用于跟踪显微镜样品的装置和方法与流程

本发明涉及一种用于容纳显微镜样品的样品载体、并且涉及一种相关容纳装置。样品载体和容纳装置配合，使得能够跟踪各个样品。容纳装置可以是样品固持器的一部分或旨在用于检查或处理样品的显微镜系统的一部分。此类显微镜系统可以是例如电子显微镜、离子显微镜、光学显微镜或x射线显微镜。此外，本发明涉及一种用于跟踪显微镜样品的方法。

背景技术：

在借助于例如扫描电子显微镜(sem)的显微镜系统进行样品检查期间，经常需要更换待检查的样品。也就是说，样品被引入显微镜系统并且再次从显微镜系统中移除。

为了实现样品更换，样品通常借助于包括样品载体和样品固持器的由两部分构成的系统被固持。样品直接容纳在样品载体上。出于这种目的，样品例如粘性粘接到样品载体上。上面固定有样品的样品载体接着被安装到样品固持器上。样品固持器通常可以容纳多个样品载体，这使样品更换进一步简化并且加快。样品固持器通常通过速动关闭而被固持在显微镜载物台上，使得该样品固持器可以简单并且快速地安装上和拆卸下。各种设计的样品固持器可供用于不同类型的显微镜和多种类型的样品。

图1以截面图示出了如何以已知方式将用于在粒子束显微镜(在本实例中为sem)中进行检查的样品3固持到显微镜的物镜2下方。样品3通过导电粘合剂层4被固定到样品载体(桩)5上。已知的样品载体5通常是旋转对称设计的并且包括圆柱形连接件。连接件借助于螺钉连接被固持在样品固持器7中的圆形开口6内。在这种情况下，样品载体5在插入开口6中时通常可以绕其纵向轴线随意旋转，使得所施加的样品3相对于样品固持器7的精确取向是随机选择的并且是不可再现的。

装载有一个样品载体5或多个样品载体的样品固持器7通过燕尾榫8安装到显微镜载物台9上。显微镜载物台9通常是可移动的，使得可以移动显微镜载物台9以及其上安装的样品固持器7。以这种方式，样品3可以移动并且定位成在物镜2正下方。样品3通常被定位成使其与物镜2的光轴1交叉并且位于物镜2的焦点区域中。接着可以通过显微镜系统对样品3进行分析。

在得到检查结论之后，经分析的样品通常从显微镜系统中移除并且从样品固持器中取出以便将这些样品与样品载体一起储存在储存系统中。如果之后打算在显微镜系统中再次分析样品，将出现以下问题：

样品相对于样品固持器的取向没有维持并且因而是未知的。几乎不知道样品之前在哪个样品固持器中以及在样品固持器上的哪个容纳位置上进行了检查。这使得难以再次找到之前进行检查的样品部位。此外，显微镜系统不能自动地再次识别样品，并且因此使用者必须进行干预以便手动地将关于样品身份的信息传送到显微镜系统。因此，关于同一个样品的数据，该数据虽然已经获得，但是在不同的工作会话或使用不同显微镜系统期间仅能困难地并且仅利用费力的手动干预才可以整理该数据并使其关联。

此外，这些缺点使得存在样品混淆不清的永久风险。而且，特别是如果打算在更新的检查期间使用不同设计的样品固持器，那么难以再次找到已经检查过的样品部位(感兴趣区域，roi)。无论如何，使用者不仅在第一次检查中，还要在所有之后的检查中手动地使样品的数据可用。

因此，期望能够以自动化方式识别并且重新识别显微镜样品并且更容易再次找到样品的感兴趣区域(roi)。

相关现有技术的简要描述

对于电子显微镜法，存在许多不同设计的样品固持器。其中一些具有复杂几何结构并且因此相应地昂贵。通常，常规样品固持器的尺寸和几何结构是充分已知的，使得可以可靠地操纵具有固持在显微镜系统中的样品固持器上的固定样品的样品载体。

