导电性薄膜的制造方法与流程

文档序号:20912782发布日期:2020-05-29 13:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种导电性薄膜的制造方法,其特征在于,具备下述工序:

准备层叠体的准备工序,所述层叠体具备:依次具备透明基材、第1透明导电层及第1金属层的中间薄膜、和配置于所述中间薄膜的载体薄膜;及

去除工序,对所述第1金属层实施干洗处理而去除源自所述载体薄膜的成分。

2.根据权利要求1所述的导电性薄膜的制造方法,其特征在于,所述干洗处理为等离子体处理或电晕处理。

3.根据权利要求1所述的导电性薄膜的制造方法,其特征在于,所述去除工序后的所述第1金属层的水接触角为90度以下。

4.根据权利要求1所述的导电性薄膜的制造方法,其特征在于,所述去除工序后,满足下述(1)~(3)中至少1个要件,

(1)c15h23o+相对于cu+的相对强度为7.8×10-2以下,

(2)c6h13+相对于cu+的相对强度为6.1×10-3以下,

(3)c18h35o2-相对于cu-的相对强度为4.3×10-2以下。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的导电性薄膜的制造方法,其特征在于,所述准备工序依次具备下述工序:

在所述透明基材的厚度方向一侧依次配置所述第1透明导电层及所述第1金属层的工序;

在所述第1金属层的厚度方向一侧配置所述载体薄膜的工序;

在所述透明基材的厚度方向另一侧依次配置第2透明导电层及第2金属层的工序;以及

将所述载体薄膜去除的工序。

6.根据权利要求1~4中任一项所述的导电性薄膜的制造方法,其特征在于,所述准备工序依次具备下述工序:

在所述透明基材的厚度方向另一侧配置所述载体薄膜的工序;以及

在所述透明基材的厚度方向一侧依次配置第1透明导电层及第1金属层的工序。


技术总结
本发明提供导电性薄膜的制造方法,提供使用载体薄膜制作带金属层的导电性薄膜时,制造金属层的图案化精度良好的导电性薄膜的方法。导电性薄膜(1)的制造方法具备下述工序:准备层叠体(2)的准备工序,所述层叠体(2)具备:依次具备透明基材(5)、第1透明导电层(7)及第1金属层(8)的中间薄膜(3)、和配置于中间薄膜(3)的载体薄膜(4);及去除工序,对第1金属层(8)实施干洗处理而去除源自载体薄膜(4)的成分。

技术研发人员:竹安智宏;鹰尾宽行;西岛仁志
受保护的技术使用者:日东电工株式会社
技术研发日:2019.11.21
技术公布日:2020.05.29
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