要复杂的设备和较多时间的制法。此外，在磁性粉末的氧化处理后需要用于粉碎凝聚的粉末的工序，从而工序变得繁琐。另外，专利文献1中示出的方法在提高绝缘性和强度方面有利，但是难以制造例如筒状这种复杂的形状的磁芯。专利文献2中公开的构成通过在氧化性环境中进行热处理而形成绝缘层，虽然绝缘层的形成变得容易，但是并没有提供适合于复杂的形状的磁芯的制造方法。由此，鉴于上述问题点，本发明的目的在于，提供一种在采用简单的加压成型进行的压粉磁芯的制造方法中，能确保高的强度和绝缘性，并且能应对复杂的形状的压粉磁芯的制造方法。另外，本发明的目的在于，提供在作为复杂的形状的典型的筒状的压粉磁芯中，具备高强度和高绝缘性的压粉磁芯。本发明的压粉磁芯的制造方法，是使用金属系的软磁性材料粉的压粉磁芯的制造方法，其特征在于，包括：第一工序，混合软磁性材料粉和粘合剂；第二工序，对经过所述第一工序获得的混合物实施加压成型；第三工序，对经过所述第二工序获得的成型体实施磨削加工和切削加工中的至少一种；以及，第四工序，对经过了所述第三工序的成型体进行热处理，在所述第四工序中，通过对所述成型体进行热处理，从而在所述软磁性材料粉的表面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层。另外，在所述压粉磁芯的制造方法中，所述第一工序优选包括将含有所述软磁性材料粉和粘合剂的浆料进行喷雾干燥的工序。另外，所述软磁性材料粉优选是fe-cr-al系的软磁性材料粉。另外，在所述压粉磁芯的制造方法中，优选在所述第二工序和所述第三工序之间包括预加热工序，在该预加热工序中，将所述成型体加热至低于所述第四工序中的热处理温度的温度。另外，在所述压粉磁芯的制造方法，用于所述第三工序中的所述成型体的占积率优选为78～90％。另外，在所述第三工序中，对经过所述第二工序获得的成型体实施的加工优选为切削加工。另外，在所述压粉磁芯的制造方法中，优选至少对压粉磁芯的导线卷绕部实施所述磨削加工和切削加工中的至少一种。进一步地，在所述压粉磁芯的制造方法中，所述压粉磁芯的形状优选为在所述导线卷绕部的两端侧具有凸缘部的筒状。本发明的压粉磁芯是使用金属系的软磁性材料粉而构成的压粉磁芯，其特征在于，压粉磁芯具有导线卷绕部，形成为在所述导线卷绕部的两端侧具有凸缘部的筒状，所述导线卷绕部表面的算术平均粗糙度比所述凸缘部的外侧的面的算术平均粗糙度大，所述金属系的软磁性材料粉通过含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层而结合，所述导线卷绕部表面是加工面并且具有含有所述软磁性材料粉所含元素的氧化物层。另外，在所述压粉磁芯中，在所述筒状中，优选的是，两端侧的凸缘部的至少一者的最大尺寸比轴向的尺寸大。另外，在所述压粉磁芯中，所述软磁性材料粉优选是fe-cr-al系的软磁性材料粉。根据本发明，能够提供在使用了简单的加压成型的压粉磁芯的制造方法中，能确保高强度和高绝缘性，并且能应对复杂的形状的制造方法。另外，根据本发明，能够提供在作为复杂的形状的典型的筒状的压粉磁芯中，具备高强度和高绝缘性的压粉磁芯。附图说明图1是用于说明本发明的压粉磁芯的制造方法的实施方式的工序流程图。图2是用于说明本发明的压粉磁芯的制造方法的另一个实施方式的工序流程图。图3是压粉磁芯的剖面的sem照片。图4是压粉磁芯的剖面的sem照片。图5是压粉磁芯的剖面的sem照片。图6是压粉磁芯的剖面的sem照片。图7是表示加工前的成型体和加工后的成型体(压粉磁芯)的形状的立体图。图8是表示用于测定压粉磁芯的电阻的电极配置的立体图。图9是用于说明本发明的压粉磁芯的制造方法的另一个实施方案的工序流程图。图10是表示预加热处理温度和压粉磁芯的强度的关系的图。其中，附图标记的说明如下：1～4：软磁性材料粉(软磁性材料粒子)；5：成型体；6:(磨削加工后的)成型体；7：导线卷绕部；8：凸缘部；9：电极；10：电极。具体实施方式下面，具体说明本发明的压粉磁芯以及压粉磁芯的制造方法的实施方式。但是，本发明并非限定于此。图1是用于说明本发明的压粉磁芯的制造方法的实施方式的工序流程图。图1所示的制造方法是使用金属系的软磁性材料粉的压粉磁芯的制造方法，包括：第一工序，混合软磁性材料粉和粘合剂后进行喷雾干燥；第二工序，对经过所述第一工序获得的混合物进行加压成型；第三工序，对经过所述第二工序获得的成型体实施磨削加工和切削加工中的至少一种(以下，也称为“磨削加工等”)；以及，第四工序，对经过了所述第三工序的成型体进行热处理。在第四工序中，通过对所述成型体进行热处理，从而在软磁性材料粉的表面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层。通过在第四工序的热处理中形成该氧化物层，从而实现软磁性材料粉之间的结合和绝缘，得到具备高强度、高绝缘性的压粉磁芯。仅通过对成型体进行热处理，就能够在软磁性材料粉表面形成具有绝缘性的氧化物层，因此，绝缘性被覆的形成工序也变得简单。而且，在对压粉磁芯赋予高强度的第四工序的前，经过实施用于得到规定的形状、尺寸等的磨削加工等的第三工序这一点，是本发明的特征之一。通过由第四工序的热处理而形成的氧化物层提供高强度的压粉磁芯，但是，反而因高强度导致热处理后的加工变得困难。然而，如果在热处理后进行加工，则该部分露出软磁性材料粉的金属部分，因此，在此状态下不能确保绝缘性。