对于扫描电子显微镜法，已熟知呈所谓的“桩”形式的旋转对称样品载体，样品施加到这些样品载体上。桩是一次性使用的典型耗材。

在透射电子显微镜法中，通常是tem网格，这些网格出于检查目的固持在角度计中。

为了让使用者更容易将样品定位在样品固持器中，

已经提出了各种方法和辅助器。一个已知的可能性是将标记(通常是编号)施加到样品固持器上。但是，在此，使用者必须为每个样品手动记录样品固持在样品固持器中的位置。如果打算之后再一次检查样品，所述样品可以再次定位在相同位置上，但不能维持桩的旋转取向。

为了识别样品固持器设计，已知的是，将标记施加到样品固持器上。这些标记可以是例如条形码、2d矩阵码或其他印刻的材料编号。但是，这种方法仅在有限范围内适用，对于样品载体的单独识别，因为施加到样品载体上的编码不得不非常小，这将使得更加难以读出并且与高生产成本相关联。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种样品载体系统，利用该样品载体系统，显微镜样品可以被相应使用的显微镜系统清楚地识别和重新识别，使得可以数字识别并且跟踪样品。此外，该目的是提出一种方法，通过该方法可以数字识别并且跟踪样品显微镜样品。

该目的根据本发明是通过下文所述的样品载体以及根据下文所述的样品固持器来实现的。下文在各自情况下给出了有利构造。本发明此外涉及一种下文所述的方法、并且还涉及一种下文所述的计算机程序，该计算机程序引起显微镜系统执行根据本发明的方法。

一种用于容纳样品以便在显微镜系统中进行检查或处理的样品载体，

其中，该样品载体可容纳在容纳装置中；

并且该样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与该显微镜系统通信并且在该过程中将该单独样品载体标识符传送到该显微镜系统，使得容纳在该样品载体上的样品是可跟踪的。

一种样品固持器，该样品固持器用于容纳显微镜样品的样品载体，

其中，该样品固持器包括容纳装置，样品载体可容纳在该容纳装置中并且该容纳装置被设计成在相对于该样品固持器的某个限定取向上固持该样品载体，

并且该容纳装置具有单独位置标识符；

并且该样品载体具有单独样品载体标识符；

并且该样品固持器此外被设计成与该显微镜系统和容纳的样品载体通信并且在该过程中传送该单独位置标识符以及该样品载体的单独样品载体标识符，使得容纳在该样品载体上的样品是可跟踪的。

一种用于跟踪显微镜样品的方法，该方法包括以下步骤：

a)提供容纳在样品载体上的样品，其中，该样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与显微镜系统通信；

