湿制程用清洁机构的制作方法

本发明涉及一种能配合湿制程设备应用的清洁结构，尤指一种湿制程用清洁机构。

背景技术：

在现今的半导体制程中，湿式蚀刻是最早、最广泛被使用的蚀刻技术，其为利用材料与特定溶液的间所进行的化学反应，以将材料中不需要的部分溶解而去除掉，而保留下需要的部分，具有制程单纯、产量速度快、成本低以及优异的蚀刻选择比。

一个湿制程设备上，为了在制程中进行冲水、喷药、干燥等动作，存在着数个摆臂，且各自具有相应的功能，在应用上非常单一，随着半导体产业的进步，制程和组件的需求不断提升，变得难以跟上制程的进步，还有摆臂还会占用到非常多的空间，而且还需要对应数量的动力源，无形中增加了设备的成本与耗能，另一方面还提高了故障率，同时了避免发生相互干涉的问题，在摆臂的控制上，更有着一定的困难度。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种应用上更多元，能降低成本、耗能、故障率，并节约空间的湿制程用清洁机构。

为解决上述问题及达到本发明的目的，本发明的技术手段是这样实现的，为一种湿制程用清洁机构，所述清洁机构能配合湿制程设备应用，其特征在于：所述清洁机构，其至少包括有配合该湿制程设备设置的一机器臂机构及一清洁头组；所述机器臂机构，其至少包含有一水平位移机构、一垂直位移机构、一机器臂及一快速公接头，该水平位移机构设于该湿制程设备后侧处，该垂直位移机构设于该水平位移机构顶侧面处，并能被其所带动而位移，该机器臂设于该垂直位移机构前侧处，能被其所带动而位移，该快速公接头设于该机器臂自由端处；所述清洁头组，其至少包含有排列设置于该湿制程设备邻近于该机器臂机构一侧处的一水清洗头、一药液清洁头及一干燥头，其三者皆设有一位于各头顶端处的快速母接头，该水清洗头能调整喷水角度，该快速母接头能与该快速公接头配合，使各头能被该机器臂机构分别提起带动位移，以供发挥出相应功能用。

优选的是，所述水清洗头、该药液清洁头及该干燥头，其三者的该快速母接头底端处，还分别设有一定位部；所述清洁头组，其还包括有一定位盘组，该定位盘组还包含有一托盘及间距各不相同且排列定位于该托盘内的一第一架体、一第二架体及一第三架体，该第一架体能与该水清洗头的该定位部配合，以定位放置该水清洗头，该第二架体能与该药液清洁头的该定位部配合，以定位放置该药液清洁头，该第三架体能与该干燥头的该定位部配合，以定位放置该干燥头。

优选的是，所述机器臂，其还具有与该垂直位移机构连接的一第一转臂、一枢设于该第一转臂自由端处的第二转臂及一枢设于该第二转臂自由端处的第三转臂，该第三转臂自由端与该快速公接头连接。

优选的是，所述定位部，其还包括有一各头的该快速母接头底端处的片体、设于该片体左侧自由端处的两左定位销及设于该片体右侧自由端处的两右定位销；所述第一架体，其能供定位该水清洗头用，并还包括有一与相应的该定位部左侧对应的第一左l支架、一与相应的该定位部右侧对应的第一右l支架、设于该第一左l支架顶端的两第一左定位孔及设于该第一右l支架顶端的两第一右定位孔，该第一左定位孔能与相应的该定位部的该左定位销配合，该第一右定位孔能与相应的该定位部的该右定位销配合；所述第二架体，其能供定位该水清洗头用，并还包括有一与相应的该定位部左侧对应的第二左l支架、一与相应的该定位部右侧对应的第二右l支架、设于该第二左l支架顶端的两第二左定位孔及设于该第二右l支架顶端的两第二右定位孔，该第二左定位孔能与相应的该定位部的该左定位销配合，该第二右定位孔能与相应的该定位部的该右定位销配合；所述第三架体，其能供定位该水清洗头用，并还包括有一与相应的该定位部左侧对应的第三左l支架、一与相应的该定位部右侧对应的第三右l支架、设于该第三左l支架顶端的两第三左定位孔及设于该第三右l支架顶端的两第三右定位孔，该第三左定位孔能与相应的该定位部的该左定位销配合，该第三右定位孔能与相应的该定位部的该右定位销配合。

