基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器及其制备方法与流程

文档序号:19662778发布日期:2020-01-10 21:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,包括电源(1)、设有进口(5)与和出口(6)的腔体、设于所述腔体内的两个金属微针(3),所述两个金属微针(3)的尖端相对设置,所述两个金属微针(3)通过导线(2)与所述电源(1)连接;其特征在于,

所述金属微针(3)包括基座和设于所述基座表面的微针阵列;该微针阵列包括若干呈矩阵分布的四棱锥形微针,其中所述四棱锥形微针包括立柱和设于所述立柱上的针尖。

2.根据权利要求1所述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,其特征在于,所述四棱锥形微针的宽为100~325μm,优选为300μm;高为200~650μm,优选为600μm。

3.根据权利要求1所述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,其特征在于,所述微针阵列的设置密度为64~324个/cm2,优选为225个/cm2

4.根据权利要求1所述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,其特征在于,所述金属微针(3)的针尖尺寸为1~20μm。

5.根据权利要求1所述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,其特征在于,所述四棱锥形微针的表面覆盖有铜金属层。

6.根据权利要求1所述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,其特征在于,所述腔体为硅腔(4)。

7.根据权利要求1所述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,其特征在于,所述金属微针(3)的材质具体为镍。

8.根据权利要求1所述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器,其特征在于,所述电源(1)的电压为790v,电流为0.6ma情况下,产生的负离子量为43333个/cm3

9.一种如权利要求1所述的基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

(a)取中间为硅,两端为二氧化硅的硅片,采用湿法刻蚀工艺在所述硅片上刻蚀得到微针针尖硅模具;

(b)采用uv-liga工艺在所述微针针尖硅模具上加工出金属微针(3)的立柱部分,获得中间模具;

(c)采用转写工艺以所述中间模具为基础制作pdms倒模,并采用pdms倒模制备所述金属微针(3);

(d)将所述金属微针(3)的表面置于电解液中,电镀一层金属铜;

(e)取两个所述金属微针(3),分别与导线(2)相连,两根导线(2)的另一端分别连接在电源(1)的高压端和低压端;

(f)将连接电源(1)的两个金属微针(3)置于设有进口(5)与和出口(6)的腔体的内部,从进口(5)通入空气,产生的负氧离子从出气口排出。

10.根据权利要求9述的一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器的制备方法,其特征在于,步骤(a)中,所述硅片为采用丙酮,酒精,蒸馏水清洗处理后的硅片;步骤(b)中,uv-liga工艺中采用的光刻胶为负性su-8光刻胶。

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