b)将该样品载体容纳在第一样品固持器的第一容纳装置中，

其中，所容纳的样品载体采取相对于该第一样品固持器的某个限定取向；

并且该第一容纳装置具有第一单独位置标识符并且被设计成与该显微镜系统通信；

c)结合该第一位置标识符一起读出该样品载体标识符；

d)将读出的该标识符传送到该显微镜系统的控制单元。

优选地，该方法包括以下附加步骤：

e)将读出的该标识符与该样品的单独身份数据关联。

优选地，该方法包括以下附加步骤：

-将该样品固持器引入显微镜系统中；

-借助于该显微镜系统分析该样品，使得获得关于该样品的数据。

优选地，该样品载体包括数据存储装置并且该方法包括以下附加步骤：

-将数据存储在该样品载体的数据存储装置中。

优选地，该方法包括以下附加步骤：

-将装载有该样品的该样品载体容纳在第二样品固持器的第二容纳装置中，该第二容纳装置具有第二单独位置标识符，

其中，所容纳的样品载体采取相对于该第二样品固持器的某个限定取向；

并且被设计成与显微镜系统通信；

-结合该第二单独位置标识符一起读出该单独样品载体标识符；

-将读出的该标识符传送到该显微镜系统的控制单元；

-提供关于该第一样品固持器和该第二样品固持器的尺寸和几何结构的几何数据；

-计算该几何数据和这些标识符，使得确定该样品的身份和当前位置。

一种包括控制命令序列的计算机程序，该控制命令序列引起显微镜系统执行上文所述的用于跟踪显微镜样品的方法。

样品载体(桩)(有时还被称为载物体)理解成是指容纳待检查样品的装置。因此，也就是说，样品或多或少直接连接至样品载体。样品可以例如通过粘性粘接、夹紧机构或通过粘附固定到样品载体上。样品通常保持永久固定到样品载体上，使得样品载体通常仅使用一次。因而，样品载体是应该大量供应的典型耗材。

样品固持器应被理解成是指这样一种装置，该装置可以将一个或多个样品载体容纳在特定容纳位置上并且通常可以可逆地固定到显微镜系统上、通常是固定到显微镜系统的可移动显微镜载物台上。样品固持器通常具有复杂几何结构，其构造可以根据显微镜方法、使用的显微镜系统以及样品的类型而变化。

本发明基于这样的认识：显微镜样品的样品载体可以以能构容纳在容纳装置(例如样品固持器上的插入物)中的小印刷电路板或芯片的形式提供。结果是，能够电子地或光学地读出样品载体，其中，样品载体与固定其上的样品一起被安排成处于相对于样品固持器的某个限定取向。每个插入物此外具有例如插入物编号的单独位置标识符，使得插入物的位置标识符可以与样品载体标识符关联。以这种方式，能够基于样品载体标识符重新识别单独样品并且跟踪所述样品现在或之前位于哪个插入物中，即位于样品固持器上的哪个记录位置上。

位置(容纳位置)应被理解成是指样品载体在容纳状态下所定位的位置。每个容纳装置具有单独地识别容纳装置的位置标识符。样品载体的容纳位置可以例如由使用的样品固持器的指示以及所述样品固持器上所使用的插入物的指示来限定。因而，容纳位置(即位置标识符)的指示给出样品载体位于何处的信息。

取向应被理解成是指容纳的样品载体相对于容纳装置的空间取向。在最简单的情况下，恰好存在样品载体的允许样品载体固持在容纳装置中的一个空间取向。这种取向是已知并且可再现的。

特别有利的是容纳装置此外具有相对于显微镜系统的光轴中的至少一个的某个限定空间取向。结果是，被所述容纳装置固持的样品载体还具有相对于光轴或多个光轴的某个限定(即已知)取向。

本发明具有的优点是，第一，可以方便地且大量地生产样品载体，第二，可以可靠地跟踪容纳在此类样品载体上的样品。

在这种情况下，样品分配期间的错误减到最少并且几乎排除混淆不清。由于根据本发明的样品载体系统此外将样品的取向的自由度减到最小，这使得能够更容易清楚地并且无错误地再次找到样品上的特定样品部位(roi)。

而且，使用半导体技术或印刷电路板技术的样品载体的实施例使得能够在样品载体上设置进一步存储装置。结果是，例如使用者数据、显微镜系统生成的图像或光谱、以及特定检查或操作条件等元数据可以存储在样品载体上。这此外具有的优点是，这些数据可以与样品归档在一起，该样品在此之后永久保持在样品载体上。

根据本发明的容纳装置可以安排在样品固持器上。该样品固持器可以是已知样品固持器的进一步发展，该样品固持器的确切尺寸和容纳位置还有几何结构是已知的。同样已知的是，可以像这样用于详尽说明样品固持器的几何结构并且还涉及相应使用的显微镜系的坐标系和计算方法。此外，已知不同样品固持器的坐标系可以彼此相关的方法，使得可以确定第一样品固持器上的第一容纳位置与第二样品固持器上的另一个容纳位置之间的逻辑关系。因而，使得显微镜系统的控制单元可以再次找到样品以将其识别出并且如果样品首先固持在第一容纳位置上、在进一步检查中接着固持在根据本发明的样品载体系统的第二容纳位置上，则将该样品精确定位。

