一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体的制作方法

本实用新型涉及一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体，属于等离子清洗机技术领域。

背景技术：

目前，等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；随着集成电路的集成度不断提高，作为集成电路原料的晶圆其表面的清洁度也在不断提升。

现有的等离子清洗机采用的电极为水平式多层电极板结构，这种结构对于无机气体在腔体内对流性较差，对于电极间治具内的产品处理效果和均匀性都有一定的缺陷。而且现有载具与箱体导轨之间采用的是滑动连接，在相动运动时，容易因为摩擦产生微小的颗粒，对晶圆形成二次污染。

技术实现要素：

目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体。

技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体，包括：箱体，所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组，每对铝管组上下相邻设置，铝管组包括多根铝管，多根铝管一字排列，铝管一端固定在箱体一侧内壁，铝管另一端穿过箱体另一侧壁，铝管的末端均通过电极板相连接；箱体背面设置有抽真空口；箱体正面通过铰链转动连接有箱门，箱门自由端设置有门锁，箱门上设置有进气孔；所述箱体内壁设置有导轨，所述导轨包括：安装架，所述安装架包括：本体，本体上方设置有上挡板，本体后端设置有后挡板，本体上水平排列有多个侧滚机构，所述侧滚机构包括安装在本体内的套筒，套筒前端活动卡接有滚珠；所述侧滚机构下方的本体上通过固定柱水平固定有多个凸轮轴承；所述导轨内移动连接有晶圆托架。

作为优选方案，所述箱体一侧内壁设置有凹槽，凹槽内设置有套筒，另一侧壁上设置有通孔，通孔内设置有卡接头，铝管一端可拆卸地与套筒相连接，铝管另一端从通孔一端穿入，从卡接头另一端穿出，卡接头出口处还套接有密封圈，密封圈与卡接头通过密封盖相固定，所述套筒与卡接头均采用绝缘材质。

作为优选方案，所述箱体底部设置有定位块。

作为优选方案，所述箱门上设置有观察窗。

作为优选方案，所述密封圈采用硅胶材质。

作为优选方案，所述铝管组设置为两对，铝管组由6-10根铝管组成。

有益效果：本实用新型提供的一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体，本设计结构合理、易于维护、清洗均匀、易于推拉、清洗效果好。

附图说明

图1为本实用新型的正面结构示意图；

图2为本实用新型的背面结构示意图；

图3为导轨的结构示意图；

图4为导轨与晶圆托架连接示意图；

图5为铝管与箱体内壁的连接示意图；

图6为铝管与箱体侧壁的连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。

如图1-4所示，一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体，包括：箱体1，所述箱体1两侧壁之间贯穿有多对铝管组2，每对铝管组2上下相邻设置，铝管组2包括多根铝管3，多根铝管3一字排列，铝管3一端固定在箱体1一侧内壁，铝管3另一端穿过箱体1另一侧壁，铝管1的末端均通过电极板4相连接；箱体1背面设置有抽真空口5；箱体1正面通过铰链转动连接有箱门6，箱门6自由端设置有门锁，箱门6上设置有进气孔7；所述箱体1内壁设置有导轨8，所述导轨8包括：安装架801，所述安装架801包括：本体01，本体01上方设置有上挡板02，本体01后端设置有后挡板03，本体01上水平排列有多个侧滚机构04，所述侧滚机构04包括安装在本体内的套筒05，套筒05前端活动卡接有滚珠06；所述侧滚机构04下方的本体上通过固定柱07水平固定有多个凸轮轴承08；所述导轨8内移动连接有晶圆托架10。

如图5-6所示，所述箱体1一侧内壁设置有凹槽11，凹槽11内设置有套筒12，另一侧壁上设置有通孔13，通孔13内设置有卡接头14，铝管3一端可拆卸地与套筒12相连接，铝管3另一端从通孔13一端穿入，从卡接头14另一端穿出，卡接头14出口处还套接有密封圈15，密封圈15与卡接头14通过密封盖16相固定，所述套筒12与卡接头14均采用绝缘材质。

作为优选方案，所述箱体1底部设置有定位块17。

作为优选方案，所述箱门1上设置有观察窗18。

作为优选方案，所述密封圈15采用硅胶材质。

作为优选方案，所述铝管组2设置为两对，铝管组2由6-10根铝管3组成。

实施例：

使用时，将晶圆分别放入晶圆托架，将晶圆托架两端底部置于凸轮轴承上方，晶圆托架两端侧壁与侧滚机构的滚珠相接触，将晶圆托架推至安装架后端的后挡板处，将箱门与箱体密封，真空泵从箱体背面抽真空口将箱体抽真空，再从箱门进气孔注入氩气、氢气，此时，每对铝管组的两个电极板上分别接入射频和接地，每对铝管组之间混合气体被充分电离，由于铝管之间是有空隙的，所以被电离的等离子体可以在整个箱体内自由流过，对托架上的晶圆进行清洗，提高了产品清洗效果和均一性。由于托架与导轨是通过滚珠与凸轮轴承移动连接的，所以托架易于推拉，且相互之间摩擦面积小，不易产生微小颗粒。

同时，本设计采用铝管可拆卸结构，铝管一端通过螺纹固定在箱体一侧内壁里的套筒内，铝管另一端与箱体侧壁通过卡接头相固定，由于套筒和卡接头都采用绝缘材质，用于确保铝管与箱体之间相互绝缘。另外，铝管与通孔之间间隙通过卡接头相密封，卡接头与铝管之间间隙通过密封圈相密封，用于确保箱体的气密性。且卡接头、密封圈、密封盖之间都是采用卡接等可拆卸方式连接，易于后期的维修与更换。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。