由此，采用在第四工序前完成用于得到规定的形状的磨削加工等、然后进行热处理、形成氧化物层的流程。刚经过第二工序后的成型体的压环强度例如为5～15mpa左右，是经过第四工序的热处理的磁芯的压环强度的1/10以下左右。因此，成型体在刚经过第二工序后的状态下，容易进行磨削加工等。而且，即使进行磨削加工等而露出金属部分，该部分通过经过第四工序的热处理而被氧化物层包覆。因此，通过采用上述流程，一并解决加工性的问题、绝缘性的问题。首先，对用于第一工序的软磁性材料粉进行说明。金属系的软磁性材料粉只要是具有能够构成压粉磁芯的磁性特性，并且能在软磁性材料粉的表面形成含有软磁性材料粉所含元素的氧化物层的软磁性材料粉即可，对此没有特别的限定，能够使用各种强磁性原金属、强磁性合金。例如，金属系的软磁性材料粉的优选方案是fe-cr-m系(m是al和si中的至少一种)。由于fe-cr-m系的合金粉除了基底元素fe以外还含有cr，因此，例如与fe-si系的合金粉相比，耐腐蚀性更优异。进一步地，由于al和si是改善导磁率等磁性特性的元素，因此，除上述cr以外还含有al或si中的至少一种的fe-cr-m系(m是al和si中的至少一种)的合金粉作为软磁性材料粉优选。其中，含有al作为m的fe-cr-al系或者fe-cr-al-si系的合金粉与fe-si系、fe-si-cr系的合金粉相比，耐腐蚀性优异，而且容易发生塑性形变。即，如果使用fe-cr-al系或者fe-cr-al-si系的合金粉，则即使在低成型压力条件下也能够得到具备高占积率和高强度的压粉磁芯。因此，也能够避免成型机的大型化、复杂化。另外，由于能够在低压条件下成型，所以也能抑制模具的破损，提高生产率。进一步地，在使用fe-cr-m系的合金粉等的金属系的软磁性材料粉作为软磁性材料粉的情况下，如下文所述，通过成型后的热处理，能够在软磁性材料粉表面形成绝缘性的氧化物。因此，能够省略在成型前形成绝缘性氧化物的工序，并且绝缘性被覆的形成方法也变得简单，因此，在这一点上生产率也提高。以下，对使用fe-cr-m系的合金粉作为软磁性材料粉的具体例的情况进行说明。fe-cr-m系(m是al和si中的至少一种)的fe基软磁性材料粉是将含量最多的基底元素设为fe、cr和m(cr与m的顺序随机)的含量次于fe的软磁性合金粉。fe-cr-m系的软磁性材料粉的具体组成只要是能构成压粉磁芯的组成即可，对此没有特别的限定。cr是提高耐腐蚀性等的元素。从该观点出发，例如，cr优选为1.0质量％以上。cr更优选为2.5质量％以上。另一方面，如果cr过多，则饱和磁通密度降低，所以优选为9.0质量％以下。cr的量更优选为7.0质量％以下，进一步优选为4.5质量％以下。al与cr相同，都是提高耐腐蚀性等的元素，也有利于表面氧化物的形成。进一步地，通过如上所述地含有al，从而显著地提高压粉磁芯的强度。从该观点出发，例如，al的量优选为2.0质量％以上。al的量更优选为5.0质量％以上。另一方面，同样地，如果al的量过多，则饱和磁通密度降低，因此，al的量优选为10.0质量％以下。更优选为8.0质量％以下，进一步优选为6.0质量％以下。另外，从上述耐腐蚀性等观点出发，cr和al的总量优选为6.0质量％以上，更优选为9.0质量％以上。si具有提高磁性特性的效果，能够使si代替上述al含有在软磁性材料粉中、或者在含有al的基础上额外地含有si。从该提高磁性特性的观点出发而含有si时，si的量优选为1.0质量％以上。另一方面，如果si量过多，则压粉磁芯的强度下降，因此，si的量优选为3.0质量％以下。作为所需特性，优先考虑强度时，si优选为不可避免的杂质水平。例如，优选将si限制为小于0.5质量％。除上述cr、m以外的残余部分主要由fe构成，但是，只要能发挥fe-cr-m系的软磁性材料粉具有的成型性等优点，也可以含有其他的元素。但是，对于非磁性元素而言，由于饱和磁通密度下降等原因，因此，除不可避免的杂质以外，更优选为1.0质量％以下。对于fe-cr-m系的软磁性材料粉而言，除不可避免的杂质以外，进一步优选由fe、cr以及m构成。对软磁性材料粉的平均粒径(在此，采用累积粒度分布中的中值粒径d50)没有限定，但是，例如，可以使用具有1μm以上且100μm以下的平均粒径的软磁性材料粉。通过降低平均粒径，从而改善压粉磁芯的强度、铁损、高频特性，因此，更优选中值粒径d50为30μm以下，进一步优选为15μm以下。另一方面，平均粒径小时，导磁率降低，因此，更优选中值粒径d50为5μm以上。另外，对于软磁性材料粉的形态没有特别限定。例如，从流动性等观点出发，优选使用以雾化粉为代表的粒状粉。气体雾化、水雾化等雾化法适用于延展性高且难以粉碎的合金粉末的制造中。另外，雾化法也适合于得到近似球状的软磁性材料粉的方面。接着，对在第一工序中使用的粘合剂进行说明。粘合剂在加压成型时使粉体之间粘接，并对成型体赋予可耐受成型后的磨削加工等、操作(handling)的强度。对于粘合剂的种类并没有限定，例如，可以使用聚乙烯、聚乙烯醇(pva)、丙烯酸树脂(acrylicresin)等热塑性的各种有机粘合剂。通过成型后的热处理，有机粘合剂发生热分解。因此，可以并用在热处理后进行固化、残留而粘接粉末之间的硅树脂等无机系粘合剂。但是，本发明的压粉磁芯的制造方法中，第四工序中形成的氧化物层具有粘接软磁性材料粉之间的作用，因此，优选省略使用上述无机系粘合剂，使工序简化。