此外，本发明还涉及一种借助于根据本发明的样品载体系统识别和重新识别样品的方法。通过读出单独样品载体标识符和样品载体目前所位于的单独容纳位置，上级系统的控制单元可以在任何时间确定特定样品载体所处的位置。通过将特定样品载体的标识符与关于容纳在所述样品载体上的样品的信息关联，因而还可以跟踪单独样品。

附图说明

下文将参考附图说明本发明的示例性实施例。出于说明部件的目的，因此，分别参考整个先前和后来的描述。图中：

图1示出了sem中的常规样品载体与样品固持器系统(现有技术)；

图2示出了根据本发明的样品载体的一个实例；

图3a至图3d示出了根据本发明的样品载体的进一步实施例，其区别在于样品载体与相应的相关容纳装置配合的方式；

图4a和图4b示出了根据本发明的不同类型的样品载体；

图5a和图5b示出了根据本发明的样品固持器；

图6示出了根据本发明的方法的流程图；

图7示意性地示出了根据本发明的方法的顺序，其中，装载有样品的样品载体被相继引入两个不同显微镜系统中；以及

图8示出了粒子束装置，根据本发明的样品载体系统可以在该粒子束装置中使用。

具体实施方式

图2示出了根据本发明的样品载体10。粘合剂层4被施加到样品载体10的表面上，样品3可以通过该粘合剂层紧固到样品载体10上。替代性地，可以想到通过夹紧装置(未示出)或一些其他固定装置将样品3固定到样品载体10上。

有利地，样品载体10是使用印刷电路板技术或半导体技术制造的。也就是说，样品载体10被构造成印刷电路板或硅片。而且，样品载体10包括电可读的单独标识符。因而，样品载体10被设计成发送电信号并且至少将单独样品载体标识符传送到例如显微镜系统的样品固持器或控制单元等其他部件。

出于这种目的，样品载体10与容纳装置12配合，样品载体10可以可逆地容纳在该容纳装置中。在图2示出的实施例中，样品载体10通过与弹簧11的摩擦固定在容纳装置12中。容纳装置12可以是样品固持器19的一部分。样品载体10被构造成使得其采取相对于容纳装置12的某个限定取向。这意味着，固定在样品载体10上的样品3还以相对于容纳装置12并且因而还相对于样品固持器19的限定方式定向。样品固持器19可以以限定方式安装到显微镜系统上，使得样品固持器19采取相对于显微镜系统的光轴的某个限定取向。因此，固定在样品载体10上的样品3还以相对于光轴的某个限定取向安排。

电接触可以通过容纳装置12产生，样品载体10通过该电接触可以传送电信号。在这方面，样品载体10可以将其单独标识符(样品载体id)传送到样品固持器19。还可以想到的是，样品固持器19对样品载体10的单独标识符进行询问。电可读样品载体id是唯一样本标识符并且可以是例如序列号。

为了提供识别数据，一个或多个电子部件可以集成在印刷电路板或硅片上或内。

样品载体10可以借助于半导体技术或印刷电路板技术的常规制造方法来生产。也就是说，样品载体10可以被构造成例如fr4印刷电路板、陶瓷印刷电路板、微芯片或其他常规形式，使得样品载体10配备有电或机械功能并且可以成本有效地大量制造。

在可以优选地在光学显微镜的情况中使用的一个特定实施例中，容纳装置12是显微镜系统的一部分。也就是说，容纳装置没有安排在样品固持器上，而是直接安排在显微镜系统上。在本实施例中，样品载体10与显微镜系统直接通信。