优选的是，所述水清洗头，其还包括有分别设于相应的该片体底侧两端的两枢转支架、一两端与相应的该枢转支架自由端枢接的喷水头组、设于相应的该枢转支架自由端处的两限位螺丝、一设于该喷水头组前侧处的前壳体及一设于该喷水头组后侧处的后壳体，该枢转支架自由端处还分别具有一刻度部、一凹槽部及一定位挡片，该刻度部能供判断该喷水头组角度用，该凹槽部能供容置该喷水头组相应端用，该定位挡片能供定位该喷水头组相应端用；所述药液清洁头，其还包括有分别设于相应的该片体底侧两端的两垂直支架、一两端与相应的该垂直支架自由端连接的水平支架及至少一设于该水平支架上的喷药头；所述干燥头，其还包括有设于相应的该片体底侧的l字形支架及一设于该l字形支架上的喷气头。

优选的是，所述水平位移机构，其还具有一能供保护内部装置的第一壳体；所述垂直位移机构，其还具有一能供保护内部装置的第二壳体；所述快速公接头，其底端还具有一凸接头；所述快速母接头，其中央处还具有一能与该凸接头配合的连接孔。

优选的是，所述水清洗头、该药液清洁头及该干燥头，其三者的该快速母接头外，还分别设有一保护壳体。

优选的是，所述第三转臂，其与该快速公接头间，还设有一连接轴件，能带动该快速公接头转动。

与现有技术相比，本发明的效果如下所示：

本发明清洁机构，利用机器臂机构及清洁头组的设置，机器臂能被水平位移机构和垂直位移机构带动，通过快速公接头，依据制程阶段，连接水清洗头或是药液清洁头或是干燥头，两者的配合应用上能更多元，所以不用设置多个摆臂，不但能降低成本、耗能、故障率，还能节约空间，如此一来，整体的运作效率还能提升。