粘合剂的添加量只要是在软磁性材料粉间充分扩展并可确保充分的成型体强度的量即可。另一方面，如果粘合剂的添加量过多，则密度、强度降低。例如，粘合剂的添加量相对于软磁性材料粉100重量份优选为0.25～3.0重量份。为了耐受在第三工序中进行的磨削加工等，更优选为0.5～1.5重量份。对于第一工序中的软磁性材料粉和粘合剂的混合方法，没有特别的限定。从成型性等观点出发，混合而得到的混合物优选提供于造粒工艺。在该造粒工艺中，也能够使用各种方法，但是，特别地优选第一工序包括喷雾干燥工序，作为混合软磁性材料粉和粘合剂后的造粒工艺。在该喷雾干燥工序中，使用喷雾干燥器将含有软磁性材料粉、粘合剂以及水等溶剂的浆料状的混合物进行喷雾干燥。通过喷雾干燥，得到粒径分布尖锐、平均粒径小的造粒粉。通过使用该造粒粉，从而提高下文所述的成型后的加工性。通过使用粒径变细的造粒粉，磨削加工等时，即使在造粒粉的晶界进行切削，加工面的凹凸也较小，能抑制破碎等。通过采用喷雾干燥进行造粒，在第四工序的热处理后的压粉磁芯中，能够将加工面(例如，导线卷绕部表面)的算术平均粗糙度ra的平均值rmd相对于非加工面(例如，轴向端面，即凸缘部的外侧的面)的算术平均粗糙度ra的平均值ras的比rmd/ras设为5以下。比rmd/ras更优选为3以下。通过减小加工面的凹凸，能够期待降低以该凹凸为起点的破损的风险。另外，作为算术平均粗糙度，使用超深度形状测定显微镜，以每个位置为0.3mm2以上的面积在多个位置进行评价，使用其平均值。另外，通过喷雾干燥，能够得到近似球形的造粒粉，所以成型时的给粉性(粉的流动性)也变高。造粒粉的平均粒径(中值粒径d50)优选为40～150μm，更优选为60～100μm。另一方面，作为造粒方法，喷雾干燥造粒不是必需的(图2)。例如，对于m为al的fe-cr-al系软磁性材料粉而言，由于成型性特别地优异，所以能够将强度高的成型体供给于磨削加工等。因此，能够抑制磨削加工等中发生的破碎等。采用转动造粒等喷雾干燥以外的方法作为造粒方法时，例如，在混合有粘合剂的状态下，通过其粘接作用，混合粉成为具有宽的粒度分布的凝聚粉。使用例如振动筛等将该混合粉过筛，能够获得适于成型的具有所需二次粒径的造粒粉。为了降低加压成型时的粉末与模具的摩擦，优选在造粒粉中添加硬脂酸、硬脂酸盐润滑剂。优选润滑剂的添加量相对于软磁性材料粉100重量份为0.1～2.0重量份。另一方面，也可以将润滑剂涂布或者喷吹于模具上。接着，对经过第一工序获得的混合物实施加压成型的第二工序进行说明。优选如上所述地对由第一工序获得的混合物进行造粒后，供于第二工序中。对于造粒后的混合物而言，使用成型模具加压成型为圆柱形、长方体形、环形(toroidal)等指定形状。第二工序中的成型可以是室温成型，也可以是加热至粘合剂不消失程度的温成型(warmforming)。在第二工序中，不需要一定得到近净化成型(nearnetshape)的成型体。这是因为在下文所述的第三工序中进行磨削加工等。接着，对经过所述第二工序获得的成型体实施磨削加工和切削加工中的至少一种的第三工序进行说明。该磨削加工等的机械加工是用于使成型体成为规定的形状、尺寸的加工。磨削加工能够使用旋转磨石等进行，切削加工能够使用切削工具进行。磨削加工等也包括使用带磨粒的刷的以去毛刺等为目的的加工，优选至少实施于压粉磁芯的导线卷绕部。这是因为，如果在下文所述的热处理后如导线卷绕部的加工那样地进行用于形成规定的形状等的加工，则加工工序变得繁杂。更优选将第三工序应用于如在导线卷绕部的两端侧具有凸缘部的筒状那样、具有难以进行热处理后的加工的凹部的形状的压粉磁芯中。为了防止第三工序中的加工时的破碎等、提高加工精度，有效的方法是提高供于第三工序中的成型体的占积率。另一方面，过度地提高成型体的占积率导致批量生产率变差。供于第三工序的成型体的占积率优选为78～90％，更优选为79～88％，进一步优选为81～86％。另外，通过使用成型性优异的fe-cr-al系的软磁性材料粉，即使在低成型压力条件下，也能够将供于第三工序的成型体的占积率提高至82％以上。在第二工序中，通过调节成型压力等，能够将成型体的占积率调节至所述范围内。另外，供于第三工序的成型体的占积率(相对密度)通过将成型体的密度除以软磁性材料粉的真密度而算出。在此情况下，对于成型体中含有的粘合剂、润滑剂的质量部分而言，基于其添加量，从成型体的质量中减去。另外，对于软磁性材料粉的真密度而言，使用以相同的组成溶解而制造的锭(ingot)的密度即可。上述筒状是具有以向柱状的导线卷绕部的两端露出的方式突出的凸缘部(flange部)的形状。例如，导线卷绕部为圆柱状，其两端侧的凸缘部为圆板状；导线卷绕部为圆柱状，其一端侧的凸缘部为圆板状，另一端侧为方形板状；导线卷绕部为圆柱状，其两端侧的凸缘部为方形板状；导线卷绕部为四棱柱状，其两端侧的凸缘部为方形板状等，但是并不受这些的限定。如果将本发明的构成应用于两端侧的凸缘部中的至少一者的最大尺寸大于筒状的高度即轴向的尺寸的扁平的筒状的压粉磁芯中，其效果显著。进一步地，如果应用于如凸缘部的最大尺寸为磁芯直径(导线卷绕部的直径)的二倍以上的形状那样的凹部细、深的筒状的压粉磁芯中，则更有效。这是由于这些形状无论在采用一体成型的情况下、还是采用磨削等加工的情况下都难以形成。对于最大尺寸而言，例如，凸缘部如果是圆板状，则指直径；凸缘部如果是楕圆板状，则指长径；凸缘部如果是方形板状，则指对角线方向尺寸。另外，也适用于仅在导线卷绕部的一端侧具有凸缘部的形状。