图3a到图3d进一步示出了根据本发明的样品载体的实施例，其区别在于样品载体与容纳装置机械配合的方式。除了图2示出的摩擦固定，样品载体还可以以某种其他方式固定在容纳装置中，如图3a到图3d中展示的。在这方面，可以想到通过锁扣机构来定位样品载体10(图3a)。在这种情况下，锁定安排由于样品载体10处的弹簧力而锁扣在位置上。出于解锁目的，可以为每个样品载体10设置相应按钮13或为多个样品载体设置中央按钮(未示出)。替代性地，可以设置引导框架15，样品载体10插入该引导框架中(图3c)。此外，容纳装置可以包括用于固定样品载体的锁定机构(图3d)。在此，锁定滑动件16被样品载体10前方的弹簧力推动。如果锁定滑动件16被推到侧边，那么样品载体10可以被移除。还可以想到的是，设置推出样品载体10的弹簧以便有利于移除。而且，样品载体10可以通过双推机构固持在位(图3b)。样品载体在被推入时锁入接触条14中。该样品通过再次被推动而往回跳出并且可以被移除。上述提及的实施例的共同点是，样品载体10可以在不用工具的情况下更换。但是，还可以想到的是，根据本发明的样品载体10通过螺钉连接固持在容纳装置中。

图4a和图4b示出了不同类型的样品载体42、45，这些样品载体旨在用于不同的显微镜方法中。原则上，根据本发明的样品载体42、45可以被构造用于透射辐射显微镜法或反射光学显微镜法。在此背景下，术语“反射光”不仅包含属于光学显微镜法的方法，而且还包含采用电子束和/或离子束并且在各自情况中没有将辐射透射过样品的方法。

图4a展示了可以用于例如sem中的反射光样品载体42。样品载体42可以具有粘合剂层41、并且还具有触头43，样品载体42可以经由这些触头连接到容纳装置上。替代性地，样品载体42可以被构造为使得样品可以通过夹紧机构或通过粘附来固定。

图4b示出了用于透射电子显微镜法(tem)或扫描透射电子显微镜法(stem)的透射辐射样品载体45。样品载体45具有开口44，该开口构成了电子透明区域。有利地，开口44被tem网格44或膜覆盖，样品可以定位到该网格或膜上。此外，样品载体45可以具有触头43，经由这些触头可以产生与容纳装置的电接触。

具有与样品载体45相似设计的样品载体可以用于光学显微镜法。在这种情况下，样品载体依然包括透明开口，特别是光透射开口。出于这种目的，开口的区域有利地由合适的光透射材料制成。样品可以施加到光透明区域并且被固定。

如在说明书中关于图2已经说明的，图4a和图4b示出的样品载体42、45还包括用于提供单独标识符的装置。此外，样品载体42、45被设计成与容纳装置机械配合并且发送数据。

通常，根据本发明的样品载体可以包括除样品载体id之外的进一步电子存储装置。这可以借助于提供存储空间以便存储关于样品的数据或识别样品的一个或多个电子部件来实现。因此，也就是说，样品载体包括存储空间，使其可电子读写。因此，数据可以存储到样品载体上，该样品载体保持可用并且与固定其上的样品一起归档。

样品载体可以通过样品固持器或与显微镜系统直接通信来读出。可以想到许多不同的方式来进行样品载体与显微镜系统之间或样品载体与样品固持器之间的数据传输，因而例如通过电触头、通过电感耦合或电容耦合、例如通过led或激光进行光学传输、通过无线电线路或通过提及的许多可能性的组合。

还可以想到的是，样品固持器例如通过经电接触、总线系统等读出的固定编码仅向样品载体传送其容纳位置(例如位置标识符的形式)并且提供电压源。于是样品载体可以与显微镜系统直接通信并且例如通过nfc(近场通信)传送样品载体标识符以及位置标识符。在这种情况下，特别有利的是样品载体配备有成本有效的rfid应答器(射频识别)，使得数据可以非接触地发送。

而且，样品载体可以发出位置和取向的光学信号(例如通过led)并且这种信号可以通过并入显微镜系统中的相机来评估。

此外，样品载体可以具有附加标识符可以施加于的装置。在这种情况下，有利的是使用者可以直接或通过阅读器读出附加标识符。这有利于处理装载有样品的样品载体，因为，基于附加标识符，使用者可以识别出涉及什么样品。