附图说明

图1为本发明的立体示意图。

图2为本发明的分解示意图。

图3为图2中a部分的分解示意图。

图4为图2中b部分的分解示意图。

图5为图2中c部分的分解示意图。

图6为图2中d部分的分解示意图。

图7为图6中e部分的分解示意图。

图8为本发明应用水清洗头时的立体实施示意图。

图9为本发明由水清洗头更换为应用药液清洁头时的立体实施示意图。

图10为本发明由药液清洁头更换为应用干燥头时的立体实施示意图。

附图标记说明：

1机器臂机构24快速母接头

11水平位移机构241连接孔

111第一壳体25定位部

12垂直位移机构251片体

121第二壳体252左定位销

13机器臂253右定位销

131第一转臂26定位盘组

132第二转臂261托盘

133第三转臂262第一架体

14快速公接头263第二架体

141凸接头264第三架体

15连接轴件27保护壳体

2清洁头组100清洁机构

21水清洗头200湿制程设备

211枢转支架a1第一左l支架

212喷水头组b1第一右l支架

213限位螺丝c1第一左定位孔

214前壳体d1第一右定位孔

215后壳体a2第二左l支架

22药液清洁头b2第二右l支架

221垂直支架c2第二左定位孔

222水平支架d2第二右定位孔

223喷药头a3第三左l支架

23干燥头b3第三右l支架

231l字形支架c3第三左定位孔

232喷气头d3第三右定位孔。

具体实施方式

下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

如图1至图2、图8至图10所示，图中揭示出，为一种湿制程用清洁机构，所述清洁机构100能配合湿制程设备200应用，所述清洁机构100，其至少包括有配合该湿制程设备200设置的一机器臂机构1及一清洁头组2；所述机器臂机构1，其至少包含有一水平位移机构11、一垂直位移机构12、一机器臂13及一快速公接头14，该水平位移机构11设于该湿制程设备200后侧处，该垂直位移机构12设于该水平位移机构11顶侧面处，并能被其所带动而位移，该机器臂13设于该垂直位移机构12前侧处，能被其所带动而位移，该快速公接头14设于该机器臂13自由端处；所述清洁头组2，其至少包含有排列设置于该湿制程设备200邻近于该机器臂机构1一侧处的一水清洗头21、一药液清洁头22及一干燥头23，其三者皆设有一位于各头顶端处的快速母接头24，该水清洗头21能调整喷水角度，该快速母接头24能与该快速公接头14配合，使各头能被该机器臂机构1分别提起带动位移，以供发挥出相应功能用。

其中，通过机器臂机构1及清洁头组2的设置配合，组成本发明清洁机构100，因为机器臂13能通过快速公接头14，根据制程阶段，快速连接水清洗头21或是药液清洁头22或是干燥头23，参阅图8至图10，机器臂机构1及清洁头组2的设计，应用上能更多元化，能依据需求变动，还不用设置多个摆臂，成本、耗能、故障率还能变低，并且更是节约了空间，整体的运作效率还能提升，非常有利于厂商应用。

请参阅图2，所述水清洗头21、该药液清洁头22及该干燥头23，其三者的该快速母接头24底端处，还分别设有一定位部25；所述清洁头组2，其还包括有一定位盘组26，该定位盘组26还包含有一托盘261及间距各不相同且排列定位于该托盘261内的一第一架体262、一第二架体263及一第三架体264，该第一架体262能与该水清洗头21的该定位部25配合，以定位放置该水清洗头21，该第二架体263能与该药液清洁头22的该定位部25配合，以定位放置该药液清洁头22，该第三架体264能与该干燥头23的该定位部25配合，以定位放置该干燥头23。

其中，通过定位部25能与第一架体262、第二架体263及第三架体264配合，定位并架高相应的水清洗头21、药液清洁头22及干燥头23的定位部25，同时让机器臂13能更快速地连接与放置，提高运作效率，而托盘261的应用，能便于设置第一架体262、第二架体263及第三架体264，还能避免水清洗头21的液体、药液清洁头22的药液，滴落到湿制程设备200上，影响到良率。

请参阅图6，所述机器臂13，其还具有与该垂直位移机构12连接的一第一转臂131、一枢设于该第一转臂131自由端处的第二转臂132及一枢设于该第二转臂132自由端处的第三转臂133，该第三转臂133自由端与该快速公接头14连接。

其中，通过第一转臂131、第二转臂132及第三转臂133的应用，提供一非常稳定的水平面移动，降低晃动的影响，而且还能便于控制，降低成本，便于维护。

请参阅图3，所述定位部25，其还包括有一各头的该快速母接头24底端处的片体251、设于该片体251左侧自由端处的两左定位销252及设于该片体251右侧自由端处的两右定位销253；所述第一架体262，其能供定位该水清洗头21用，并还包括有一与相应的该定位部25左侧对应的第一左l支架a1、一与相应的该定位部25右侧对应的第一右l支架b1、设于该第一左l支架a1顶端的两第一左定位孔c1及设于该第一右l支架b1顶端的两第一右定位孔d1，该第一左定位孔c1能与相应的该定位部25的该左定位销252配合，该第一右定位孔d1能与相应的该定位部25的该右定位销253配合；所述第二架体263，其能供定位该水清洗头21用，并还包括有一与相应的该定位部25左侧对应的第二左l支架a2、一与相应的该定位部25右侧对应的第二右l支架b2、设于该第二左l支架a2顶端的两第二左定位孔c2及设于该第二右l支架b2顶端的两第二右定位孔d12，该第二左定位孔c2能与相应的该定位部25的该左定位销252配合，该第二右定位孔d2能与相应的该定位部25的该右定位销253配合；所述第三架体264，其能供定位该水清洗头21用，并还包括有一与相应的该定位部25左侧对应的第三左l支架a3、一与相应的该定位部25右侧对应的第三右l支架b3、设于该第三左l支架a1顶端的两第三左定位孔c3及设于该第三右l支架b1顶端的两第三右定位孔d3，该第三左定位孔c3能与相应的该定位部25的该左定位销252配合，该第三右定位孔d3能与相应的该定位部25的该右定位销253配合。