作为得到筒状的方法，例如，在第二工序中，制造圆柱状或者棱柱状的成型体，通过磨削加工等，从该圆柱状等的成型体的侧面方向朝向中心轴向形成凹部。经过第二工序的阶段中的成型体处于形成对压粉磁芯赋予高强度的后述氧化物层的前阶段中，因此，容易进行磨削加工等，大幅地简化加工工序。接着，对于将经过了所述第三工序的成型体进行热处理的第四工序进行说明。为了在构成成型体的金属系的软磁性材料粉的表面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层，对经过第三工序的成型体实施热处理。例如，使用fe-cr-m系(m是al和si中的至少一种)作为金属系的软磁性材料粉时，得到以下的构成。m为si时，即没有主动地添加al时，特别地，cr在所述氧化物层浓化，在软磁性材料粉的表面形成氧化物层，相比于内部的合金相，所述氧化物层中的cr相对于fe、cr和m(si)之和的比率更高。另一方面，含有al作为m时，特别地，al在所述氧化物层浓化，在软磁性材料粉的表面形成氧化物层，相比于内部的合金相，al相对于fe、cr和m之和的比率更高。另外，通过该热处理，缓和通过成型等导入的应力应变，也能够期待得到良好的磁性特性的效果。热处理可以在大气中、氧和非活性气体的混合气体中等氧存在的环境中进行。另外，也能够在水蒸气和非活性气体的混合气体中等水蒸气存在的环境中进行热处理。其中，大气中的热处理简便而优选。另外，对于热处理环境的压力也没有特别的限定，但是，优选为不需要进行压力控制的大气压下。通过上述的热处理，软磁性材料粉被氧化，在其表面形成如上所述的氧化物层。该氧化物层构成软磁性材料粉间的晶界相，改善软磁性材料粉的绝缘性和耐腐蚀性。另外，由于该氧化物层是在构成成型体之后形成，因此，也有助于通过该氧化物层进行的软磁性材料粉之间的结合。如上所述，在第三工序中，进行磨削加工或者切削加工，因此，加工面的软磁性材料粉露出有内部的合金相。对此，通过经过第四工序的热处理，露出的合金相的部分被氧化物层覆盖，因此，确保加工面的绝缘性。第四工序的热处理能够同时进行成型时的应变除去、软磁性材料粉之间的结合以及加工面的绝缘层形成，因此能有效地制造高强度、高绝缘性的压粉磁芯。对于第四工序的热处理而言，可以在形成上述氧化物层的温度条件下进行。通过该热处理而得到强度优异的压粉磁芯。进一步地，第四工序的热处理优选在软磁性材料粉不会剧烈烧结的温度条件下进行。如果软磁性材料粉剧烈烧结，则铁损也会增加。具体地，优选为600～900℃的范围，更优选为700～800℃的范围。保持时间根据压粉磁芯的大小、处理量、特性偏差的容许范围等适宜地设定。例如，保持时间优选为0.5～3小时。另外，也可以第一～第四工序的各工序的前后补充其他的工序。例如，如制造复杂的形状的压粉磁芯、制造具有薄的部分的压粉磁芯的情况那样，在担心第三工序中压粉磁芯发生破损的情况下，优选将供于第三工序中的成型体的强度提高至高于仅进行了成型的状态。具体地，如图9所示，优选在上述的第二工序和第三工序之间包括预加热工序，该预加热工序将成型体加热至低于第四工序中热处理温度的温度。通过第四工序的热处理，在软磁性材料粉的表面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层，得到的压粉磁芯的强度显著地增加，即使加热至低于该热处理温度的温度，成型体的强度也会增加。出于加热的实效性，将预加热工序中的加热温度设定为高于室温，另一方面，如果加热的温度过高，则第三工序中的加工变得困难。由此，在进行上述预加热的情况下，在低于第四工序中的热处理温度的温度条件下进行。对于加热温度而言，例如，软磁性材料粉为fe-cr-m系(m是al和si中的至少一种)软磁性材料粉时，优选所述软磁性材料粉所含元素中的fe以外的al、cr等氧化、浓化于粒界的温度以下，更优选为300℃以下。如果加热温度为300℃以下，则能够用于fe-cr-m系的软磁性材料粉，并且能够用于其他软磁性材料粉，从这一点考虑也优选。另外，为了提高由加热而产生的强度提高效果，加热温度优选为100℃以上。加热的保持时间如果过短，则成型体强度增加的效果低，如果过长，则生产率下降，因此，例如，优选10分钟以上且4小时以下。更优选为30分钟以上且3小时以下。预加热时的环境不限于氧化性环境。出于简化工序的考虑，优选将环境设为大气中。通过经过上述预加热工序，能够使供于第三工序的成型体的强度大于15mpa。另外，也可以在第一工序之前增加预工序，该预工序通过热处理、溶胶凝胶法等使绝缘被膜形成于软磁性材料粉。但是，在本发明的压粉磁芯的制造方法中，能够通过第四工序在软磁性材料粉的表面形成氧化物层，因此，更优选省略如上所述的预工序，简化制造工序。另外，氧化物层本身难以发生塑性形变。因此，通过采用在成型后形成氧化物层的工艺，在第二工序的加压成型中，能够有效地利用特别是fe-cr-al系或者fe-cr-al-si系的合金粉具有的高成型性。另外，经过第四工序得到的磁芯有时具有毛刺、有时需要进行尺寸调整。在该情况下，增加对经过第四工序得到的压粉磁芯进一步实施磨削加工和切削加工中的至少一种的第五工序，以及对经过所述第五工序得到的压粉磁芯进行热处理的第六工序，通过所述第六工序的热处理，也能够在通过所述第五工序加工的面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层。