附加标识符可以与单独样品载体标识符相同，例如与特别的序列号。但是，两个标识符还可以是不同的。特别有利的是附加标识符对于使用者而言容易理解并且包括例如自然语言或明文。附加标识符可以与单独样品载体标识符相关。

如果样品载体的表面部分地或全部具有导电涂层，特别是对于在采用带电粒子束的粒子束装置中使用样品固持器而言是有利的。还可以想到的是，样品载体整体或部分设置有不同的涂层。

根据本发明的样品固持器包括一个或多个容纳装置，根据本发明的样品载体可以容纳在每个容纳装置中并且通过该容纳装置使得能够与样品载体配合。容纳装置可以被构造成槽缝，例如也就是说样品载体可以插入其中的插入物。每个单独容纳装置包括唯一地标识出样品固持器上的容纳位置的单独位置标识符。这个单独位置标识符可以是例如槽缝的编号。容纳装置被构造成使得容纳于其中的样品载体具有相对于样品固持器的某个限定取向。

样品固持器可以固定地连接到显微镜系统上。替代性地，样品固持器可以可逆地安装到显微镜系统上。无论如何，样品固持器采取相对于显微镜系统的限定的并且因而可再现的、即总是相同的取向。这可以例如通过使用滑动触头进行速动闭合来实现。速动闭合可以被实施为例如燕尾引导件的形式或夹紧、掣子或卡销闭合。由于相对于显微镜系统的光轴的限定取向，因此还有每个单独容纳的样品载体以及因而还有固定到样品载体上的样品以相对于显微镜系统的光轴的限定的并且因而已知的取向定向。

而且，样品固持器包括允许与被容纳的样品载体以及显微镜系统通信的装置。也就是说，样品固持器可以至少传送被占用的容纳装置的单独位置标识符。此外，有利的是样品固持器可以询问容纳的样品载体的单独样品载体标识符并且将这些样品载体标识符传送到显微镜系统，以将其更精确地放入显微镜系统的控制单元。

可以想到许多不同的方式来进行样品固持器与显微镜系统之间的数据传输，因而例如通过电触头、通过电感耦合或电容耦合、例如通过led或激光进行光学传输、通过无线电线路或通过提及的许多可能性的组合。

在这种情况下，样品固持器可以在不同状态下被读出。第一，可以想到的是，样品固持器在安装状态下，即在安装到显微镜载物台上时被读取。第二，当样品固持器处于传递状态时可以读取样品固持器。在这方面，可以在锁定传递期间在显微镜系统的真空锁内或在锁定传递之后当显微镜载物台从锁定位置移动到操作位置时读取样品固持器。最后，还可以想到的是，样品固持器在显微镜系统外部被读取。

此外，本发明包括一种用于跟踪显微镜样品的方法，该方法在图6中示意性地展示。上述样品载体系统用于这个目的。第一步骤61包括提供根据本发明的样品载体，待检查的样品固定到该样品载体上。还可以想到的是，样品在早先检查期间已经施加到样品载体上并且已知被提供(步骤62)。无论如何，样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与显微镜系统通信。

步骤63包括将装载好的样品载体容纳在容纳装置中。有利的是容纳装置是样品固持器上的插入物。在容纳状态下，样品载体具有相对于容纳装置并且因而还相对于样品固持器的某个限定取向。容纳装置包括唯一地表征容纳位置的单独位置标识符。

步骤64包括将样品固持器与样品载体一起引入显微镜系统中。步骤65包括读出样品载体的单独标识符以及被样品载体占据的容纳装置的位置标识符，并且将这些标识符发送到控制单元。

有利地，读出的标识符被传送到显微镜系统的控制单元。因而，显微镜系统接收关于哪个样品载体已经被容纳以及其位于何处的信息。在最简单的情况中，足以能够跟踪并且识别已经永久容纳在样品载体上的样品。通常，为了将样品固持在容纳位置上，还存储有x方向、y方向以及z方向的坐标以及关于旋转和倾斜的指示，不管怎样，使得可以再次找到所述样品上的感兴趣区域。