其中，通过水清洗头21、药液清洁头22及干燥头23的定位部25，利用其片体251上的左定位销252配合定位在第一、二、三左l支架a1、a2、a3的第一、二、三左定位孔c1、c2、c3上，以右定位销253配合定位在第一、二、三右l支架b1、b2、b3的第一、二、三右定位孔d1、d2、d3上，将水清洗头21、药液清洁头22及干燥头23架高，避免污染的同时，还能避免碰撞，确保装置的正常运作。

请参阅图3、图4、图5，所述水清洗头21，其还包括有分别设于相应的该片体251底侧两端的两枢转支架211、一两端与相应的该枢转支架211自由端枢接的喷水头组212、设于相应的该枢转支架211自由端处的两限位螺丝213、一设于该喷水头组212前侧处的前壳体214及一设于该喷水头组212后侧处的后壳体215，该枢转支架211自由端处还分别具有一刻度部2111、一凹槽部2112及一定位挡片2113，该刻度部2111能供判断该喷水头组212角度用，该凹槽部2112能供容置该喷水头组212相应端用，该定位挡片2113能供定位该喷水头组212相应端用；所述药液清洁头22，其还包括有分别设于相应的该片体251底侧两端的两垂直支架221、一两端与相应的该垂直支架221自由端连接的水平支架222及至少一设于该水平支架222上的喷药头223；所述干燥头23，其还包括有设于相应的该片体251底侧的l字形支架231及一设于该l字形支架231上的喷气头232。

其中，通过枢转支架211、喷水头组212、限位螺丝213、前壳体214及后壳体215的应用，以便于配合使用需求，并且非常稳定，而刻度部2111、凹槽部2112及定位挡片2113的设计，还能有利于水清洗头21的角度调整；通过两垂直支架221、水平支架222及喷药头223的应用，让药液清洁头22一样能配合使用需求，还能便于维护；通过l字形支架231及喷气头232的应用，让干燥头23能配合使用需求，提供稳定的支撑，避免晃动过大，而影响到处理效果。

请参阅图1、图2、图6，所述水平位移机构11，其还具有一能供保护内部装置的第一壳体111；所述垂直位移机构12，其还具有一能供保护内部装置的第二壳体121；所述快速公接头14，其底端还具有一凸接头141；所述快速母接头24，其中央处还具有一能与该凸接头141配合的连接孔241。

其中，通过第一壳体111、第二壳体121的应用，避免影响到内部装置的正常运作，而通过凸接头141与连接孔241的应用，让快速公接头14与快速母接头24能快速配合连接，降低不正确连接的机率。

请参阅图3、图4、图5，所述水清洗头21、该药液清洁头22及该干燥头23，其三者的该快速母接头24外，还分别设有一保护壳体27。

其中，通过保护壳体27的应用，避免快速母接头24与快速公接头14连接时，所产生的气体，过度影响到湿制程设备200内部环境。

请参阅图7，所述第三转臂133，其与该快速公接头14间，还设有一连接轴件15，能带动该快速公接头14转动。

其中，通过连接轴件15的应用，让第三转臂133能顺利带动该快速公接头14，以顺利地带动该水清洗头21、该药液清洁头22、该干燥头23，使其三者能稳定运作。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本发明的较佳实施例，但本发明不以图面所示限定实施范围，凡是依照本发明的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本发明的保护范围内。