如上所述地得到的压粉磁芯发挥压粉磁芯本身的优异的效果。即，在作为复杂的形状的典型的筒状的压粉磁芯中，实现高强度和高绝缘性。对于压粉磁芯的具体的构成而言，例如，是使用金属系的软磁性材料粉而构成的压粉磁芯，是具有导线卷绕部和所述导线卷绕部的两端侧的凸缘部的筒状，所述金属系的软磁性材料粉通过含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层而结合，所述导线卷绕部表面是加工面，并且具有含有所述软磁性材料粉所含元素的氧化物层。“导线卷绕部表面是加工面”是指导线卷绕部通过磨削加工、切削加工等机械加工而形成，与导线卷绕部的表面本身的性状无关。即，即使通过机械加工而形成的导线卷绕部表面形成有氧化物层时，导线卷绕部表面也是加工面。在此情况下，导线卷绕部表面的算术平均粗糙度变得比凸缘部的外侧的面的算术平均粗糙度大。另外，金属系的软磁性材料粉通过含有软磁性材料粉所含元素的氧化物层而结合，表示即使进行所述机械加工时，也确保高强度和高绝缘性。进一步地，由于在导线卷绕部表面也具有含有软磁性材料粉所含元素的氧化物层，因此，即使导线卷绕部通过加工而形成时，也确保导线卷绕部表面的绝缘性。另外，通过经过上述的喷雾干燥等的工序，表面具有经过加工的面以及未经过加工的面，并且能够得到经过加工的面(例如，导线卷绕部表面)的算术平均粗糙度ra的平均值rmd相对于未经过加工的面(例如，轴向端面)的算数平均粗糙度ra的平均值ras的比rmd/ras为5以下的压粉磁芯。比rmd/ras更优选为3以下。对于所述压粉磁芯而言，在其剖面观察像中，软磁性材料粉的各粒子的最大粒径的平均值优选为15μm以下，更优选为8μm以下。由于构成压粉磁芯的软磁性材料粉较细，特别是高频特性受到改善。另一方面，从抑制导磁率的降低的观点出发，最大粒径的平均值更优选为0.5μm以上。可如下所述地计算最大粒径的平均值：研磨压粉磁芯的剖面并使用显微镜观察，对存在于一定面积的视野内的粒子读取最大粒径，计算出其个数平均值。此时，优选对30个以上的粒子获取平均值。成型后的软磁性材料粉虽然发生塑性形变，但是，在剖面观察中，几乎全部的粒子露出中心以外的部分的剖面，因此，上述最大粒径的平均值小于在粉末状态下评价的中值粒径d50的值。另外，如上所述地使用fe-cr-m系(m是al和si中的至少一种)作为金属系的软磁性材料粉，由此，能够实现耐腐蚀性优异的压粉磁芯。进一步地，使用含有al作为m的fe-cr-al系或者fe-cr-al-si系的软磁性材料粉时，在成型性优异、实现高占积率和高压粉磁芯强度方面优选。特别是使用fe-cr-al系的软磁性材料粉时，能够在低成型压力条件下提高压粉磁芯的占积率(相对密度)，压粉磁芯的强度也提高。更优选的是，利用该作用，使经过热处理的压粉磁芯中的软磁性材料粉的占积率在80～92％的范围内。优选该范围的理由是：通过提高占积率，磁性特性提高，另一方面，如果过度地提高占积率，则设备上的、成本上的负荷增加。进一步优选的占积率的范围是84～90％。对于上述的压粉磁芯的构成，优选的是，两端侧的凸缘部中的至少一者的直径或者一边比轴向的尺寸更大的扁平的筒状。这是由于仅利用模具成型难以实现该形状。使用上述压粉磁芯以及卷装于该压粉磁芯周围的线圈来提供线圈部件。线圈可以是将导线卷绕于压粉磁芯来构成，也可以是将导线卷绕于线轴来构成。例如，具有所述压粉磁芯和所述线圈的线圈部件是可作为扼流圈、感应器、反应器、变换器等使用。压粉磁芯可以是仅对混合上述粘合剂等的软磁性材料粉末实施加压成型而成的压粉磁芯单体的形态，也可以将软磁性材料粉末和线圈一体地加压成型而制造成线圈封入结构的压粉磁芯的形态。实施例(因构成元素的不同而导致的特性差异的评价)以下述方式，首先，确认了用于压粉磁芯的制造方法中的各种软磁性材料粉的特性。作为fe-cr-al系软磁性材料粉，准备具有以质量百分率计是fe-4.0％cr-5.0％al的合金组成(组成a)的球状的雾化粉。另外，使用激光衍射散射式粒度分布测定装置(la-920，堀场制作所制造)测定的平均粒径(中值粒径d50)为18.5μm。相对于所述软磁性材料粉100重量份，以2.0重量份的比率混合了乳化(emulsion)丙烯酸树脂系的粘合剂(polysol(ポリゾール)ap-604，固体成分40％，昭和高分子株式会社制造)。将混合粉在120℃温度条件下干燥1小时，并过筛而得到造粒粉，使其平均粒径(d50)在60～80μm的范围内。对于该造粒粉，以相对于软磁性材料粉末100重量份为0.4重量份的比率添加硬脂酸锌，并进行混合，获得了成型用的混合物。使用压力机，以0.91gpa的成型压力在室温条件下对得到的混合物进行加压成型。以成型体评价的占积率为84.6％。在大气中，以800℃的热处理温度对得到的环形的成型体实施1.0小时的热处理，由此获得了压粉磁芯(no1)。同样地，使用以质量百分率计为fe-4.0％cr-3.5％si的合金组成(组成b)作为fe-cr-si系的软磁性材料粉，使用以质量百分率计为fe-3.5％si的合金组成(组成c)作为fe-si系软磁性材料粉，分别以与上述no1的情况相同的条件进行混合，加压成型，从而得到成型体。分别在700℃、500℃的条件下进行热处理，得到压粉磁芯(no2、3)。另外，在使用fe-si系软磁性材料粉的情况下，如果以大于500℃的温度进行热处理，则铁损劣化，因此，采用500℃的热处理温度。