还可以想到的是，方法步骤64和65按不同顺序执行。在这方面，举例来说，样品载体id可以在样品载体被引入显微镜系统中之前被读出。这例如就是样品固持器经由锁引入显微镜系统中并且样品载体在经过特定锁定位置时被读出的情况。

数据传输可以以与上文已经针对样品载体和样品固持器所描述的方式相同的方式来进行。在这方面，数据传输可以例如通过电触头、通过电感耦合或电容耦合、例如通过led或激光进行光学传输、通过无线电线路或通过提及的许多可能性的组合来实现。

步骤66包括关于显微镜系统的控制单元是否已知读出的样品载体标识符进行询问。

如果已知(询问结果：是)，那么关于样品载体标识符的已经存在的数据在步骤70中上传。基于这些数据，样品可以被操纵或定位使得早先识别的感兴趣区域(roi)可以通过显微镜系统进行分析(步骤71)。步骤72中，对样品进行分析。最后，步骤73中，存在的数据以及新获得的数据可以自动关联或叠加。

如果询问揭示了样品仍然是未知的(询问结果：否)，在步骤67中启动进一步询问，通过该进一步询问，使用者可以输入关于样品的信息。在步骤68中，输入的样品说明和单独样品载体标识符关联在一起。在步骤72中，在显微镜系统中分析样品。

还可以想到的是，省略方法步骤67和68，使得在迄今为止未知的样品的情况下，仅新获得的分析数据与样品载体标识符关联(步骤69)。

如上文已经描述的，根据本发明的样品载体可以具有数据存储装置。于是该方法可以包括附加步骤，其中，在分析样品期间获得的数据存储在样品载体的数据存储装置上。

原则上，可以想到的是，两个不同的显微镜系统执行该方法，如图7展示的。出于这种目的，携带样品80的样品载体81首先在例如扫描电子显微镜85的第一显微镜系统中进行检查，接着在例如光学显微镜88的第二显微镜系统中进行检查。

第一，样品载体81容纳在第一样品固持器84中。在此在各自情况下，单独样品载体标识符和当前位置标识符被读出并且传送到控制单元86。样品固持器84被引入扫描电子显微镜85中，使得接着可以分析样品80。

如图7展示的，可以想到的是，样品固持器84具有进一步容纳位置，进一步样品载体82、83可以容纳在这些进一步容纳位置上。用于容纳样品载体81、82、83的容纳位置在各自情况下相对于样品固持器84上的中心参考点z1定位。因而，每个容纳的样品载体相对于参考点z1的位置是已知的。如果接着检查样品的感兴趣区域(roi)，可以存储其相对于参考点z1的位置。基于存储的相对于参考点z1的位置，相同的样品部位可以在之后的检查期间被再次找到。这在样品载体容纳在样品固持器的不同容纳装置中也是可以的，该容纳装置相对于参考点z1的位置在此之后同样已知，使得可以以计算方式确定样品台必须如何移动以便能够观察到或处理感兴趣区域。

在第一显微镜系统85中进行检查之后，样品载体81被引入第二样品固持器87中。在此同样地，在各自情况下，样品载体标识符和当前位置标识符被读出并且传送到控制单元86。第二样品固持器87被引入光学显微镜88中，使得可以借助于光学显微镜88分析样品80。

容纳装置在样品固持器87上相对于第二中心参考点z2的位置有利地是已知的。中心参考点z1和z2可以借助于几何计算而彼此相关。结果是，可以再次找到样品的感兴趣区域，该样品区域现在固持在样品固持器87上并且其相对于参考点z1在样品固持器84上的位置在之前被确定并且存储。

特别有利的是关于使用的样品固持器84、87的尺寸和几何结构的数据在控制单元86中可用，使得可以计算数据和标识符以便确定样品80的身份和相应当前位置。这是通过计算彼此的几何数据来完成的。

控制单元86可以包括或容纳具有控制命令序列(计算机程序)的计算机程序产品89，这些控制命令引起扫描电子显微镜85和/或光学显微镜88执行根据本发明的用于跟踪显微镜样品的方法。替代性地，还可以想到的是，计算机程序例如通过下载或流式传输纯数字地发送到控制单元。

图8示意性地示出了可以用于执行根据本发明的方法的扫描电子显微镜801。扫描电子显微镜801具有用于产生电子束的电子束柱803。在操作期间，电子束被引导至样品812上的处理位置。样品812通过样品载体813和样品固持器814固持在可移动显微镜载物台815上并且位于扫描电子显微镜801的样品室802中。在操作期间，真空条件通常在样品室802中占主导。特别有利的是sem801此外具有真空锁816，样品812可以通过该真空锁转入或转出，而不需要在该过程中打破样品室802的真空。

显微镜载物台815有利地被构造成五轴线样品台。这意味着样品812可以在x方向、y方向以及z方向上移动-也就是说在三个互相垂直的空间方向上移动-并且可以绕倾斜轴线和旋转轴线旋转。

在操作期间，电子源804中产生一次电子束，所述一次电子束沿电子束柱803的光轴806加速、通过透镜系统805、807聚焦并且被至少一个孔径光阑808修整。而且，电子束柱803包括偏转系统809，一次电子束通过该偏转系统可以在样品812的表面上以光栅型方式被引导。扫描电子显微镜801包括用于检测粒子束与样品812的相互作用的相互作用产物的至少一个检测器810。

而且，扫描电子显微镜801包括控制单元811，该控制单元可以执行显微镜软件并且使用者通过该显微镜软件可以输入和询问数据。控制单元811可以执行包括在计算机程序中的控制命令序列。由于执行控制命令，引起扫描电子显微镜801执行根据本发明的方法。

还可以想到的是，将显微镜系统构造成两束装置，该两束装置还被称为fib-sem组合式装置。与上述扫描电子显微镜相比，两束装置此外包括被构造成离子束柱(聚焦离子束、fib)的第二粒子束柱。两个粒子束都被引导至样品上的处理位置，该样品通常位于两个粒子束的重合点。离子束柱包括离子源、偏转系统以及聚焦透镜。离子源中产生的离子沿离子束柱的光轴加速并且聚焦，使得离子以聚焦方式撞击样品并且可以用于将材料从样品上移除和/或将样品成像。

此外，显微镜系统还可以被构造成光学显微镜或x射线显微镜。

附图标记清单

1光轴

2物镜

3样品

4粘合剂层

5样品载体

6开口

7样品固持器

8燕尾榫

9显微镜载物台

10样品载体

11弹簧

12容纳装置

13释放按钮

14接触条

15插入框架、引导框架

16锁定滑动件

19样品固持器

41粘合剂层

42样品载体

43触头

44tem网格

45透射光样品载体

46开口

50样品载体

51样品固持器

52触头

53弹簧

61将样品紧固到样品载体上

62为样品载体提供早先检查的样品

63将样品载体安装到样品固持器上

64引入显微镜系统中

65读出样品载体id和位置标识符

66询问：样品是否已知？

67询问：输入关于样品的信息

68将样品载体id与样品说明关联

69将样品载体id与样品数据关联

70上传关于样品的已存在数据

71基于这些数据操纵/选择roi

72分析样品

73自动将不同数据集关联或叠加

80样品

81第一样品载体

82第二样品载体

83第三样品载体

84第一样品固持器

85扫描电子显微镜

86控制单元

87第二样品固持器

88光学显微镜

89计算机程序产品

z1第一中心参考点

z2第二中心参考点

801扫描电子显微镜

802样品室

803电子束柱

804电子源

805透镜系统

806光轴

807透镜系统

808孔径光阑

809偏转系统

810检测器

811控制单元

812样品

813样品载体

814样品固持器

815显微镜载物台

816真空锁