通过上述工序制造的压粉磁芯的密度是根据其尺寸和质量来计算的，并将压粉磁芯的密度除以软磁性材料粉的真密度而算出占积率(相对密度)。另外，在环形的压粉磁芯的直径方向施加负荷，测定破坏时的最大加重p(n)，并根据下述式求出压环强度σr(mpa)。σr＝p(d-d)/(id2)(其中，d：磁芯的外径(mm)；d：磁芯的直径方向的厚度(mm)；i：磁芯的高度(mm)。)此外，在一次侧和二次侧的各自上卷绕15圈(turn)卷线，通过岩通计测株式会社制造的b-hanalyzersy-8232，在最大磁通密度为30mt、频率为300khz的条件下测定铁损pcv。另外，对于初始导磁率μi而言，将导线在所述环形的压粉磁芯上卷绕30圈，通过惠普公司(hewlett-packardcompany)制造的4284a，以频率100khz进行测定。表1如表1所示，与使用了fe-si系软磁性合金粉的no3的压粉磁芯相比，使用了fe-cr-m系的软磁性材料粉作为软磁性材料粉的no1和2的压粉磁芯发挥相同或更好的磁性特性，并且压环强度变高。即，通过no1和2的构成，能够通过简单的加压成型提供具有高强度的压粉磁芯。进一步地，与使用了fe-si系软磁性材料粉的no3的压粉磁芯和使用了fe-cr-si系软磁性材料粉的no2的压粉磁芯相比，使用fe-cr-al系软磁性材料粉制造的no1的压粉磁芯的占积率和导磁率大幅地提高。另外，no1的压粉磁芯的压环强度表现出100mpa以上的高的值，与no2的fe-cr-si系软磁性材料粉的压粉磁芯相比，也表现出二倍以上的值。即，可知使用fe-cr-al系软磁性材料粉的构成得到高压环强度并且极为有利。此外，另行通过盐水喷雾试验对耐腐蚀性进行评价，对于使用了fe-si系软磁性合金粉的no3的压粉磁芯而言，腐蚀显著，对于严酷的腐蚀环境，耐腐蚀性不充分。因此，可知使用了fe-si系软磁性合金粉的no3的压粉磁芯要求低铁损，另一方面，适合用于不需要高耐腐蚀性的用途。腐蚀被加以抑制的no1和2的压粉磁芯中，与no2的压粉磁芯相比，no1的压粉磁芯表现出良好的耐腐蚀性。对no1的压粉磁芯，使用扫描电子显微镜(sem/edx)进行压粉磁芯的剖面观察，同时观察了各构成元素的分布。将结果表示于图3中。(a)是sem图像，可知在具有明亮灰色色调的软磁性材料粉(软磁性材料粒子)1的表面形成有具有黑色调的相。使用sem图像，对30个以上的软磁性材料粒子计算出最大粒径的平均值，结果为8.8μm。图3(b)～(e)是分别表示o(氧)、fe(铁)、al(铝)、cr(铬)的分布的映射(mapping)图。色调越明亮，表示对象元素越多。由图3可知，软磁性材料粉的表面氧多，形成有氧化物，而且作为合金的各软磁性材料粒子之间通过该氧化物结合。另外，相比于内部，软磁性材料粉表面的fe浓度低，cr未表现出大的浓度分布。另一方面，al在软磁性材料粉晶界的浓度明显高。由此确认了，在软磁性材料粉的晶界形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层，相比于内部的合金相，该氧化物层中的al相对于fe、cr和al之和的比率更高。热处理前并未观察到如图3所示的各构成元素的浓度分布，可知上述氧化物层是通过热处理而形成的。另外，还可知al的比率高的各晶界的氧化物层相互连结。对于no2的压粉磁芯，也使用扫描电子显微镜(sem/edx)进行压粉磁芯的剖面观察，同时观察了各构成元素的分布。将结果示于图4中。(a)是sem图像，可知在具有明亮灰色色调的软磁性材料粉1的表面上形成有具有黑色调的相。图4(b)～(e)是分别表示o(氧)、fe(铁)、cr(铬)、si(硅)的分布的映射图。由图4可知，在no2的压粉磁芯中，在软磁性材料粉的晶界氧多，形成有氧化物，而且各软磁性材料粉之间通过该氧化物结合。另外，对软磁性材料粉而言，与内部相比，晶界的fe浓度更低，si未表现出大的浓度分布。另一方面，cr在软磁性材料粉表面的浓度明显高。由此确认了，在软磁性材料粉的表面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层，相比于内部的合金相，该氧化物层中的cr相对于fe、cr和al之和的比率更高。热处理前并未观察到如图4所示的各构成元素的浓度分布，可知上述氧化物层是通过热处理而形成的。另外，还可知cr的比率高的各晶界的氧化物层相互连结。可知，虽然在fe-cr-m系的软磁性材料粉no1和2的压粉磁芯中都含有cr，但是，在不含有al作为m的情况下，cr在软磁性材料粉的晶界浓化，在含有al作为m的情况下，al比cr更显著地在晶界浓化。接着，作为与组成a的si量不同的fe-cr-m系的软磁性材料粉，准备了具有以质量百分率计为fe-3.9％cr-4.9％al-1.9si的合金组成(组成d)的球状的雾化粉，以及具有以质量百分率计为fe-3.8％cr-4.8％al-2.9si的合金组成(组成e)的球状的雾化粉，如下所述地制造压粉磁芯。另外，对于使用激光衍射散射式粒度分布测定装置(la-920，堀场制作所制造)测定的平均粒径(中值粒径d50)而言，组成d的雾化粉为14.7μm，组成e的雾化粉为11.6μm。对于组成d和组成e，分别以相对于软磁性材料粉100重量份为2.5重量份的比率混合作为粘合剂的pva(poval(ポバール)pva-205；固体成分10％，可乐丽(クラレ)股份有限公司制造)。将得到的混合物在120℃温度条件下干燥1小时后，过筛而得到造粒粉，使其平均粒径(d50)在60～80μm的范围内。另外，相对于造粒粉100重量份，添加0.4重量份的硬脂酸锌，进行混合，得到成型用的混合粉的颗粒。使用压力机，以0.74gpa的成型压力在室温条件下对得到的混合物进行加压成型，得到内径φ7.8mm、外径φ13.5mm、厚度4.3mm的环形的成型体。使用成型体进出评价的占积率分别为80.9％(组成d)、78.3％(组成e)。在大气中，以750℃的热处理温度对以上述方式得到的成型体实施1.0小时的热处理，得到压粉磁芯(no4和5)。与上述no1～3同样进行磁性特性等评价，将评价结果示于表2中。表2如表2所示，与no1的压粉磁芯相比，对于使用了fe-cr-al-si系的软磁性材料粉作为软磁性材料粉的no4和5的压粉磁芯而言，通过添加si，磁性特性提高。另一方面，可知，虽然压环强度与no1的压粉磁芯相比略有下降，但是，即使在降低成型压力的条件下，也能够得到100mpa以上的充分的压环强度。即，确认了含有si虽然在得到高压环强度方面不利，但是，通过同时含有al，能够确保高压环强度。另外，对于no4和5的压粉磁芯，使用扫描电子显微镜(sem/edx)进行磁芯的剖面观察，确认了：与no1的压粉磁芯相同，软磁性材料粉的晶界氧多，形成有氧化物，而且各软磁性材料粉之间通过该氧化物结合(图5、图6)。另外，也确认了：相比于内部，软磁性材料粉晶界的fe浓度低，cr未表现出大的浓度分布，al在软磁性材料粉晶界的浓度明显高。如上所述，确认了：在使用金属系的软磁性材料粉的压粉磁芯中，特别是在使用fe-cr-m系(m是al和si中的至少一种)的软磁性材料粉的压粉磁芯中，通过对成型体进行热处理，在软磁性材料粉的表面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层的优先性。(实施例1)下面，对具有第一～第四工序的本发明的实施例进行说明。使用与no1相同的组成(组成a)以及与no4相同的组成(组成d)的软磁性材料粉，如下所述地制造筒状的压粉磁芯(分别为no6、no7)。相对于软磁性材料粉100重量份，以2.5重量份的比率混合作为粘合剂的pva(poval(ポバール)pva-205；固体成分10％，可乐丽(クラレ)股份有限公司制造)(第一工序)。将得到的混合物在120℃温度条件下干燥1小时后，过筛而得到造粒粉，使其平均粒径(d50)在60～80μm的范围内。另外，相对于造粒粉100重量份，添加0.4重量份的硬脂酸锌，进行混合，得到供于加压成型的混合物。使用压力机，以0.74gpa的成型压力在室温条件下对得到的混合物进行加压成型，得到圆柱状的成型体(第二工序)。得到的成型体的尺寸为φ10.2×7.5mm。另外，对于使用成型体进行评价的占积率而言，no6的压粉磁芯为84.0％、no7的压粉磁芯为82.3％。对经过第二工序得到的圆柱状的成型体的外周侧面，实施使用旋转磨石进行的磨削加工(第三工序)。将第三工序的加工前的成型体的形状示于图7(左侧)中，将加工后的形状示于图7(右侧)中。在所述磨削加工中，对于圆柱状的成型体5，除了轴向两端部分以外从侧面方向进行雕刻。磨削加工后的成型体6的形状是将凹陷的部分作为导线卷绕部7、在其两端侧具有凸缘部8的筒状。凸缘部的直径为10.2mm、高度为7.5mm，导线卷绕部的直径为4.8mm。也没有破碎的问题，加工性良好。在大气中，以750℃的热处理温度对以上述方式得到的成型体实施1.0小时的热处理(第四工序)，得到压粉磁芯。对如上所述地得到的筒状的压粉磁芯的电阻以下述方式进行评价。在其中一个凸缘部的圆形面上每隔3mm涂布银膏，形成电极9(图8(a))，测定凸缘面内的电阻(凸缘面内电阻)。另外，在导线卷绕部的夹着轴的两侧的部分每隔4mm涂布银膏，形成电极10(图8(b))，对实施了磨削加工的轴部分的电阻进行测定(导线卷绕部电阻)。电阻测定使用adc股份有限公司制造的8340a，将利用测定电压为300v的二端子法评价的结果示于表3中。表3如表3所示，可知实施了磨削加工的导线卷绕部的电阻表现出与凸缘部的面内的电阻相同水平的高电阻值，确保了充分的绝缘性。对于no6和7的压粉磁芯，在软磁性材料粉的表面都形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层，相比于内部的合金相，该氧化物层中的cr相对于fe、cr以及si之和的比率更高。另外，在导线卷绕部的表面也形成同样的氧化物层。另一方面，为了进行比较，尝试了通过在热处理后进行磨削加工而制造上述尺寸的筒状，但是，热处理后的压粉磁芯较硬，不能加工成规定的形状。另外，确认了加工面导通，不能确保绝缘性。另外，对于no4和5的压粉磁芯，也确认了在热处理后对圆环表面进行磨削加工时，加工面导通，不能确保绝缘性。(实施例2)使用与no1相同的组成(组成a)的软磁性材料粉，如下所述地制造筒状的压粉磁芯。相对于软磁性材料粉100重量份，以10.0重量份的比率添加作为粘合剂的pva(poval(ポバール)pva-205；固体成分10％，可乐丽(クラレ)股份有限公司制造)，投入作为溶剂的离子交换水，进行混合，制成浆料。浆料浓度为80质量％。通过喷雾干燥器将浆料在装置内部进行喷雾，使用温度已调整为240℃的热风使浆料瞬间干燥，回收形成粒状的颗粒(第一工序)。将得到的混合物在120℃温度条件下干燥1小时后，过筛而得到造粒粉，使其平均粒径(d50)在60～80μm的范围内。另外，相对于造粒粉100重量份，添加0.4重量份的硬脂酸锌，进行混合，得到供于加压成型的混合物。使用压力机，以0.74gpa的成型压力在室温条件下对得到的混合物进行加压成型，得到圆柱状的成型体(第二工序)。得到的成型体的尺寸为φ10.2×7.5mm。另外，使用成型体评价的占积率为82.5％。与实施例1同样地操作，对经过第二工序得到的圆柱状的成型体的外周侧面实施使用旋转磨石进行的磨削加工(第三工序)。筒状的凸缘部的直径为10.2mm，高度为7.5mm，导线卷绕部的直径为4.8mm。也不存在破碎的问题，加工性良好。在大气中，以750℃的热处理温度对得到的成型体实施1.0小时的热处理，得到压粉磁芯。在得到的压粉磁芯的软磁性材料粉的表面形成含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层，相比于内部的合金相，该氧化物层中的cr相对于fe、cr以及si之和的比率更高。另外，在导线卷绕部的表面也形成同样的氧化物层。得到的压粉磁芯的加工面比实施例1的压粉磁芯更光滑。另外，使用基恩士(keyence)公司制造的超深度形状测定显微镜vk-8500，测定加工面(导线卷绕部表面)的算术平均粗糙度ra和非加工面(成型冲压面：轴向端面)的算术平均粗糙度ra。测定是对五个的压粉磁芯的各面中的两个位置(在非加工面(成型冲压面)中为“中央部”，在加工面(导线卷绕部表面)中为“轴向的中央部”)进行，共计对10个位置进行测定。每个位置的评价面积为0.32mm2。非加工面(成型冲压面)的算术平均粗糙度ra为1.10～2.01μm的范围，其平均值为1.40μm。即，非加工面(成型冲压面)的算术平均粗糙度ra被控制在2μm以下的范围。与此相对，加工面的算术平均粗糙度ra为3.17～4.99μm的范围，其平均值为4.11μm。即，加工面(导线卷绕部表面)的算术平均粗糙度ra的平均值rmd为5μm以下，大于非加工面(轴向端面)的算术平均粗糙度ra的平均值ras，另一方面，比rmd/ras被控制为2.9左右。(实施例3)<强度的预评价>使用与no1相同的组成(组成a)的软磁性材料粉，如下所述地制造筒状的压粉磁芯。相对于软磁性材料粉100重量份，以10.0重量份的比率添加作为粘合剂的pva(poval(ポバール)pva-205；固体成分10％，可乐丽(クラレ)股份有限公司制造)，投入作为溶剂的离子交换水，进行混合，制成浆料。浆料浓度为80质量％。通过喷雾干燥器将浆料在装置内部进行喷雾，使用温度已调整为240℃的热风使浆料瞬间干燥，回收形成粒状的颗粒(第一工序)。将得到的混合物在120℃温度条件下干燥1小时后，过筛而得到造粒粉，使其平均粒径(d50)在60～80μm的范围内。另外，相对于造粒粉100重量份，添加0.4重量份的硬脂酸锌，进行混合。使用压力机，以0.74gpa的成型压力在室温条件下对得到的混合粉进行加压成型，得到圆柱状的成型体(第二工序)。得到的成型体的尺寸为内径φ7.8mm、外径φ13.5mm、厚度4.3mm的环形。得到的成型体的占积率为81.3％。在表4所示的150～900℃的温度条件下，进行保持时间为2小时的预加热处理后，与上述no1～5的压粉磁芯同样地操作，进行强度的评价。将成型体强度的预加热温度依存性示于表4和图10中。如图10所示，成型体强度随着预加热处理温度的上升而升高。预加热温度为100℃以上时，得到大于15mpa的成型体强度。另外，可知在认为强度的提高主要由粘合剂的固化所致的300℃以下的温度范围，以及形成金属系的软磁性材料粉之间强固结合的氧化物的500℃以上的温度范围内，相对于预加热温度的强度的变化的梯度发生改变。可知如果考虑实施加工，则强度变化的梯度小，强度的绝对值也不会过大，特别地优选将300℃以下的温度范围作为预加热处理的温度。表4预加热温度(℃)成型体强度(mpa)20(无加热)11.915020.517021.120028.7500116600151650200700243750291800418900442<筒状磁芯的评价>根据图10所示的结果，将预加热温度设定为200℃，制造筒状的压粉磁芯。使用上述进行了成型体强度的预评价的原料粉末。使用压力机，以0.74gpa的成型压力在室温条件下进行加压成型，得到圆柱状的成型体(第二工序)。得到的成型体的尺寸为φ4×1mm。得到的成型体的占积率为81.5％。作为预加热工序，在200℃温度条件下保持2小时后，用刃宽度为0.35mm的金刚石磨轮进行磨削加工，使磁芯直径(导线卷绕部的直径)成为1.75mm(第三工序)，制造筒状的压粉磁芯。另外，为了进行比较，采用不经过预加热工序的制造方法制造筒状的压粉磁芯。第四工序中热处理以与上述no6等相同的条件进行。在得到的压粉磁芯的软磁性材料粉的表面形成有含有该软磁性材料粉所含元素的氧化物层，相比于内部的合金相，该氧化物层中的cr相对于fe、cr和si之和的比率更高。另外，在导线卷绕部的表面也形成有同样的氧化物层。对于采用不经过预加热工序的制造方法制造的压粉磁芯，在凸缘部与芯部(导线卷绕部)的边界部分产生裂缝，或在凸缘外周部发生破碎、缺损，但是，实施了预加热工序的压粉磁芯不产生裂缝，也不发生破碎、缺损。即，在两端侧的凸缘部的直径(最大尺寸)为轴向的尺寸的二倍以上的、扁平性高的筒状的压粉磁芯中，能实现无缺陷的高品质。当前第1页12